潔凈室測試實用程序提要潔凈室安裝完畢以后,需要進竣工驗收測試由于工程安裝實際情況及工期緊迫等問題,常常使測試工作難以按常規(guī)程序進行本文根據實際的潔凈室測試經驗,對潔凈室的測試條件,測試方法,測試程序,做一些總結,以供交流。目前的潔凈室特別是高級別潔凈室,施工要求高,難度大,各專業(yè)交叉作業(yè)多,而且工期緊迫這些都會對最后的測試工作帶來影響而潔凈室測試工作必須嚴格按照有關規(guī)范標準進行本文根據單晶硅拋光片潔凈廠房項目的測試情況,予以說明本項目潔凈區(qū)總面積約1100平方米,包括1級,10級,100級,1000級,100000級5種級別的潔凈間,其中前四種潔凈間采用新風加FFU機組和干盤管的方式,雙層吊頂,100000級區(qū)域采用了空調機組加高效過濾風口的方式,單層吊頂竣工驗收測試,根據有關約定,在空態(tài)環(huán)境下進行一測試條件潔凈室的竣工測試前,各施工項目必須全部完成,并做好如下工作,滿足測試要求1潔凈區(qū)域內及與之相關的施工作業(yè)已全部完成,如各類空調工藝等管道工程,通風工程,電氣工程,潔凈室的結構裝飾工程等有條件時應對整個工程分部在無生產負荷的情況下進行系統(tǒng)聯(lián)合試運轉,調試對于與工藝設備連接的涉及二次配管的風,液,氣管,需要從吊頂開洞接入潔凈間,和從架空地板開洞接入潔凈間時,原則上應該將吊頂盲板和架空地板的預留洞開好,并將管道接入潔凈間內的適當位置2對潔凈室內及與之相關的各分部工程作外觀及質量檢查,對各專業(yè)及分包的分項工程,作全面的嚴格檢查,對質量缺陷及遺項做好補救措施3對潔凈間圍護結構的檢漏完成主要是潔凈室內的架空地板下分隔板,雙層吊頂內的分隔板的檢漏4對潔凈室內各設施表面進行徹底的清潔,清掃二測試準備工作施工全面完成后,進行測試前,必須同時完成如下的準備工作,以利測試工作的順利進行1系統(tǒng)準備11單機試運轉111各新風機組,排風機組,空調機組先檢查各送風,排風機安全措施,轉動葉輪,看有無卡阻及觸碰現象,檢查風機潤滑情況,然后點動風機,檢查葉輪轉向是否正確,然后啟動風機,在額定轉速下試運轉至少2小時試運轉應無異常振動,響聲注實際施工中,新風機組的單機試運轉,往往早已開始這是因為在潔凈工程施工過程的非常潔凈階段,需要送入室外新風或冷氣一方面是維持室內正壓,另一方面可以增加室內舒適性,便于施工與清潔對于如本項目高級別潔凈室,新風系統(tǒng)設計有三級過濾,在非常潔凈施工階段,啟動新風送風時,先在新風機新風進風口處,安裝臨時的無紡布,并安裝初效過濾器,然后啟動風機送風以保證送入的新風相對潔凈當工程施工進入撕膜,打膠,清潔階段時,在新風機安裝中效過濾器,當打膠清潔結束進入超潔凈施工階段時,應將新風機組的高效過濾器安裝上去,以確保新風的潔凈程度然后進行高效過濾風口及FFU機組安裝112FFU機組先檢查,看是否有線頭異物掉入風機孔內,電源接線及接地情況是否可靠,符合要求,轉動葉輪看有無觸碰現象,開啟電源,點動風機,看轉向是否正確先將風機擋位調到一檔,待風機運轉正常后調節(jié)到二擋設計建議為3擋,調試后未生產時使用2擋113風淋室通道先檢查安全措施,電源及接地情況等,通電,按有關產品手冊予以檢查風淋室的門及其鎖定,風機,噴淋口,報警等內容114其他設備的試運轉12系統(tǒng)聯(lián)合試運轉系統(tǒng)聯(lián)合試運轉是在單機試運轉合格后進行,先對各系統(tǒng)進行安全檢查,以及各風系統(tǒng)水系統(tǒng)部件,執(zhí)行機構,閥門,電氣等是否正確空調,通風及照明等系統(tǒng)通水通電等,然后啟動各排氣系統(tǒng),空調及送風系統(tǒng),啟動FFU機組,風淋室等設備,進行聯(lián)合運行聯(lián)動試運行時,各系統(tǒng)設備必須聯(lián)動正確,協(xié)調,動作正確,無異?