半導體廠務(wù)項目工程管理項目八化學品分類任務(wù)8-4化學品系統(tǒng)材質(zhì)選用任務(wù)8-4化學品系統(tǒng)材質(zhì)選用【相關(guān)知識】系統(tǒng)材質(zhì)及其特性1.不銹鋼不銹鋼是半導體制造中常用的材料，尤其是316L型不銹鋼?。不銹鋼具有高強度和韌性，能夠承受高壓和機械壓力，確保管道系統(tǒng)的安全性和可靠性。同時不銹鋼材質(zhì)表面光滑，不易附著雜質(zhì)，方便管道的清洗和保養(yǎng)。任務(wù)8-4化學品系統(tǒng)材質(zhì)選用【相關(guān)知識】系統(tǒng)材質(zhì)及其特性2.?PFA?PFA（聚四氟乙烯）作為一種高性能的氟聚合物，因其化學兼容性、低吸附性和耐高溫性能，在半導體制造過程中被廣泛使用。PFA管道適用于高純度化學品的輸送，如蝕刻液、清洗液等；超純水的輸送；高純氣體的輸送和真空密封與保護?。任務(wù)8-4化學品系統(tǒng)材質(zhì)選用【相關(guān)知識】系統(tǒng)材質(zhì)及其特性3.PP?PP（聚丙烯）?因其良好的耐化學腐蝕性，同樣適用于半導體行業(yè)的高純凈管路系統(tǒng)。其耐熱性能雖然不如PFA和不銹鋼，但在一定溫度范圍內(nèi)仍能保持穩(wěn)定。同時質(zhì)輕且易加工，便于安裝和維護。因此PP管道在某些對耐腐蝕性和耐熱性要求不是極高的化學品輸送場合，可作為輔助系統(tǒng)使用。在半導體廠的排水系統(tǒng)中PP管道可用于輸送廢水或雨水等。任務(wù)8-4化學品系統(tǒng)材質(zhì)選用【相關(guān)知識】系統(tǒng)材質(zhì)及其特性4.PVCPVC（聚氯乙烯）對多種化學物質(zhì)具有良好的耐腐蝕性，包括強酸、強堿、鹽類以及多種有機溶劑等。同時PVC具有耐高溫性，特別是經(jīng)過特殊改性的CPVC（氯化聚氯乙烯）管道，其熱變形溫度通常在110°C到120°C之間。在半導體廠中，PVC管道廣泛用于輸送各種化學品，如蝕刻液、清洗液、溶劑等，以及用于廢水處理系統(tǒng)和超純水系統(tǒng)中以保證水得到有效處理。PVC管道還可用于半導體廠的輔助設(shè)施中，如冷卻水系統(tǒng)、氣體輸送系統(tǒng)等。任務(wù)8-4化學品系統(tǒng)材質(zhì)選用【相關(guān)知識】系統(tǒng)材質(zhì)及其特性材質(zhì)類型英文縮寫聚氯乙烯PVC聚四氟乙烯PFA聚丙烯PP氯化聚乙烯PTFE氯化聚氯乙烯CPVC硬聚氯乙烯UPVC聚乙烯PE聚偏氟乙烯PVDF不銹鋼（電解拋光）SUS316L-EP不銹鋼（光輝燒鈍）SUS316L-BA不銹鋼（表面不做任何處理）SUS316L-AP任務(wù)8-4化學品系統(tǒng)材質(zhì)選用【任務(wù)實施】化學品系統(tǒng)材質(zhì)選用1.酸堿化學品對于酸堿化學品系統(tǒng)，系統(tǒng)設(shè)計必須要考慮到耐腐蝕的要求。因此對于化學品供應(yīng)單元、VMB和T-BOX，其外殼通常選用PP或者PVC材質(zhì)。對于直接儲存化學品的儲罐，通常選擇內(nèi)襯PFA或者PTFE的SUS304儲罐、內(nèi)襯PFA或者PTFE的碳鋼儲罐、內(nèi)襯PFA或PTFE的FRP（纖維強化塑料）儲罐。對于化學品桶槽，通常選用內(nèi)襯PFA或PTFE的PE桶槽、內(nèi)襯PFA或PTFE的SUS304桶槽。對于輸送的管路，一般選用PFA和C-PVC的雙套管材質(zhì)結(jié)構(gòu)。對于控制流量的閥門，一般選用PFA作為外殼，PTFE作為膜片材料。管路的接頭可以選擇PFA、PTFE或者PVDF材料。任務(wù)8-4化學品系統(tǒng)材質(zhì)選用【任務(wù)實施】化學品系統(tǒng)材質(zhì)選用2.腐蝕性溶劑對于腐蝕性有機溶劑化學品系統(tǒng)，系統(tǒng)設(shè)計必須要考慮到耐腐蝕和防爆的要求。對于化學品供應(yīng)單元、VMB和T-BOX，其外殼通常選用PP或者PVC材質(zhì)。對于直接儲存溶劑的儲罐，通常選擇內(nèi)襯PFA或者PTFE的SUS304儲罐、內(nèi)襯PFA或者PTFE的碳鋼儲罐。對于化學品桶槽，通常選用內(nèi)襯PFA或PTFE的碳鋼桶槽、內(nèi)襯PFA或PTFE的SUS304桶槽。對于輸送的管路，一般選用PFA和SUS304的雙套管材質(zhì)結(jié)構(gòu)。對于控制流量的閥門，一般選用SUS316EP作為外殼，PTFE作為膜片材料。管路的接頭一般選擇SUS316，確保在腐蝕性化學品供應(yīng)過程中的穩(wěn)定和安全。任務(wù)8-4化學品系統(tǒng)材質(zhì)選用【任務(wù)實施】化學品系統(tǒng)材質(zhì)選用3.非腐蝕性溶劑對于非腐蝕性化學品，如有機溶劑，系統(tǒng)設(shè)計一般要考慮到防爆的要求。對于化學品供應(yīng)單元、VMB和T-BOX，其外殼通常選用不銹鋼材質(zhì)即可。對于直接儲存溶劑的儲罐和桶槽，通常選擇SUS316LE