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1、苦瓜職業(yè)技術(shù)學(xué)院后江,1,半導(dǎo)體的物質(zhì)結(jié)構(gòu)和能帶結(jié)構(gòu),1半導(dǎo)體的原子結(jié)合和晶體結(jié)構(gòu)2半導(dǎo)體的電子狀態(tài),3半導(dǎo)體的可載流子有效質(zhì)量4半導(dǎo)體的雜質(zhì)和缺陷能級(jí)5的典型半導(dǎo)體的能帶結(jié)構(gòu)6半導(dǎo)體的能帶結(jié)構(gòu)6半導(dǎo)體帶工程總結(jié),苦瓜職業(yè)技術(shù)學(xué)院后江,2,半導(dǎo)體的物質(zhì)結(jié)構(gòu)和帶結(jié)構(gòu),1半導(dǎo)體的原子組合位于晶體結(jié)構(gòu)2半導(dǎo)體的電子狀態(tài)和3半導(dǎo)體的載流子晶體半導(dǎo)體大部分屬于立方晶系和六字晶系,都是四字結(jié)構(gòu)。只有少數(shù)半導(dǎo)體有不同的結(jié)構(gòu)。1半導(dǎo)體的晶格結(jié)構(gòu)和耦合性質(zhì),固體中原子的耦合歸結(jié)為5茄子方法。半導(dǎo)體的原子結(jié)合以共價(jià)鍵為主,化合物半導(dǎo)體包含不同程度的離子鍵成分??喙下殬I(yè)技術(shù)學(xué)院何鋼,4,1,元素電負(fù)性,原子的結(jié)合性
2、質(zhì),原子以何種方式結(jié)合成固體,完全取決于獲得或失去電子的能力,即電負(fù)性。1,電負(fù)性定義的原子是化學(xué)鍵中與其他原子的公共電子偶吸引的能力,是原子的電離能和電子親和能的總和。電離能是指原子初始電離所需的能量,親華城能量是指中性原子獲得電子釋放的能量??喙下殬I(yè)技術(shù)學(xué)院后江,5,2,元素電負(fù)性及其變化規(guī)律,價(jià)電子數(shù)相同的原子,電子殼層數(shù)越多,電負(fù)性越小。電子外殼層相同的原子,價(jià)電子數(shù)越多,電負(fù)性強(qiáng)度就越高。一些元素電負(fù)性,(飛利浦scale考慮價(jià)電子屏蔽),He 3.58,H 2.10,瀘州職業(yè)技術(shù)學(xué)院胡江,6,3,確定電負(fù)性原子的結(jié)合特性,同一元素原子的結(jié)合,電負(fù)性小點(diǎn)擊金屬鍵化合物電負(fù)性差異不大的
3、兩種茄子元素類型傾向于共價(jià)鍵結(jié)合,但前者向電負(fù)性傾斜,有一定的離子性,形成混合鍵。構(gòu)成混合鍵的兩個(gè)元素之間的電負(fù)性差異越大,離子性越強(qiáng)??喙下殬I(yè)技術(shù)學(xué)院后江,7,各種半導(dǎo)體的構(gòu)成元素大部分位于元素周期表中間,元素構(gòu)成電負(fù)性(化合物半導(dǎo)體的平均電負(fù)性)處于中等水平。4,電負(fù)性和半導(dǎo)體,苦瓜職業(yè)技術(shù)學(xué)院后鋼,8,2,共價(jià)鍵和正四面體結(jié)構(gòu),1,原子排列近接程序的3個(gè)茄子基本要素配位,鍵長(zhǎng),鍵角,2,共價(jià)鍵配位元素共價(jià)鍵晶體的配位數(shù)符合8N定律?;衔镄凸矁r(jià)鍵晶體的配位數(shù)等于平均價(jià)電子數(shù)。III-V、II-VI化合物的平均價(jià)電子數(shù)是IV族元素共價(jià)鍵晶體的四倍。3,四面體結(jié)構(gòu)(Tetrahedron)原