，F象13空吹系統(tǒng)聯(lián)合試運轉后合格后,讓系統(tǒng)空吹空吹時間至少24小時空吹時,FFU機組風機進口處的無紡布不要去掉14徹底清潔空吹后,要對潔凈室內進行徹底清潔,主要是對潔凈室吊頂除FFU外,四周墻板,及地面進行擦拭,清除浮塵對較高的潔凈室,應使用純水,潔凈紙或潔凈布空吹后清潔前,注意應將臨時裝在FFU機組風機進口處的無紡布去掉,并小心處理2確定測試方案21確定測試內容潔凈室檢測,根據種類和級別不同,有不同的檢測內容具體檢測內容可以依據潔凈室施工及驗收規(guī)范,和設計要求確定潔凈室工程竣工驗收測試一般要求如下表潔凈室竣工驗收測試要求序號項目竣工驗收1室內送風量,新風量系統(tǒng)總風量,室內排風量2靜壓差3截面平均風速4截面風速不均勻度5空氣潔凈度6浮游菌和沉降菌7室內溫度和相對濕度8室溫或濕度波動范圍和區(qū)域溫差9室內噪音級10室內倍頻程聲壓級11室內照度和照度均勻度12室內微振13表面導電性能14室內氣流流型15流線平行性16自凈時間17通風機風量,數量18高效過濾器檢漏注檢測,必要時檢測根據上表及設計要求,確定檢測內容后,即可制定潔凈室檢測方案本項目根據設計要求確定檢測內容為系統(tǒng)總新風量,總送風量,各房間排風量及循環(huán)風量各區(qū)域靜壓差1,10,100級潔凈間截面平均風速空氣潔凈度等級室內溫度和相對濕度由另一家承包商負責室內噪音級室內照度通風機風量及轉速高效過濾起檢22選用測試儀器粒子計數儀1,10級潔凈室潔凈度檢測采用激光粒子計數器,100級以下的潔凈室采用光學粒子計數器熱球風速儀微壓計照度計聲壓計23確定測試方式及人員組成對整個潔凈工程的測試要求及具體情況做仔細研究,確定測試人員的組成本項目施工工期緊張,潔凈室級別種類多,送風排風管道風口繁多,因此,測試調校工作任務多,時間緊另外,潔凈度測試時,室內人員不超過3人,因此,測試采用兩個組,每組3人系統(tǒng)排風量調整檢測,系統(tǒng)新風量調整與靜壓差測試,是在全區(qū)域進行的,由于需多次重復調節(jié),調整測試時間很長這部分由一個組承擔高效過濾器檢漏,潔凈度的檢測,溫濕度,噪音與照度等由另一個組承擔經過適當安排,這兩個組可以同時開展工作24測試資料準備測試資料,包括各類參數測試數據記錄表,各測試參數采樣點坐標圖先根據各級別潔凈間面積和要求,確定采用點分布圖,再根據分布圖,制作測試數據記錄表,記錄表中,需載明設計值,測試值,評判標準及評判結果241采樣點及測試分布圖依照潔凈廠房設計規(guī)范及潔凈室施工驗收規(guī)范,以及設計要求繪制各測試參數采樣測試點分布圖本項目主要測試點分布圖有排風口測試分布圖風口編號新風口測試分布圖風口編號靜壓差測試平面圖FFU分布檢漏圖潔凈度測試采樣點分布圖溫濕度測試點分布圖照度測試采樣點圖噪音測試采樣點圖圖一采樣點布置示意圖242采樣數據記錄表然后制作參數測試數據記錄表,將測試數據記錄表與采樣點圖對應編號設置,做到清楚明了數據記錄表祥見附表附表1系統(tǒng)總排風量測試數據表附表2系統(tǒng)總送風量測試數據表附表3系統(tǒng)總送風量測試數據表附表4送、回、排風口風量測試數據表附表5系統(tǒng)房間壓力測試數據表附表6系統(tǒng)潔凈度測試資數據表附表7系統(tǒng)潔凈度測試數據表附表8系統(tǒng)房間溫濕度測試數據表附表9系統(tǒng)房間噪聲測試數據表附表10系統(tǒng)照度測試數據表附表11電機轉速測試數據表三系統(tǒng)測試系統(tǒng)測試基本涵蓋所有子系統(tǒng),如排風系統(tǒng),新風系統(tǒng),溫濕度控制系統(tǒng),潔凈循環(huán)系統(tǒng),噪音和振動控制系統(tǒng),照明系統(tǒng),靜電消除系統(tǒng),潔凈室結構等各個系統(tǒng)承包商負責測試各自承包的系統(tǒng)所對應的測試內容,以完成潔凈廠房的全部測試系統(tǒng)測試是在經過至少24小時空吹后,并按一定的先后