1、激光器分類,法布里-珀羅型激光器（FP） 分布反饋激光器（DFB） 垂直腔面發(fā)射激光器（VCSEL）,1,FP激光器,FP激光器的諧振腔由鍍膜的自然解理面形成的 ，只能實現(xiàn)靜態(tài)單模工作。在高速調制或溫度和電流變化時，會出現(xiàn)模式跳躍和譜線展寬。,2,DFB激光器,DFB( Distributed Feedback Laser)，即分布式反饋激光器，其不同之處是內置了布拉格光柵（Bragg Grating），屬于側面發(fā)射的半導體激光器。 DFB激光器將布拉格光柵集成到激光器內部的有源層中（也就是增益介質中），在諧振腔內即形成選模結構，可以實現(xiàn)完全單模工作。,3,4,目前，DFB激光器主要以半導體材

2、料為介質，包括銻化鎵(GaSb）、砷化鎵（GaAs）、磷化銦(InP)、硫化鋅(ZnS)等。DFB激光器最大特點是具有非常好的單色性（即光譜純度），它的線寬普遍可以做到1MHz以內，以及具有非常高的邊摸抑制比（SMSR），目前可高達40-50dB以上。,5,DFB-LD芯片制造,一次外延生長 光柵制作 二次外延生長 脊波導制作 歐姆接觸、減薄 解理成條 端面鍍膜 解理成管芯 TO-CAN,6,光柵制作,1.全息曝光 2.干法或濕法刻蝕,7,二次外延生長,生長： 1.低折射率層 2.腐蝕停止層 3.包層 4.帽層：接觸層,8,激光器的縱模,F-P腔激光器： 多縱模工作，也就是說該激光器只能用于短

3、距離傳輸。 DFB激光器 DFB激光器在高速調制時也能保持單模特性，這是F-P激光器無法比擬的。盡管DFB激光器在高速調制時存在啁啾，譜線有一定展寬，但比F-P激光器的動態(tài)譜線的展寬要改善一個數(shù)量級左右。,9,FP-LD與DFB-LD的比較,光譜特性 .激光器光譜特性包括峰值(或中心)波長、光譜寬度、邊模抑制比；,10,11,12,邊模抑制比 Side Mode Suppression Ratio 在最壞反射條件時、全調制條件下，激光器光譜中主縱模光功率峰值強度（Pm0）與最大邊模光功率峰值強度(P m1)之比的對數(shù)，即： SMSR =10 lg (Pm0/P m1) SMSR示意圖,13,14,15,16,17,18,19,20,DFB激光器的發(fā)展,DFB激光器的發(fā)展方向是，更寬的諧調范圍和更窄的線寬， 在一個DFB激光器集成兩個獨立的光柵，實現(xiàn)更寬的波長諧調 范圍，比如達到100nm諧調范圍，以及更窄的光譜線寬。,21,盡管DFB激光器有很多優(yōu)點，但并非盡善盡美。例如，為了制作光柵， DFB激光器需要復雜的二次外延生長工藝，在制造出光柵溝槽之后由于二次外延的回熔，可能吃掉已形成的光柵，致使光柵變得殘缺不全，導致諧振腔內的散射損耗增加，從而使激光器