1、清洗設(shè)備培訓(xùn)清洗設(shè)備培訓(xùn)目目 錄錄第一部分：第一部分：RENA清洗機(jī)設(shè)備概略清洗機(jī)設(shè)備概略第二部分：?jiǎn)尉逑礄C(jī)設(shè)備概略第二部分：?jiǎn)尉逑礄C(jī)設(shè)備概略第三部分：第三部分：RENA管路圖管路圖第四部分：第四部分：RENA電路圖電路圖第五部分：第五部分：RENA機(jī)械原理機(jī)械原理第六部分：西門子第六部分：西門子 PLC第一部分第一部分 RENA清洗機(jī)設(shè)備概略清洗機(jī)設(shè)備概略1.1 RENA清洗機(jī)的組件清洗機(jī)的組件 1 InTex. / InTex 1 臺(tái)臺(tái) 2 intermediate transports (input station/output station). /進(jìn)料臺(tái)、出料臺(tái)各進(jìn)料臺(tái)、出料臺(tái)各

2、1個(gè)個(gè) 1 chiller. /冷卻器冷卻器1個(gè)個(gè) 1 electrical cabinet. /電器柜電器柜1個(gè)個(gè) 1 InOxSide. /InOxSide 1 臺(tái)臺(tái) 2 intermediate transports (input station/output station). /進(jìn)料臺(tái)、出料臺(tái)各進(jìn)料臺(tái)、出料臺(tái)各1個(gè)個(gè) 1 chiller. /冷卻器冷卻器1個(gè)個(gè) 1 electrical cabinet. /電器柜電器柜1個(gè)個(gè)1.1.1 RENA整機(jī)整機(jī)6注：公司普通會(huì)根據(jù)需求在注：公司普通會(huì)根據(jù)需求在RENA前后加裝上料臺(tái)、下料臺(tái)用來替代人工手工放片。前后加裝上料臺(tái)、下料臺(tái)用來替代人

3、工手工放片。在下料臺(tái)也會(huì)安裝吸片安裝，用以挑出損壞，破碎的片子。在下料臺(tái)也會(huì)安裝吸片安裝，用以挑出損壞，破碎的片子。1.1.1 RENA整機(jī)整機(jī)1.1.2 冷卻器冷卻器1.1.3 電控柜外部電控柜外部1.1.4 電控柜內(nèi)部電控柜內(nèi)部1.1.5 化學(xué)品保送及排風(fēng)管道化學(xué)品保送及排風(fēng)管道1.1.6 氣、水保送管道氣、水保送管道CDADI waterCooling waterCity water CDACooling water1.1.7 熱風(fēng)系統(tǒng)熱風(fēng)系統(tǒng)InTex目目 的的 ：a去除硅片外表的污染物；去除硅片外表的污染物；b絡(luò)合硅片外表沾污的金屬離絡(luò)合硅片外表沾污的金屬離子；子；c在硅片外表腐蝕出

4、絨面。在硅片外表腐蝕出絨面。InOxSide目目 的的 ：a去除硅片外表的磷硅玻璃；去除硅片外表的磷硅玻璃；b去掉硅片反面及周邊去掉硅片反面及周邊p-n結(jié)。結(jié)。1.2 RENA清洗工藝原理清洗工藝原理1.2.1 清洗目的清洗目的1.2.2 任務(wù)流程任務(wù)流程 制絨槽 上料臺(tái) 下料臺(tái) 干 燥漂洗 3# 酸 洗漂洗 2# 堿 洗 吹 干漂洗 1#InOxSide 刻蝕槽 上料臺(tái) 下料臺(tái) 干 燥漂洗 3# 酸 洗漂洗 2#漂洗 1# 堿 洗Intex1.2.3 RENA一次清洗工藝一次清洗工藝RENA刻蝕原理方程：刻蝕原理方程：3SI+4HNO3+18HF3H2SIF6+4NO2+8H2O SIO2+

5、HFH2SIF6+H2O氟硅酸氟硅酸RENA制絨制絨HF、HNO3原理方程：原理方程：Si+2HNO3+6HF = H2SiF6+2HNO2+2H2O 3Si+4HNO3+18HF = 3H2SiF6+4NO+8H2O3Si+2HNO3+18HF = 3H2SiF6+2NO+4H2O+3H25Si+6HNO3+30HF=5H2SiF6+2NO2+4NO+10H2O+3H2 內(nèi)部和外表絨面內(nèi)部和外表絨面16RENA運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的內(nèi)部情況圖運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的內(nèi)部情況圖多晶硅片經(jīng)過制絨后的絨面形貌多晶硅片經(jīng)過制絨后的絨面形貌注：需求指明的是注：需求指明的是RENA清洗制絨過程中片子是全部淹沒在溶液內(nèi)的。而在清洗制絨