4、子的四倍位貼近方式;四個(gè)關(guān)鍵點(diǎn)的角度都是10928。苦瓜職業(yè)技術(shù)學(xué)院后江,9,3,鉆石結(jié)構(gòu),元素半導(dǎo)體鉆石,硅(Si),鍺(Ge),磷灰石(-Sn)的晶體結(jié)構(gòu)。鉆石、苦瓜職業(yè)技術(shù)學(xué)院后鋼、10、晶格結(jié)構(gòu)、金剛石結(jié)構(gòu)、閃鋅成礦結(jié)構(gòu)、NaCl型結(jié)構(gòu)、石墨結(jié)構(gòu)、纖維鋅成礦結(jié)構(gòu)、CsCl型結(jié)構(gòu)、苦瓜職業(yè)技術(shù)學(xué)院后鋼、11、4、閃鋅礦區(qū)結(jié)構(gòu)ABCABC式堆疊、苦瓜職業(yè)技術(shù)學(xué)院后江、13、閃鋅礦型晶體結(jié)構(gòu)和混合鍵、材質(zhì):-族和-族二元化合物半導(dǎo)體(如: ZnS、ZnSe、GaAs、GaP、化學(xué)鍵3360共價(jià)鍵離子鍵)按ABAB順序堆積纖維鋅礦結(jié)構(gòu)(6字),一般用2H-表示。按照ABCABC順序堆疊閃族鋅結(jié)
5、構(gòu)(立方體),以3C-或-表示。以不同的順序堆疊成混合結(jié)構(gòu)。例如,以ABAC為周期,堆積為4H型,6字結(jié)構(gòu)含量為50。以6H型堆積ABCACB為周期,6字結(jié)構(gòu)含量33;周期性堆積ABACBABC為8H型,6字結(jié)構(gòu)含量25;混合結(jié)構(gòu)和六角形結(jié)構(gòu)統(tǒng)稱為類型。漳州職業(yè)技術(shù)學(xué)院后江,16,SiC同質(zhì)異構(gòu)(polytype),漳州職業(yè)技術(shù)學(xué)院后江,17,化學(xué)元素周期表中的III族元素硼,鋁,鎵,銦,族元素氮,磷,砷,sphalerite和sphalerite結(jié)構(gòu);瀘州職業(yè)技術(shù)學(xué)院胡江,18,5;半導(dǎo)體其他晶體類型;1;具有四面體結(jié)構(gòu)的其他晶體類型CuFeS2類型;(I-III-VI2和II-) 半導(dǎo)體的
6、物質(zhì)結(jié)構(gòu)和能帶結(jié)構(gòu),1半導(dǎo)體的原子組合可以概括晶體結(jié)構(gòu)2半導(dǎo)體的電子狀態(tài)和載流子到3半導(dǎo)體的有效質(zhì)量4半導(dǎo)體的雜質(zhì)和缺陷能級(jí)5的典型半導(dǎo)體的帶結(jié)構(gòu)6半導(dǎo)體的工程。 苦瓜職業(yè)技術(shù)學(xué)院后江,20,2半導(dǎo)體的電子狀態(tài)和波段,1原子的能級(jí)和晶體的波段2半導(dǎo)體的電子狀態(tài)和3導(dǎo)體半導(dǎo)體絕緣體的波段,苦瓜職業(yè)技術(shù)學(xué)院浩江,21,共同原子的電子結(jié)構(gòu),1原子的能級(jí)和晶體的波段,苦瓜職業(yè)技術(shù)學(xué)院后江,22,原子周圍原子的電子,Silicon但是聚在一起的時(shí)候外層電子波函數(shù)的重疊使所有N個(gè)原子間的共價(jià)化運(yùn)動(dòng)。與此同時(shí),原子間的相互作用也能使每個(gè)能級(jí)分裂成能量不同,但差異很小的Nm個(gè)能級(jí),從而消除化學(xué)鍵,形成能級(jí)連續(xù)
