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1、S02,破片類型總結,破片的判定rule,2011-3-18版本,破片規(guī)格,JI易混淆破片類型總結,JI 破片處理流程圖,發(fā)現(xiàn)破片,立即停線,保留現(xiàn)場,通知當線設備和值班制程及線長,Owner,MFG,MFG,當線設備和值班制程工程師,當線設備和值班制程到現(xiàn)場確認原因,調整機臺到正常狀態(tài),確認有risk漏到下游站點需進行鎖帳,確認首片OK后開線,值班制程工程師,Process,當線設備工程師,MFG 當線設備工程師,Remark: 若確認為異物壓破片,當線設備和值班制程工程師必須將異物保留下來交給offline破片負責人以便分析做長期改善,破片的判定基本步驟,1. 若為明顯原因例如親眼看到設備

2、撞擊 簽設備,人員操作不當簽人為等可直接判定責任單位 2. 若原因不明確的,一般先根據(jù)lot NO查過帳時間, 看是否在流程中有異常, 是否有拔片做repair run等 3. 根據(jù)破片時間, 看機臺報警記錄, 是否有當機異常, 是否人員操機不當 4. 查EC破片檢查機的報警記錄, 是否為來料破片,JI設備常見破片現(xiàn)象,OLB異物壓破,OLB假壓壓破,一般能看到有集中受力點的發(fā)散裂紋如下圖所示, 或是破損位置有異物,誤判的例子: 如下不屬于OLB異物壓破,綠色底色部分-表示OLB bonding區(qū) 紅色線條 -表示裂紋,一般為新線發(fā)生, 某1個假壓異常導致破片, 一般是此假壓頭所壓的COF對應

3、位置都破損, 舉例:2E06發(fā)現(xiàn)如下圖X1/X2/X3 COF同一位置破損,都對應假壓head1,判定為假壓異常破片,綠色底色部分-表示OLB bonding區(qū) 紅色線條 -表示裂紋,若確認為異物壓破, 還要看產(chǎn)生異物的原因來判定, ACF貼附不良產(chǎn)生殘膠 & 機臺掉屑等 簽設備 人員操作不當, 5S點檢異常,換料異常等帶入異物 -簽人為 JI無此類材料的異物, Cell來料異物 簽cell,其他設備撞機破片: 由于撞機的方式千姿百態(tài), 現(xiàn)象不一, 具體可根據(jù)機臺報警記錄確認,MA易混淆破片類型總結,MA破片類型總結,校正平臺 撕膜機 重合機 翻轉機 Robot/翻轉機掉片 Aging 爐倒片 新線重合區(qū),109校正平臺,干涉點,110撕膜機,116重合區(qū),推桿重合,Robot /翻轉機掉片,夾爪位置松脫,擋片歪斜,Aging 爐內(nèi)倒片,新線重合區(qū),定位柱,MA制程破片大全,MA制程破片大全,MA制程破片大全,

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