6、過程中片子是全部淹沒在溶液內(nèi)的。而在RENA刻蝕過刻蝕過程中片子是漂浮在溶液上的。程中片子是漂浮在溶液上的。制備絨面的目的及機(jī)理制備絨面的目的及機(jī)理17減少光的反射率，提高短路電流Isc，最終提高電池的光電轉(zhuǎn)換效率。解釋機(jī)理： 當(dāng)光入射到一定角度的斜面或粗糙的外表，光會(huì)反射到另一角度的斜面，構(gòu)成二次或者多次吸收，從而添加吸收率。絨面減少反射的機(jī)理堿洗堿洗KOH的目的及機(jī)理的目的及機(jī)理18 多孔硅的反射率是很低的，但假設(shè)不去除，對(duì)后道的分散和絲網(wǎng)印刷不利，電池效率受嚴(yán)重影響。堿洗槽： KOH溶液，主要去除制絨后構(gòu)成的多孔硅反響如下：多孔多孔硅硅Si+2KOH+H2O K2SiO3+2H2酸洗酸洗

7、(HF、HCL)的目的及機(jī)理的目的及機(jī)理19酸洗槽：酸洗槽： HF去除硅片在清洗過程中構(gòu)成的很薄的去除硅片在清洗過程中構(gòu)成的很薄的SiO2層，反層，反 應(yīng)如下：應(yīng)如下： SiO2+6HF = H2SiF6+2H2O HCl去除硅外表金屬雜質(zhì)，鹽酸具有酸和絡(luò)合劑的雙重作去除硅外表金屬雜質(zhì)，鹽酸具有酸和絡(luò)合劑的雙重作用，氯離子能與用，氯離子能與 Pt 2+、 Au 3+、 Ag +、 Cu+、Cd 2+、 Hg 2+等金屬離子構(gòu)成可溶于水的絡(luò)合物。等金屬離子構(gòu)成可溶于水的絡(luò)合物。1.2.4 RENA二次清洗工藝二次清洗工藝刻蝕槽(HF、HNO3、H2SO4)刻蝕目的： 1. 去除硅片周邊及反面P-

8、N結(jié)，減少漏電流。2. 去除在擴(kuò)構(gòu)成的磷硅玻璃，較少光的反射，降低接觸電阻。分散中磷硅玻璃的構(gòu)成： 4 POCl3 + 3 O2 = 2 P2O5 + 6 Cl2在較高的溫度的時(shí)候， P2O5作為磷源與Si發(fā)生了如下反響： 2 P2O5 +5 Si = 5 SiO2 + 4 P所以去磷硅玻璃清洗本質(zhì)上就是去除硅片外表的SiO2?？涛g刻蝕(HF、HNO3、H2SO4)的目的和機(jī)理的目的和機(jī)理 在刻蝕過程中，HF對(duì)二氧化硅的腐蝕發(fā)生如下反響： SiO2+6HF = H2SiF6+2H2O溶液中參與H2SO4的目的是增大溶液的黏度及密度，使溶液與硅片更好的接觸。HNO3主要是用來刻蝕硅片邊緣處的P-

9、N結(jié)的，相當(dāng)于等離子刻蝕。堿洗堿洗KOH的目的及機(jī)理的目的及機(jī)理22KOH溶液，主要去除多孔硅和中和硅外表剩余的酸。溶液，主要去除多孔硅和中和硅外表剩余的酸。反響如下：反響如下：Si+2KOH+H2O K2SiO3+2H2酸洗酸洗(HF)的目的及機(jī)理的目的及機(jī)理23酸洗槽去酸洗槽去PSG：氫氟酸可以溶解二氧化硅是由于氫氟酸能與二氧化硅氫氟酸可以溶解二氧化硅是由于氫氟酸能與二氧化硅作用生成易揮發(fā)的四氟化硅氣體。作用生成易揮發(fā)的四氟化硅氣體。假設(shè)氫氟酸過量，反響生成的四氟化硅會(huì)進(jìn)一步與氫假設(shè)氫氟酸過量，反響生成的四氟化硅會(huì)進(jìn)一步與氫氟酸反響生成可溶性的絡(luò)和物六氟硅酸。氟酸反響生成可溶性的絡(luò)和物六氟