順序進行首先是排風系統(tǒng)的調節(jié)與測試,之后是新風系統(tǒng)的調節(jié)與測試,其他測試項目數據是在設定的排風和新風情況下獲得,如果要加快測試進度,可以在獲得設計的總排風量和總新風量后,可以將其他測試工作適當提前搭接同時進行1排風系統(tǒng)測試11測試儀器熱球風速儀12測試方法和步驟121將所有支管風閥全部打開,啟動排風機122在排風機進風總風管上選擇測點位置,測量系統(tǒng)總風量測定截面位置原則上選擇在氣流比較均勻穩(wěn)定的地方,距局部阻力部件的距離,在阻力部件前不少于3倍風管管徑或長邊長度,在局部阻力部件之后不少于5倍風管管徑或長邊長度123選定測試截面后,確定測點位置對于矩行風管,將風管分成若干相等的小截面,盡可能接近正方行,在每一個正方行的中心測試風速然后取平均值求出其風量管道邊尺寸L/W小于450MM,等截面邊長A必須不超過150MM每邊至少2個測點管道邊尺寸L/W大于1400MM,等截面邊長A必須不超過200MM管道邊尺寸L/W在4501400MM,等截面邊長A取150200MM示意圖如下對于圓形風管,按等面積圓環(huán)法劃分測定截面和確定測點數,也可以按下表確定風管直徑/MM6圖二風管測點示意圖124按上述方式測出系統(tǒng)總風量后,按同樣方法測出每一條道潔凈室支管的風量如果測試風量與設計風量不符,則調節(jié)各支管閥門,再測試,如此重復幾次,直到達到所需的風量13評定標準系統(tǒng)總風量與設計風量的允許偏差為020,各風口風量與設計風量的風量之差不超過152新風系統(tǒng)及房間正壓測試21測試儀器熱球風速儀,微壓計靈敏度小于01PA22測試方法和步驟221排風系統(tǒng)測試完畢后,再開始測試新風系統(tǒng)222潔凈室門全部關閉,打開所有風管的閥門,啟動新風機組223可以用和排風測試相同的方法,依照設計新風量,調整并測出新風的總風量224根據每個新風口或潔凈室的設計新風量,調節(jié)并測試每個風口的新風量,使之與設計風量相近如果測試風量與設計風量不符,則調節(jié)各支管閥門,再測試,如此重復幾次,直到達到所需的風量225一個潔凈室,由一條風管送風時,也可以采用相同的方法測試潔凈室內由新風口送風時,可以測定風口風量根據風口形式選輔助風管，即用硬質板材做成與風口內截面相同、長度等于2倍風口邊長的直管段連接與風口外部，在輔助風管出口平面上，按最少測點數不少于6點均勻布置測點，用熱球風速儀測定各點風速。以風管出口截面平均風速乘以風管出口截面積確定風量。226按照設計新風量調節(jié)后,各房間應能形成相對的正壓,如果達不到相對的正壓,則可繼續(xù)調節(jié)風口,直到達到要求,這時不需要求與設計風量相近227正式測出潔凈室之間的正壓測試應從潔凈度由高到低的順序依此進行,在架空地板下的分隔板上開一個小孔,經該小孔和架空地板空,將微壓計膠管連接到相鄰的兩間潔凈室,測出靜壓值有些將微壓計膠管經潔凈室門縫測試如果到不到如下要求的靜壓值,則重復幾次,直到達到規(guī)定值相鄰潔凈室靜壓差PA1級與10級12510級與100級125100級與1000級501000級與10000級5010000級與100000級50100000級與無潔凈區(qū)域125228微粒數的測定該測定的目的是檢查新風機組高效過濾器之間是否漏風。制造300X300X400長及400長的L型風管，把風管抹干凈，其中一端壓在部分出風口，另一端用風速儀測其風速，風速必須在05米/秒以下，如果風速太大，壓在風口的部分減少，以確保風速在05米/秒以下，用粒子計數儀測其顆粒度，如果達到100級以上證明裝在新風機組高效過濾器之間無漏。