ICS77040

CCSH.17

中華人民共和國國家標準

GB/T29056—2025

代替GB/T29056—2012

硅外延用三氯氫硅中雜質(zhì)含量的測定

電感耦合等離子體質(zhì)譜法

Determinationofimpuritycontentintrichlorosilaneforsiliconepitaxy—

Inductivelycoupledplasmamassspectrometry

2025-10-31發(fā)布2026-05-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T29056—2025

前言

本文件按照標準化工作導(dǎo)則第部分標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替硅外延用三氯氫硅化學(xué)分析方法硼鋁磷釩鉻錳鐵鈷

GB/T29056—2012《、、、、、、、、

鎳銅鉬砷和銻量的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法與相比除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編

、、、》,GB/T29056—2012,

輯性改動外主要技術(shù)變化如下

,:

增加了鋰鈉等元素的測定更改了測定范圍見第章年版的第章

a)、,(1,20121);

更改了方法原理見第章年版的第章

b)(4,20122);

增加了干擾因素見第章

c)(5);

增加了試驗條件見第章

d)(6);

更改了試劑和材料見第章年版的第章

e)(7,20123);

更改了儀器設(shè)備見年版的第章

f)(8.1,20124);

增加了分析天平電加熱板器皿等要求見

g)、、(8.2~8.8);

增加了樣品采樣的要求見第章

h)(9);

刪除了分析步驟中的安全措施見年版的

i)(20125.1);

增加了儀器準備見

j)(10.1);

更改了試料平行試驗標準溶液的配制和測定步驟見年版的

k)、、(10.2、10.3、10.5、10.7,2012

5.2、5.3、5.5、5.6);

更改了精密度要求見第章年版的第章

l)(11,20127);

刪除了質(zhì)量保證與控制見年版的第章

m)(20128);

更改了試驗報告見第章年版的第章

n)(12,20129)。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會與全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準

(SAC/TC203)

化技術(shù)委員會材料分技術(shù)委員會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本文件起草單位洛陽中硅高科技有限公司江蘇鑫華半導(dǎo)體科技股份有限公司四川永祥新能源

:、、

有限公司江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司亞洲硅業(yè)青海股份有限公司青海南玻新能源科技有限

、、()、

公司青海麗豪清能股份有限公司新疆新特新能材料檢測中心有限公司湖北江瀚新材料股份有限

、、、

公司

。

本文件主要起草人萬燁郭樹虎劉見華曹俊英趙培芝吳作木宋丹王春明魏東亮李強

:、、、、、、、、、、

冉祎康俊勤甘俊湯艷

、、、。

本文件于年首次發(fā)布本次為第一次修訂

2012,。

Ⅰ

GB/T29056—2025

硅外延用三氯氫硅中雜質(zhì)含量的測定

電感耦合等離子體質(zhì)譜法

警示———使用本文件的人員應(yīng)有正規(guī)實驗室工作的實踐經(jīng)驗本文件并未指出所有可能的安全問

。

題使用者有責(zé)任采取適當?shù)陌踩徒】荡胧┎⒈ＷC符合國家有關(guān)法規(guī)規(guī)定的條件

。,。

1范圍

本文件描述了硅外延用三氯氫硅中鋰硼鈉鎂鋁鉀鈣磷鈦釩鉻錳鐵鈷鎳銅鋅鎵

、、、、、、、、、、、、、、、、、、

鉬砷鉛等元素的電感耦合等離子體質(zhì)譜儀測定方法

、、。

本文件適用于硅外延用三氯氫硅中雜質(zhì)元素含量的測定各元素測定范圍見表

。1。

表1各元素測定范圍

測定范圍

元素

ng/g

鋰

0.01~10

硼

0.01~10

鈉

0.01~10

鎂

0.01~10

鋁

0.01~10

鉀

0.01~10

鈣

0.01~10

磷

0.01~10

鈦

0.01~10

釩

0.005~10

鉻

0.01~10

錳

0.01~10

鐵

0.01~10

鈷

0.005~10

鎳