10、硅酸?？偡错懯綖椋嚎偡错懯綖椋篛2HSiF4HFSiO242SiFH2HFSiF624O2HSiFH6HFSiO26221.3 RENA操作系統(tǒng)主界面操作系統(tǒng)主界面1.3.1 InTex操作系統(tǒng)主界面操作系統(tǒng)主界面制絨槽HF+HNO3+DICDADI waterDI waterDI waterHF+HCIKOHCDA1.3.2 InOxSIde操作系統(tǒng)主界面操作系統(tǒng)主界面蝕刻槽HF+HNO3+H2SO4+DIDI waterDI waterDI waterHFKOHCDA1.3.3 RENA主界面詳細(xì)闡明主界面詳細(xì)闡明程序內(nèi)的日期和時(shí)間方式、與PLC的銜接情況及登陸的用戶名燈塔形狀機(jī)器稱號(hào)廠家

11、稱號(hào)報(bào)警的詳細(xì)信息登陸按扭1.3.3 RENA主界面詳細(xì)闡明主界面詳細(xì)闡明一號(hào)傳動(dòng)的形狀及設(shè)定速度二號(hào)傳動(dòng)的形狀及設(shè)定速度傳動(dòng)速度補(bǔ)償及刻蝕槽溫度補(bǔ)償三號(hào)傳動(dòng)的形狀及設(shè)定速度機(jī)器的三種報(bào)警:嚴(yán)重的問題、機(jī)器本身的問題和普通的警報(bào)1.3.3 RENA主界面詳細(xì)闡明主界面詳細(xì)闡明進(jìn)口處統(tǒng)計(jì)歸零預(yù)備上料自動(dòng)方式下才會(huì)出現(xiàn)出口處統(tǒng)計(jì)歸零進(jìn)口處硅片統(tǒng)計(jì)出口處硅片統(tǒng)計(jì)刻蝕槽溫度三個(gè)電機(jī)分別控制三段滾輪堿槽溫度門形狀(綠色為封鎖灰色為開啟)1.3.3 RENA主界面詳細(xì)闡明主界面詳細(xì)闡明登陸筐,可輸入登陸名密碼后登陸(不同的登陸名有不同的權(quán)限)記事本鎖定窗戶正在運(yùn)用的工藝文件機(jī)器自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的開場(chǎng)和停頓燈塔測(cè)

12、試(點(diǎn)擊后燈塔全部亮)1.3.3 RENA主界面詳細(xì)闡明主界面詳細(xì)闡明封鎖方式手動(dòng)方式效力方式(權(quán)限最高)自動(dòng)方式切換到初始界面按扭進(jìn)入效力方式按扭進(jìn)入手動(dòng)方式按扭工藝文件進(jìn)入手動(dòng)添加界面曲線圖進(jìn)入報(bào)警信息界面取消蜂鳴取消報(bào)警1.3.3 RENA主界面詳細(xì)闡明主界面詳細(xì)闡明各添加桶形狀冷水機(jī)形狀儲(chǔ)液箱形狀儲(chǔ)液箱進(jìn)口溫度儲(chǔ)液箱設(shè)定溫度儲(chǔ)液箱實(shí)踐溫度冷水機(jī)內(nèi)自來水的電導(dǎo)率集中供液能否READY機(jī)器內(nèi)化學(xué)品排放能否READY1.3.4 RENA手動(dòng)方式形狀詳解手動(dòng)方式形狀詳解1刻蝕槽界面刻蝕槽界面RENA刻蝕槽界面引見刻蝕槽界面引見MODE MAN&MODE AUTO-自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)單個(gè)槽的自動(dòng)

13、手動(dòng)切換PT FILLING DI-儲(chǔ)液槽加純水PT FILLING CHEMIE-儲(chǔ)液槽加化學(xué)藥品SYSTERM RINSING-整個(gè)系統(tǒng)(包括外槽內(nèi)槽儲(chǔ)液槽)用純水清洗SYSTERM DRAINING-整個(gè)系統(tǒng)排液BATH CHANGE-刻蝕槽儲(chǔ)液槽排空,再重新配液START MAIN FUNCTION-在手動(dòng)方式下單個(gè)槽運(yùn)轉(zhuǎn)工藝RINSE BATH START-開場(chǎng)用純水不斷清洗(只需在槽內(nèi)加滿純水后次按鍵才有作用)RINSE BATH STOP-純水清洗終了FILL BATH-給刻蝕槽加化學(xué)藥品(假設(shè)儲(chǔ)液槽內(nèi)是純水那么加的是純水)DRAIN BATH-刻蝕槽排液RENA刻蝕槽功能刻蝕槽