3截面平均風速及循環(huán)風量的測試31測試儀器熱球風速儀32測試方法321截面風速及循環(huán)風量測試是在排風及新風系統(tǒng)調節(jié)測試之后進行測試時,確保各排風及新風系統(tǒng)正常運行322安裝好高效過濾器或FFU機組并檢查其處于正常的運行狀態(tài)323單向流潔凈室測定截面取距高效過濾器或FFU機組03M并垂直于氣流的水平截面對水平單向流潔凈室,測定截面取距送風面03M的垂直截面測點間距不大于06M/個,測數不少于5個,并均勻布置記錄所有測點的數值,取算術平均值作為截面平均風速單向流潔凈室循環(huán)風量按下式計算QVF3600式中Q潔凈室送風量M3/SF測定截面面積M2V截面平均風速M/S324非單向流潔凈室非單向流潔凈室的循環(huán)風量,根據實際情況,可以采用風口法或風管法測定測定方法參照上述風量測定方法4高效過濾器檢漏,潔凈度測試及潔凈循環(huán)系統(tǒng)41測試儀器光學粒子計數儀,激光粒子計數儀,熱球風速儀42測試方法和步驟421原則上,將上述三項測試項目完成后,在進行本項的測試422檢查各送排風及高效過濾器正常運行,按照預先準備的方案和人員組成,進行測試423為了加快進度,并做到對個潔凈室潔凈情況有一個預先的了解,可以在每個潔凈室取一到兩個測點,用粒子計數儀測試,記錄分析所取得的測試數據如果有異?；虿荒苓_標的數據出現,則在檢漏時,做重點檢查424高效過濾器的檢漏高效過濾器的本體性能實驗檢測,應在產品出廠前完成,現場主要是為確認高效過濾的正確安裝狀態(tài)而進行泄露檢測采用掃描法對高效過濾器安裝拼逢和主斷面進行檢測,檢測點距被測表面2030MM,測頭以2050MM/S的速度移動,對被測過濾器整個表面,封膠頭,和安裝框架處進行掃描粒子計數器最小采樣量大于1L/MIN圖三高效過濾器檢漏示意圖檢測時,如發(fā)現有漏塵,將測出的數據記錄在FFU或高效過濾器分布檢漏圖上如有發(fā)現有不尋常的讀數,則證實高效過濾器有漏,需要實施更換或做其他處理425潔凈度測試4251采用速率大于1L/MIN的光學粒子計數器1,10級潔凈室潔凈度檢測采用激光粒子計數器,100級以下的潔凈室采用光學粒子計數器4252采樣點數量采樣點數量按下式計算NLA05式中NL最小采樣點數A潔凈室或潔凈區(qū)面積,M2水平單向流時,A可以看成是與氣流垂直的空氣的截面積采樣點均勻分布在整個潔凈室或潔凈區(qū)內,并位于工作區(qū)的高度內距地面08米的水平面或設計指定的位置4253采樣量按規(guī)范規(guī)定,在指定的空氣潔凈度等級下被考慮粒徑的最大濃度限值時,在每個采樣點要采集能保證檢測出至少20個粒子的空氣量采樣點采樣量按下式確定VS20/CNM1000式中VS每個采樣點的采樣量CNM被測潔凈室被考慮粒徑的最大濃度值20在規(guī)定被測粒徑粒子的空氣潔凈度等級限值時，科檢測到的粒子數采樣量至少大于1L，采樣時間最少為1分鐘，并且每個采樣點至少采樣三次。4253采樣規(guī)定A采樣時，采樣口出氣流速度，應盡可能接近室內設計氣流速度B對單向流潔凈室，采樣管口應迎這氣流方向，對于非單向流潔潔凈室，采樣管口應向上。C采樣管口必須干凈，連接處不得有滲漏，采樣管的長度應根據允許長度，如果無規(guī)定，不宜大于15米。D室內檢測人員必須著潔凈服，且不宜超過3人，應遠離或位于采樣點的下風側，靜止不動或微動。4254采樣點位置采樣點位于潔凈室工作區(qū)高度（距地面09米高度并且均勻分布。43合格標準對潔凈室的每次采樣測量的結果與空氣潔凈度等級相關的各個被考慮粒徑的濃度記錄下來，并計算采樣數據的平均值。如果在各個采樣點測得的粒子（平均）濃度小于等于級別上限濃度，及室內平均濃度統(tǒng)計值95置信上限小于等于級別上限，則該潔凈室被認為達到規(guī)定的空氣潔凈度等級。潔凈度等級及粒子濃度限值如下表大于或等于表中粒徑D的最大濃度CN（PC/M3）潔凈度等級01M02M03M05M10M50M11,0001010,00010010,2001000102,00010000350,0001000003,500,0005潔凈室溫濕度測試51測試儀器溫度計，濕度計（根據溫濕度精度要求選擇合適精度的測試用溫濕度儀器）52測試方法521測試采樣點的確定A采樣點距地08米，距外墻05米（單向流潔凈室02米），均勻布置。