硅片制造生產(chǎn)流程_第1頁(yè)
硅片制造生產(chǎn)流程_第2頁(yè)
硅片制造生產(chǎn)流程_第3頁(yè)
硅片制造生產(chǎn)流程_第4頁(yè)
硅片制造生產(chǎn)流程_第5頁(yè)
已閱讀5頁(yè),還剩23頁(yè)未讀 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、硅特性,生產(chǎn)工藝和工藝,硅特性,生產(chǎn)工藝和工藝,硅特性:硅大?。汗杼匦裕a(chǎn)工藝和工藝,硅特性:硅內(nèi)部控制標(biāo)準(zhǔn),整個(gè)工藝:生產(chǎn)線控制棒,生產(chǎn)線開(kāi)口,生產(chǎn)線脫模,生產(chǎn)線脫模全部負(fù)載約11h/刀,目前:硅廠HCT線開(kāi)口機(jī)3臺(tái),型號(hào)E800S-SQ,硅片特性,生產(chǎn)工藝和工藝,2,線開(kāi)口,線切割原理:砂漿的金剛砂,在高速行走的鋼線磨削中進(jìn)行附著切割;金剛砂:學(xué)名綠色碳化硅;懸浮液:被稱(chēng)為切削液,聚乙二醇。砂漿,根據(jù)切割密度要求混合,圖1為制造砂漿的砂缸,圖1,圖2,硅特性,生產(chǎn)工藝和工藝,2,生產(chǎn)線開(kāi)口,相棒3360,從粘桿粘合到上一道工序的圓棒,生產(chǎn)線開(kāi)口工作臺(tái)上的圓棒,切斷室,硅特性,生產(chǎn)工藝及其

2、工藝,2,生產(chǎn)線開(kāi)口,負(fù)載:拆卸完畢后,將表移出切斷室,開(kāi)始拆卸負(fù)載,卸載完畢后,將分離的晶體棒傳送到去除室拆卸室,圖1為未從工作臺(tái)上拆卸的晶棒,圖1,圖2為拆卸的晶棒把橡膠刮干凈,放在檢查對(duì)象區(qū)域,檢查大小,合格后準(zhǔn)備進(jìn)入下一道工序。移至下一道工序:滾筒、水晶、邊緣皮革、硅片特性、生產(chǎn)工藝及其工藝、4、滾筒、硅片特性、生產(chǎn)工藝及其工藝、4、滾筒、外部磨床上安裝切割矩形晶體棒,開(kāi)始對(duì)晶體棒外部圓進(jìn)行滾動(dòng)。加工標(biāo)準(zhǔn):圓直徑1500.2mm,同心度0.5mm,表面無(wú)明顯的鋸痕:深度0.5mm,加工后的水晶條發(fā)送到檢查區(qū)域,質(zhì)量管理部門(mén)檢查水晶條大小等參數(shù),確認(rèn)合格的水晶條是否送入倉(cāng)庫(kù),等待下一工序

3、主導(dǎo)。下一工序:芯片棒,硅片特性,生產(chǎn)工藝和工藝,5,切片棒,粘合劑:根據(jù)晶體棒長(zhǎng)度混合一定量的a和b。其中a是樹(shù)脂,b是固化劑。接著粘合后,將結(jié)晶棒放在架子上,凝固6個(gè)小時(shí)后,即可收到切片。將玻璃板貼在切片支撐上,加壓固定,固定后貼在玻璃板上,等同樣加壓固定。硅片特性,生產(chǎn)工藝和工藝,6,切片,注:從瑞士HCT購(gòu)買(mǎi)的線切割機(jī),可在大約6小時(shí)內(nèi)切割4根500mm長(zhǎng)的晶體棒,目前狀態(tài):硅工作場(chǎng)所現(xiàn)有10臺(tái)HCT線切割機(jī),型號(hào)e1500sd-b/5,這種線鋸可以切割四個(gè)500mm長(zhǎng)的方形棒,輸出率為57頁(yè)/公斤。右下圖是切割過(guò)程的示意圖。鋼絲以13m/s的速度通過(guò)金剛砂研磨切割。將晶圓特性、生產(chǎn)工

4、藝及工藝、7、切片凝膠、線鋸切割去除后的晶圓條送到切片去除室,準(zhǔn)備粘合劑。噴霧后加入80度熱水浸硅棒粘膠部分,等待膠水融化。,翻轉(zhuǎn)水晶棒,安裝在巴塞爾工裝上,抬起巴塞爾槽,用水槍噴射硅片外部和內(nèi)部的灰泥。將膠水軟化后,取出硅片,放入裝有清水的箱子,插入物,硅特性,生產(chǎn)工藝及工藝,8,清洗,上圖為全自動(dòng)洗衣機(jī),硅特性,生產(chǎn)工藝及工藝,8,清洗,塑料去除后,將硅片放入箱子,準(zhǔn)備清洗。左邊的圖片是盒式磁帶,裝有清水的箱子,準(zhǔn)備清理的箱子,左邊的圖片是盒式籃子。硅片特性,生產(chǎn)工藝及工藝,8,清潔,右邊照片是正在清洗的硅片,左邊照片是正在測(cè)試清洗的自動(dòng)清洗機(jī)。將圓片特性、生產(chǎn)工藝和工藝、10、分離、甩出的圓片放入手推車(chē)中,推入對(duì)齊包裝室。上圖為分類(lèi)包裝室,硅特性,生產(chǎn)工藝及其工藝,10,分類(lèi),每100片放入網(wǎng)格中。照片是可以提取硅的特性、生產(chǎn)工藝及工藝、10、分類(lèi)、QA發(fā)送的樣品,測(cè)量厚度、TTV、電阻率、角度不足、裂紋、線跡等的花崗巖測(cè)量設(shè)備,右邊的照片是可以測(cè)量厚度和TTV的花崗巖測(cè)量設(shè)備。使用記號(hào)樣板中的記號(hào),以確保缺少的角度、梯形、外形規(guī)格在檢查準(zhǔn)則內(nèi)。上圖為刻度模板、硅片特性、生產(chǎn)工藝和

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫(kù)網(wǎng)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論