14、功能第一次配槽的設(shè)定體積實(shí)踐參與的體積未參與的體積(點(diǎn)擊上圖的REST REMAIN VOL.可以清零流量2RENISE1界面界面RENISE1功能功能MODE MAN&MODE AUTO-自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)單個(gè)槽的自動(dòng)手動(dòng)切換FILLING DI-給槽內(nèi)加純水RENISE的水是RENISE槽的水溢流過來的DRAINING-整個(gè)槽排液START PROCESS-在手動(dòng)方式下單個(gè)槽運(yùn)轉(zhuǎn)工藝STOP-終了操作RENISE 1槽的形狀3RENA堿槽界面堿槽界面堿槽功能堿槽功能MODE MAN&MODE AUTO-自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)單個(gè)槽的自動(dòng)手動(dòng)切換FILLING DI-給槽內(nèi)加純水FILLING

15、CHEMIE-加化學(xué)藥品初始配槽RINSING-用純水清洗DRAINING-整個(gè)槽排液START CIRCULATION-開場(chǎng)循環(huán)只需加滿純水或化學(xué)藥品后此功能才起作用，此步驟程序內(nèi)有時(shí)間計(jì)算，會(huì)自動(dòng)停頓，是整個(gè)槽到達(dá)READY的根本條件之一START ETCHING-在手動(dòng)方式下單個(gè)槽運(yùn)轉(zhuǎn)工藝STOP-終了操作初始配槽時(shí)KOH和水的體積4RENISE2界面引見界面引見RENISE2功能功能MODE MAN&MODE AUTO-自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)單個(gè)槽的自動(dòng)手動(dòng)切換FILLING DI-給槽內(nèi)加純水RENISE2的水是RENISE3槽的水溢流過來的DRAINING-整個(gè)槽排液START PRO

16、CESS-在手動(dòng)方式下單個(gè)槽運(yùn)轉(zhuǎn)工藝STOP-終了操作RENISE 2槽的形狀5HF槽界面引見槽界面引見HF槽功能槽功能MODE MAN&MODE AUTO-自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)單個(gè)槽的自動(dòng)手動(dòng)切換FILLING DI-給槽內(nèi)加純水FILLING CHEMIE-加化學(xué)藥品初始配槽RINSING-用純水清洗DRAINING-整個(gè)槽排液START CIRCULATION-開場(chǎng)循環(huán)只需加滿純水或化學(xué)藥品后此功能才起作用，此步驟程序內(nèi)有時(shí)間計(jì)算，會(huì)自動(dòng)停頓，是整個(gè)槽到達(dá)READY的根本條件之一START ETCHING-在手動(dòng)方式下單個(gè)槽運(yùn)轉(zhuǎn)工藝STOP-終了操作初始配槽時(shí)HF和水的體積6RENISE3

17、界面引見界面引見RENISE3功能功能MODE MAN&MODE AUTO-自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)單個(gè)槽的自動(dòng)手動(dòng)切換FILLING DI-給槽內(nèi)加純水RENISE2的水是RENISE3槽的水溢流過來的DRAINING-整個(gè)槽排液START PROCESS-在手動(dòng)方式下單個(gè)槽運(yùn)轉(zhuǎn)工藝STOP-終了操作RENISE 槽的形狀7DRYER2功能功能DRYER2功能功能MODE MAN&MODE AUTO-自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)單個(gè)槽的自動(dòng)手動(dòng)切換AIRKNIFE ON-手動(dòng)方式開啟風(fēng)刀AIRKNIFE RESET-風(fēng)刀復(fù)位風(fēng)刀形狀8COOLINGUNIT功能功能COOLINGUNIT功能功能MODE MA

