高端光刻機(jī)輔助設(shè)備運(yùn)維技師（初級(jí)）考試試卷及答案一、填空題（每題1分，共10分）1.光刻機(jī)輔助設(shè)備中，負(fù)責(zé)工件臺(tái)定位精度檢測(cè)的核心部件是______。2.輔助設(shè)備運(yùn)維前，必須執(zhí)行的第一步操作是______。3.光刻機(jī)真空輔助系統(tǒng)的主要作用是______。4.輔助設(shè)備中，針對(duì)高精度運(yùn)動(dòng)部件常用的潤(rùn)滑脂是______。5.運(yùn)維時(shí)發(fā)現(xiàn)設(shè)備異常，應(yīng)立即______。6.光刻機(jī)輔助設(shè)備的溫度控制精度通常要求在______范圍內(nèi)。7.負(fù)責(zé)傳輸晶圓的輔助設(shè)備是______。8.輔助設(shè)備電氣系統(tǒng)絕緣電阻檢測(cè)應(yīng)使用______。9.運(yùn)維過程中必須佩戴的個(gè)人防護(hù)裝備（PPE）是______（至少1項(xiàng)）。10.輔助設(shè)備預(yù)防性維護(hù)周期分為日檢、周檢和______。二、單項(xiàng)選擇題（每題2分，共20分）1.光刻機(jī)真空系統(tǒng)常用的檢漏氣體是？A.氧氣B.氦氣C.氮?dú)釪.氫氣2.晶圓傳輸機(jī)器人運(yùn)動(dòng)精度要求通常不低于？A.±1μmB.±5μmC.±10μmD.±20μm3.輔助設(shè)備中過濾微塵顆粒的部件是？A.真空泵B.HEPA過濾器C.傳感器D.控制器4.清潔光學(xué)部件應(yīng)使用？A.酒精棉B.無(wú)塵布蘸高純度異丙醇C.紙巾D.清水5.輔助設(shè)備接地電阻應(yīng)不大于？A.1ΩB.4ΩC.10ΩD.20Ω6.需立即處理的設(shè)備異常是？A.輕微噪音B.溫度波動(dòng)±0.2℃C.真空度不達(dá)標(biāo)D.正常指示燈亮7.監(jiān)測(cè)腔室壓力的傳感器是？A.溫度傳感器B.真空規(guī)C.流量傳感器D.位置傳感器8.真空泵油更換周期一般是？A.1個(gè)月B.3個(gè)月C.6個(gè)月D.12個(gè)月9.晶圓傳輸禁止的操作是？A.輕拿輕放B.戴防靜電手套C.直接用手接觸D.專用夾具10.紅色報(bào)警代表？A.警告B.故障C.緊急故障D.提示三、多項(xiàng)選擇題（每題2分，共20分）1.輔助設(shè)備運(yùn)維安全規(guī)范包括？A.斷電掛牌B.佩戴PPEC.酒后作業(yè)D.高空系安全帶E.未授權(quán)操作2.晶圓傳輸機(jī)器人常見故障有？A.定位不準(zhǔn)B.運(yùn)動(dòng)卡頓C.真空吸附失效D.電機(jī)過熱E.指示燈損壞3.真空系統(tǒng)組成部件包括？A.真空泵B.真空規(guī)C.過濾器D.壓力控制閥E.加熱板4.輔助設(shè)備溫度控制方式有？A.水冷B.風(fēng)冷C.油冷D.電加熱E.蒸汽加熱5.運(yùn)維需記錄的關(guān)鍵數(shù)據(jù)有？A.真空度B.溫度C.濕度D.運(yùn)行時(shí)間E.零件更換記錄6.光學(xué)部件清潔注意事項(xiàng)有？A.無(wú)塵環(huán)境B.專用清潔劑C.單向擦拭D.用力擦拭E.避光7.輔助設(shè)備常見潤(rùn)滑點(diǎn)包括？A.運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌B.軸承C.齒輪D.電機(jī)軸E.傳感器8.報(bào)警系統(tǒng)分類包括？A.提示（綠色）B.警告（黃色）C.故障（橙色）D.緊急（紅色）E.無(wú)報(bào)警（藍(lán)色）9.晶圓存儲(chǔ)要求有？A.