半導(dǎo)體廠務(wù)項(xiàng)目工程管理項(xiàng)目九純水系統(tǒng)任務(wù)9-2超純水系統(tǒng)的運(yùn)行維護(hù)任務(wù)9-2超純水系統(tǒng)的運(yùn)行維護(hù)【任務(wù)背景】ASTMD5127終端指標(biāo)說明超純水終端水質(zhì)指標(biāo)序號(hào)指標(biāo)名稱單位要求1電阻率MΩ·cm≥18.22TOCμg/L≤23細(xì)菌cfu/L＜14溶解氧(DO)μg/L≤35顆粒度(≥0.1μm)個(gè)/L≤1006顆粒度(≥0.05μm)個(gè)/L≤3007總硅μg/L≤18溶解性硅μg/L《0.19Na+μg/L≤0.0110K+μg/L≤0.0111Bμg/L≤0.0512Cu2+μg/L≤0.0113Caμg/L≤0.0114Mgμg/L≤0.0115Zn2+μg/L≤0.0116Niμg/L≤0.0517NH4+μg/L≤0.118F-μg/L≤0.0519Cl-μg/L＜0.0520NO3-μg/L≤0.0521(SO4)-μg/L≤0.0522PO4-μg/L≤0.0523純水水溫℃22±1℃,24使用點(diǎn)水壓MPa.0.5±0.03525水量m3/hr10任務(wù)9-2超純水系統(tǒng)的運(yùn)行維護(hù)【任務(wù)背景】ASTMD5127終端指標(biāo)說明

如何保證超純水水質(zhì)呢？（1）為了保證EDI產(chǎn)水的電阻率能夠達(dá)到15MΩ·cm及以上，EDI的產(chǎn)水箱需要采用熏蒸工藝，材質(zhì)FRP內(nèi)襯PP或者內(nèi)襯PVDF。（2）終端供回水管路采用Clean-PVC或者PVDF以上材質(zhì)；終端管路施工過程需在潔凈環(huán)境下施工；終端供回水管路接近無死水狀態(tài)，防止細(xì)菌、微生物滋養(yǎng)，管路采用雙氧水清洗。（3）為了保證水中細(xì)菌數(shù)和TOC滿足指標(biāo)要求，終端采用波長(zhǎng)185nm的TOC脫除器降解有機(jī)碳，保證TOC≤2μg/L；采用波長(zhǎng)254nm的UV紫外殺菌器，殺滅水中細(xì)菌，保證細(xì)菌＜1cfu/L任務(wù)9-2超純水系統(tǒng)的運(yùn)行維護(hù)【任務(wù)背景】ASTMD5127終端指標(biāo)說明

如何保證超純水水質(zhì)呢？（4）為了保證終端產(chǎn)水水溫滿足要求22±1℃，終端需要采用板式換熱器保持水溫恒溫。（5）對(duì)于產(chǎn)水溶解氧≤3μg/L的要求，終端通常采用脫氣膜及配套真空冷卻裝置，脫除水中溶解氧及二氧化碳。（6）為了提高產(chǎn)水的電阻率、降低水中陰陽(yáng)離子和硼，終端可采用采用兩級(jí)拋光混床+除硼拋光床的方式。任務(wù)9-2超純水系統(tǒng)的運(yùn)行維護(hù)【任務(wù)背景】ASTMD5127終端指標(biāo)說明

如何保證超純水水質(zhì)呢？（7）一般采用純水供水泵給終端系統(tǒng)增加動(dòng)力，并與終端純水增壓泵連鎖，以保證為終端用水點(diǎn)提供恒壓0.5±0.035MPa，用水點(diǎn)流量10m3/h。（8）一般采用精度0.04μm終端過濾器濾芯和終端超濾，截留0.05μm以上顆粒，保證終端顆粒滿足ASTMD5127顆粒指標(biāo)要求；（9）對(duì)于終端產(chǎn)水的各項(xiàng)指標(biāo)，一般需要進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，在終端系統(tǒng)設(shè)置在線檢查儀表。可以設(shè)置包含在線流量計(jì)、在線電阻率、在線壓力變送器、在線TOC檢測(cè)儀、在線溶氧儀、在線顆粒檢測(cè)儀、在線硅檢測(cè)儀等。任務(wù)9-2超純水系統(tǒng)的運(yùn)行維護(hù)【任務(wù)實(shí)施】超純水終端指標(biāo)超標(biāo)問題的解決1.終端電阻率超標(biāo)報(bào)警常見的終端電阻率超標(biāo)解決辦法有：（1）檢查EDI產(chǎn)水箱氮封及水封裝置是否有泄漏，排除空氣對(duì)水質(zhì)的影響；（2）分別檢測(cè)一、二級(jí)拋光混床的出水電阻率及除硼拋光床的出水電阻率，檢查拋光樹脂和除硼樹脂的壽命是否到期，是否需要更換。任務(wù)9-2超純水系統(tǒng)的運(yùn)行維護(hù)【任務(wù)實(shí)施】超純水終端指標(biāo)超標(biāo)問題的解決2.終端溶解氧超標(biāo)報(bào)警超純水中溶解氧的測(cè)試方法通常是用溶解氧測(cè)試儀，通過測(cè)定水中溶解氧含量，判斷超純水是否符合要求。常見的終端溶解氧超標(biāo)解決辦法有：（1）檢查溶解氧檢測(cè)儀是否故障，排除檢測(cè)儀器的誤報(bào)；（2）檢查脫氣膜裝置的氮?dú)饧罢婵障到y(tǒng)真空度是否符合使用要求。任務(wù)9-2超純水系統(tǒng)的運(yùn)行維護(hù)【任務(wù)實(shí)施】超純水終端指標(biāo)超標(biāo)問題的解決3.終端顆粒超標(biāo)在超純水制備工藝中應(yīng)注重預(yù)處理和反滲透處理等環(huán)節(jié)的控制，確保制水過程正常運(yùn)行選用合適的設(shè)備，并定期對(duì)設(shè)備進(jìn)行檢測(cè)和維護(hù)。常見的終端顆粒超標(biāo)解決辦法有：（1）檢查整