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1、報告人：孟偉,離子束刻蝕應(yīng)用,什么是離子？什么是離子束？ 離子：帶電荷的原子或分子。帶正電荷的離子稱“正離子”，帶負(fù)電荷的離子稱“負(fù)離子”。 離子束：以近似一致的速度沿幾乎同一方向運動的一群離子。,離子束刻蝕（IBE） 離子束刻蝕是利用具有一定能量的離子轟擊材料表面，使材料原子發(fā)生濺射，從而達(dá)到刻蝕目的. 把Ar、Kr或Xe之類惰性氣體充入離子源放電室并使其電離形成 等離子體，然后由柵極將離子呈 束狀引出并加速，具有一定能量 的離子束進(jìn)入工作室，射向固體 表面撞擊固體表面原子，使材料 原子發(fā)生濺射，達(dá)到刻蝕目的， 屬純物理過程。,IBE刻蝕特點 方向性好，各向異性，陡直度高 分辨率高，可達(dá)到0

2、.01um 不受刻蝕材料限制（金屬和化合物，無機(jī)物和有機(jī)物，絕緣體和半導(dǎo)體均可） 刻蝕過程中可改變離子束入射角來控制圖形 輪廓,離子束刻蝕機(jī),離子束刻蝕應(yīng)用,CYB石油專用傳感器 應(yīng)用先進(jìn)的離子束濺射和離子束刻蝕工藝,將應(yīng)變電橋直接制作在金屬測壓膜片上。由于不用傳統(tǒng)的膠粘工藝,顯著改善了應(yīng)變式傳感器的長期穩(wěn)定性及抗蠕變特性,使產(chǎn)品使用的溫度范圍大為擴(kuò)展。由于沒有活動部件,抗振動和抗沖的能力很強,可用于惡劣的環(huán)境。,由于離子束刻蝕對材料無選擇性，對于那些無法或者難以通過化學(xué)研磨、電介研磨難以減薄的材料，可以的通過離子束來進(jìn)行減薄。另外，由于離子束能逐層剝離原子層，所以具有的微分析樣品能力，并且可以用來進(jìn)行精密加工。,凹面閃耀全息光柵（廣泛應(yīng)有于各種分析儀器、光通信、生物、 醫(yī)療器械等領(lǐng)域。） 采用離子束刻蝕法進(jìn)行 閃耀加工，因此，可容易地 制

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