防靜電B.恒溫恒濕C.無(wú)塵D.避光E.高壓10.日常檢查項(xiàng)目包括？A.電源連接B.氣壓表讀數(shù)C.真空度D.過濾器狀態(tài)E.電機(jī)溫度四、判斷題（每題2分，共20分）1.運(yùn)維時(shí)可直接用手接觸電氣部件。（）2.氦氣檢漏靈敏度最高。（）3.機(jī)器人定位精度越高，產(chǎn)能越高。（）4.溫度精度越高，良率越高。（）5.預(yù)防性維護(hù)無(wú)需記錄。（）6.清潔光學(xué)部件可用普通酒精。（）7.接地電阻越大越安全。（）8.真空度不達(dá)標(biāo)需檢查真空泵。（）9.可隨意修改設(shè)備參數(shù)。（）10.機(jī)器人運(yùn)動(dòng)速度越快越好。（）五、簡(jiǎn)答題（每題5分，共20分）1.簡(jiǎn)述輔助設(shè)備運(yùn)維前的安全準(zhǔn)備工作。2.簡(jiǎn)述晶圓傳輸機(jī)器人常見故障及排查方法。3.簡(jiǎn)述真空系統(tǒng)日常維護(hù)要點(diǎn)。4.簡(jiǎn)述溫度控制系統(tǒng)維護(hù)注意事項(xiàng)。六、討論題（每題5分，共10分）1.討論如何提高輔助設(shè)備預(yù)防性維護(hù)效率？2.討論晶圓傳輸中靜電防護(hù)的重要性及措施？---參考答案一、填空題1.激光干涉儀2.斷電掛牌（設(shè)備鎖定）3.維持腔室真空環(huán)境4.全氟聚醚潤(rùn)滑脂（PFPE）5.停止作業(yè)并上報(bào)6.±0.1℃7.晶圓傳輸機(jī)器人（EFEM）8.兆歐表（搖表）9.防靜電手環(huán)（護(hù)目鏡）10.月檢二、單項(xiàng)選擇題1.B2.A3.B4.B5.B6.C7.B8.C9.C10.C三、多項(xiàng)選擇題1.ABD2.ABCD3.ABCD4.ABC5.ABCDE6.ABCE7.ABCD8.BD9.ABCD10.ABCDE四、判斷題1.×2.√3.√4.√5.×6.×7.×8.√9.×10.×五、簡(jiǎn)答題1.安全準(zhǔn)備工作：①斷開設(shè)備電源并掛牌鎖定，防誤啟動(dòng)；②佩戴防靜電手環(huán)、護(hù)目鏡等PPE；③檢查作業(yè)區(qū)消防器材及通道；④核對(duì)運(yùn)維SOP，明確風(fēng)險(xiǎn)點(diǎn)；⑤高空/密閉作業(yè)需申請(qǐng)?jiān)S可，配安全帶/呼吸器；⑥無(wú)無(wú)關(guān)物品干擾。2.常見故障及排查：①定位不準(zhǔn)：校準(zhǔn)激光干涉儀，調(diào)整關(guān)節(jié)參數(shù)；②運(yùn)動(dòng)卡頓：檢查導(dǎo)軌潤(rùn)滑/雜質(zhì)，更換磨損軸承；③真空失效：檢漏管路，換密封圈，查真空發(fā)生器；④電機(jī)過熱：清風(fēng)扇灰塵，降負(fù)載，換電機(jī)。3.真空系統(tǒng)維護(hù)：①日檢真空度，記錄波動(dòng)；②周檢真空泵油位，6個(gè)月?lián)Q油；③月清過濾器，查管路泄漏；④季度校準(zhǔn)真空規(guī)；⑤避免異物進(jìn)入，氦氣檢漏排查泄漏。4.溫度系統(tǒng)維護(hù)：①日檢溫度波動(dòng)（≤±0.1℃）；②周檢水冷管路泄漏，清過濾器；③月校準(zhǔn)溫度傳感器；④遠(yuǎn)離熱源，防靜電干擾；⑤失控時(shí)停設(shè)備，查加熱/制冷模塊。六、討論題1.提高維護(hù)效率：①標(biāo)準(zhǔn)化SOP，明確步驟/周期；②信息化管理（EMS），自動(dòng)提醒維護(hù)，分析故障趨勢(shì)；③人員培訓(xùn)，提升技能；④儲(chǔ)備常用備件（密封圈/過濾器）；⑤引入智能監(jiān)測(cè)（振動(dòng)/溫度