7、能。根據(jù)牙齒規(guī)則,由S能級(jí)分裂構(gòu)成的N個(gè)能級(jí),由P能級(jí)分裂構(gòu)成的腰帶3N個(gè)能級(jí)。S-電子充電S波段、P-電子充電P波段,如果兩個(gè)波段都填滿了電子,則為絕緣體,如果一個(gè)區(qū)域未填滿,則為金屬。,苦瓜職業(yè)技術(shù)學(xué)院后江,24,1原子的能級(jí)和晶體帶,原子能級(jí)樂隊(duì),苦瓜職業(yè)技術(shù)學(xué)院后江,25,Solid of N Atoms,Two Atoms,Six Atoms,Electrons must occupy different,原子內(nèi)電子能級(jí)形成和晶體的帶,苦瓜職業(yè)技術(shù)學(xué)院后鋼,26,理論基礎(chǔ)3360,波粒二象性DeBroglie為: l=h/p,mV=P=半導(dǎo)體的價(jià)電子能級(jí)雜交是萬代和空帶。絕緣體的價(jià)電
8、子能級(jí),萬代,三電導(dǎo)體,半導(dǎo)體,絕緣體的波段,苦瓜職業(yè)技術(shù)學(xué)院后江,31,導(dǎo)帶,價(jià)帶;空帶,萬帶,感應(yīng)帶:有空能級(jí),能起到傳導(dǎo)作用的帶。誘導(dǎo)帶的本征很少刺激電子,本征可以視為工科。雜質(zhì)半導(dǎo)體導(dǎo)帶的電子來自施主雜質(zhì)的電離。價(jià)帶:已經(jīng)裝滿價(jià)電子的皮帶被稱為價(jià)帶。價(jià)格范圍的本征很少刺激空穴,本征可以視為萬代(電子充電)。雜質(zhì)半導(dǎo)體價(jià)的空穴來自主雜質(zhì)的電離??喙下殬I(yè)技術(shù)學(xué)院后江,32,半導(dǎo)體的物質(zhì)結(jié)構(gòu)和能帶結(jié)構(gòu),1半導(dǎo)體的原子結(jié)合和晶體結(jié)構(gòu)2半導(dǎo)體的電子狀態(tài),3半導(dǎo)體的可載流子有效質(zhì)量4半導(dǎo)體的雜質(zhì)和缺陷能級(jí)5典型半導(dǎo)體的能帶結(jié)構(gòu)6半導(dǎo)體的能帶結(jié)構(gòu)6半導(dǎo)體帶工程概要,苦瓜職業(yè)技術(shù)學(xué)院后江,33,3半導(dǎo)
9、體中電荷載體有效質(zhì)量,半導(dǎo)體在極值附近的E(k)為泰勒展開執(zhí)行E(k)。將頻帶底部設(shè)置為k=0,將E(k)設(shè)置為k=0附近的泰勒展開:將指定半導(dǎo)體的牙齒值設(shè)置為0,將K=0附近的牙齒值設(shè)置為0,將mn*設(shè)置為周期勢(shì)場(chǎng)電子。第二,導(dǎo)電電子和空穴的有效質(zhì)量,同樣,如果能把正常帶到k=0,E(k)在k=0附近泰勒展開3360,正常電子有效質(zhì)量mn*,波段(價(jià)帶)頂部,2階導(dǎo)數(shù)0,所以價(jià)帶頂部附近的電子mn,max,(d2E/dk2)0,價(jià)帶頂部附近的電子mn*牙齒為負(fù)值。在表達(dá)式中,苦瓜職業(yè)技術(shù)學(xué)院“虎綱”、“37”、“有效質(zhì)量意義”分別代表了誘導(dǎo)臺(tái)下和價(jià)帶正常的曲率,能量大小動(dòng)量變化的敏感性電子的
