1、鑄錠爐工藝編制鑄錠爐工藝編制指導(dǎo)老師：胡曉東組別：第五組小組成員： 楊興富 楊薇 楊慧 王騰宇 李浩磊目錄目錄 多晶硅的生產(chǎn)工藝原理 鑄錠爐的設(shè)備特性 晶體硅的結(jié)晶原理 鑄錠爐工藝編制方法鑄錠工藝原理鑄錠工藝原理內(nèi)涂SiN的坩堝裝入多晶硅料后放在導(dǎo)熱性很強(qiáng)的石墨塊上（即所謂的定向固化塊或者DS塊）。關(guān)閉爐子后排氣，接通加熱器電源融化硅料數(shù)小時(shí)以上。坩堝的四個(gè)豎直邊都圍有石墨加熱器，DS-Block，坩堝四周?chē)懈魺釋印８魺釋拥呢Q直邊能上下移動(dòng)以便露出DS-Block的邊緣，使熱量輻射到下腔室的水冷四壁上。水冷卻DS-Block后再返回來(lái)冷卻坩堝底部，從而使坩堝內(nèi)的熔融硅周?chē)纬闪艘粋€(gè)豎直溫度梯

2、度。這個(gè)梯度使坩堝內(nèi)的硅料從底部開(kāi)始凝固，從熔體底部向頂部開(kāi)始長(zhǎng)晶。當(dāng)所有的硅料都凝固后，在程序的控制下，硅錠需要經(jīng)過(guò)退火，冷卻處理以免破裂且能將（晶格）位移降到最小限度 。鑄錠爐的設(shè)備特性鑄錠爐的設(shè)備特性 熱效率較高（有熱開(kāi)關(guān)，周期縮短，為46-50小時(shí)）。 采用石墨棒頂?shù)准訜帷?車(chē)間結(jié)構(gòu)較復(fù)雜，用懸臂吊車(chē)頂裝料，廠房高度增加。固-液界面較平，徑向溫度梯度小，雜質(zhì)徑向分凝不顯著。晶體硅的結(jié)晶原理晶體硅的結(jié)晶原理 溶質(zhì)從溶液中析出的過(guò)程，可分為晶核生成（成核）和晶體生長(zhǎng)兩個(gè)階段 鑄錠爐工藝編制方法1、預(yù)熱（1）預(yù)熱真空度：大約1.05MPa（2）預(yù)熱溫度：室溫1200（3）預(yù)熱時(shí)間：大約15h

3、(4)預(yù)熱保溫要求：完全保溫。2、熔化（1)熔化真空度：大約441 Pa；(2)熔化溫度：1 200一l 550；(3)熔化時(shí)間：大約5 h；(4)熔化保溫要求：完全保溫；(5)開(kāi)始充保護(hù)氣。3、長(zhǎng)晶(1)長(zhǎng)晶真空度：大約441 Pa；(2)長(zhǎng)晶溫度：l 440一l 400；(3)長(zhǎng)晶時(shí)間：大約10 h；(4)長(zhǎng)晶保溫要求：緩慢取消保溫；(5)連續(xù)充保護(hù)氣。 4、退火 (1)退火真空度：大約441 Pa；(2)退火溫度：l 400一1 000；(3)退火時(shí)間：大約85 h；(4)退火保溫要求：完全保溫；(5)連續(xù)充保護(hù)氣。 5、冷卻 （1)冷卻真空度：大約525 Pa；(2)冷卻溫度：1 000一400；(3)冷卻時(shí)間：大約6 h；(4)冷卻保溫要求：完全保溫；(5)連續(xù)充保護(hù)。 在冷卻循環(huán)的最后一個(gè)階段里，完全打開(kāi)隔熱層，壓力上升到950mbar左右，準(zhǔn)備出錠。 當(dāng)程