B房間有無溫濕度要求時，可以只測房間中心一點即可。當有溫濕度要求時，可以按下表確定波動范圍測定儀器測點數量溫度（T）50平米，每增加2050平米，增加35點T202刻度水銀溫度計RH10通風干濕球溫濕度計面積50平米，測一點，當50平米，每增加50平米，增加一個測點522檢測溫濕度控制將溫濕度的敏感組件，人為得加入信號，檢查溫濕度控制閥或其它控制裝置動作是否正確。即人為地升高或降低溫度和濕度，觀察閥門地開啟與關閉狀態(tài)，以及其它控制組件地動作，是否符合要求。523測試溫濕度將在各測點得到地溫濕度數據記錄在測試數據表上。53合格標準室溫波動范圍按各測點地各次溫度中，偏差控制溫度地最大值，整理成統(tǒng)計曲線，如90以上測點偏差值在室溫控制范圍內，為符合設計要求。相對濕度波動范圍按溫度的處理方法進行。6噪音的測試61測試儀器帶倍頻程分析的聲壓計（本項目只測試A聲級的數據）62檢測方法A測點布置當面積小于50平方米時，僅測房間中心一個點，每增加50平方米，增加一個測點（國標）。測試位置為工作區(qū)高度（可選距地面10米和16米兩個水平斷面）。（當采用NEBB標準時，測點數按15米15米選?。〣記錄測試A聲壓級數據63合格標準符合設計要求或按潔凈廠房設計規(guī)范中的規(guī)定，在空態(tài)情況下，非單向流的潔凈室的噪聲級不大于60DB（A）,單向流，混和流潔凈室的噪聲級不大于65DB潔凈室的噪聲頻譜限制的各頻帶的聲壓值不應大于規(guī)范中的規(guī)定。7照度的測試71測試儀器照度儀72測試方法A測點平面距地面085米，按間距12米布點，測點距墻1米。其基本要求與潔凈度的測定位置要求相同。B記錄實測照度值，并計算總的平均照度值C照度測定一般僅測定除局部照明外的一般照明。73合格標準符合設計要求或相關規(guī)范要求。無采光窗的潔凈區(qū)工作面上的照度值，不應低于相關規(guī)定，無采光窗的潔凈區(qū)混合照明中的一般照明，其照度值按各視覺等級相應混合照度值的1015確定，并不低于200LX。一般照度均勻度不應小于07四提出測試報告所有測試項目全部完成后，應對測試原始數據進行計算和評價分析，以確定所有測試結果是否在規(guī)定值之內。如果在之內，說明該潔凈室符合規(guī)定要求，否則，不符合要求，需要進行改進或其它返工。并同時提出測試報告。測試報告一般應包括如下內容1測試機構名稱，地址2測試日期，測試者姓名3執(zhí)行的測試標準4有關測試儀器的型號，規(guī)格，精度，標定證書和有效日期5被測潔凈室的平面圖，采樣點分布圖，原始數據記錄表格等資料6測試結果，數據分析及異常測試數據的說明和處理7結論附表1系統(tǒng)總排風量測試數據表NO儀器名稱風速儀儀器型號儀器檢定有效期風管測點布置圖123456ABC測試時間2005817設計風量系統(tǒng)名稱測點A數值（M/S）測點B數值（M/S）測點C數值（M/S）備注111222333444555666777888999101010測試風量測試偏差允許偏差建設單位代表簽字測試人簽字技術負責人簽字項目經理簽字附表2系統(tǒng)總送風量測試數據表NO儀器名稱風速儀儀器型號儀器檢定有效期風管測點布置圖123456ABC測試時間2005817設計風量系統(tǒng)名稱測點A數值（M/S）測點B數值（M/S）測點C數值（M/S）備注111222333444555666777888999101010測試風量測試偏差允許偏差建設單位代表簽字測試人簽字技術負責人簽字項目經理簽字附表3系統(tǒng)風量測試資數據表系統(tǒng)總送風量測試數據表系統(tǒng)名稱測試風量設計風量實際偏差允許偏差評定年月日時分建設單位代表簽字測試人簽字技術負責人簽字項目經理簽字附表4送、回、排風口風量測試數據表儀