10、加速度是半導(dǎo)體內(nèi)部勢(shì)場(chǎng)和外電場(chǎng)作用的綜合效應(yīng)。因此,總結(jié)了有效質(zhì)量半導(dǎo)體內(nèi)部勢(shì)場(chǎng)的作用,直接連接外力F和電子的加速度,從而解決了半導(dǎo)體中電子外部力下運(yùn)動(dòng)的規(guī)律,不包括特定形式的半導(dǎo)體內(nèi)部勢(shì)場(chǎng)。有效質(zhì)量測(cè)量可以通過實(shí)驗(yàn)測(cè)量,很容易解決電子運(yùn)動(dòng)的規(guī)律??喙下殬I(yè)技術(shù)學(xué)院后江,38,3,3維K空間的等功能面,K空間和布里研究的概念,K空間根據(jù)E(k)的周期變化分為多個(gè)區(qū)域,每個(gè)區(qū)域中的E(k)重復(fù)K的多值函數(shù)。邊界為1/2a的區(qū)域稱為簡(jiǎn)略布里淵區(qū)域。,布里淵地球中心;l:布里淵區(qū)域邊界和(111)軸的交點(diǎn);x:布里淵區(qū)域邊界與(100)軸的交點(diǎn);布里淵區(qū)域邊界和(110)軸的交點(diǎn)??喙下殬I(yè)技術(shù)學(xué)院后江
11、,39,1,柔道臺(tái)底部不在布里研究中心的一般情況(k 00),仍然函數(shù)在k 0附近的泰勒展開E(k),以mx*,my*,mz*表示電子沿kx,ky的極值為100方向的一點(diǎn)(k0 x)ml和mt分別是100方向的有效質(zhì)量組件(垂直有效質(zhì)量)和垂直于100方向的組件(水平有效質(zhì)量)。苦瓜職業(yè)技術(shù)學(xué)院何鋼,41,2,柔道隊(duì)鞋底k0,有效質(zhì)量等向性特殊情況,柔道隊(duì)底部是布里研究中心,即k0,能量E(0)EC,mx*my*mz*mn*,有效質(zhì)量等向性,苦瓜職業(yè)技術(shù)學(xué)院胡崗實(shí)驗(yàn)結(jié)果發(fā)現(xiàn):磁場(chǎng)強(qiáng)度與晶軸方向不同時(shí),可以得到幾個(gè)共振吸收棒數(shù)。旋轉(zhuǎn)協(xié)方差是第一次在載流子有效質(zhì)量、苦瓜職業(yè)技術(shù)學(xué)院后綱、43、電子
12、運(yùn)動(dòng)方程式、磁場(chǎng)強(qiáng)度B的作用下受到速度V運(yùn)動(dòng)載流子的洛倫茲力:運(yùn)動(dòng)軌跡是一螺旋,圓周運(yùn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)頻率考慮到C:各向異性,B沿波矢量kx、ky、kz軸方向余弦分別為苦瓜職業(yè)技術(shù)學(xué)院霍康、44、kz軸,苦瓜職業(yè)技術(shù)學(xué)院后江,45,硅的自旋轉(zhuǎn)共振實(shí)驗(yàn),B沿(111)方向有共振吸收棒,B沿(110)方向有兩個(gè)共振吸收棒,B沿(100)方向有兩個(gè)共振吸收棒,等功能面方程為,以(001)方向上的橢球等能量面為例。沿(001)方向選擇kz軸,該方向構(gòu)成了磁場(chǎng)b和kz垂直于kz軸且面法線為ky的平面。B和kz之間的角度為苦瓜職業(yè)技術(shù)學(xué)院后鋼,47,硅導(dǎo)桿極值(100)軸,在該對(duì)稱方向上選擇(100)軸及其對(duì)稱方向(共6個(gè)
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