18、N&MODE AUTO-自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)單個(gè)槽的自動(dòng)手動(dòng)切換FILLING-給冷水機(jī)加自來水冷水機(jī)上有液位顯示DRAINING-冷水機(jī)排水自來水冷水機(jī)形狀9RENA傳動(dòng)功能傳動(dòng)功能RENA傳動(dòng)功能傳動(dòng)功能傳動(dòng)形狀(3個(gè))同時(shí)控制3個(gè)傳動(dòng)10RENA劑量瓶劑量瓶三個(gè)液位傳感器,低于低液位傳感器或高于高液位傳感器機(jī)器都會(huì)報(bào)警,低于中液位傳感器并且高于低液位傳感器系統(tǒng)開場(chǎng)加液,加液時(shí)添加桶上方的氣動(dòng)閥翻開(顏色變?yōu)榫G色)。以下圖為刻蝕槽添加桶畫面RENA劑量瓶劑量瓶堿槽添加桶HF槽添加桶HON3的添加桶下方與其他三個(gè)添加桶不同的添加桶下方與其他三個(gè)添加桶不同,只需一個(gè)只需一個(gè)RV880/45,這個(gè)

19、限流閥是消費(fèi)過程中這個(gè)限流閥是消費(fèi)過程中微量補(bǔ)液用的微量補(bǔ)液用的,而在第一次配槽時(shí)而在第一次配槽時(shí)HNO3是不是不經(jīng)過劑量瓶經(jīng)過劑量瓶,由流量計(jì)控制直接進(jìn)儲(chǔ)液箱由流量計(jì)控制直接進(jìn)儲(chǔ)液箱的的,KOH,HF都是從劑量瓶往槽內(nèi)添加都是從劑量瓶往槽內(nèi)添加.所以配所以配槽時(shí)由于槽時(shí)由于HNO3的管路不同的管路不同,劑量瓶也和其他劑量瓶也和其他三個(gè)劑量瓶不同三個(gè)劑量瓶不同.RENA劑量瓶劑量瓶第二部分第二部分 單晶清洗機(jī)設(shè)備概略單晶清洗機(jī)設(shè)備概略2.1 制絨機(jī)制絨機(jī)制絨機(jī)整體外形圖制絨機(jī)整體外形圖2.1 制絨機(jī)制絨機(jī)制絨機(jī)的配液、加熱系統(tǒng)制絨機(jī)的配液、加熱系統(tǒng)制絨機(jī)電控柜制絨機(jī)電控柜2.2 分散前酸洗機(jī)分

20、散前酸洗機(jī)中聯(lián)酸洗機(jī)中聯(lián)酸洗機(jī)2.2 分散前酸洗機(jī)分散前酸洗機(jī)捷佳創(chuàng)酸洗機(jī)捷佳創(chuàng)酸洗機(jī)2.3 去去PSG酸洗機(jī)酸洗機(jī)捷佳創(chuàng)去捷佳創(chuàng)去PSGPSG酸洗機(jī)酸洗機(jī)2.4 電氣控制柜電氣控制柜電柜內(nèi)部電柜內(nèi)部電柜外部電柜外部2.5 甩干機(jī)甩干機(jī)甩干機(jī)整體外形圖甩干機(jī)整體外形圖2.5 甩干機(jī)甩干機(jī)甩干機(jī)觸摸屏甩干機(jī)觸摸屏第三部分第三部分 RENA管路圖管路圖3.1 管路圖部件標(biāo)示管路圖部件標(biāo)示 3.1.1 閥門閥門球閥：球閥它具有旋轉(zhuǎn)球閥：球閥它具有旋轉(zhuǎn)90度的動(dòng)作，旋塞度的動(dòng)作，旋塞體為球體，有圓形通孔或通道經(jīng)過其軸線。體為球體，有圓形通孔或通道經(jīng)過其軸線。球閥在管路中主要用來做切斷、分配和改動(dòng)球閥在

21、管路中主要用來做切斷、分配和改動(dòng)介質(zhì)的流動(dòng)方向，它只需求用旋轉(zhuǎn)介質(zhì)的流動(dòng)方向，它只需求用旋轉(zhuǎn)90度的度的操作和很小的轉(zhuǎn)動(dòng)力矩就能封鎖嚴(yán)密。操作和很小的轉(zhuǎn)動(dòng)力矩就能封鎖嚴(yán)密。氣動(dòng)閥：氣動(dòng)調(diào)理閥就是以緊縮空氣為動(dòng)力氣動(dòng)閥：氣動(dòng)調(diào)理閥就是以緊縮空氣為動(dòng)力源，以氣缸為執(zhí)行器，并借助于電氣閥門源，以氣缸為執(zhí)行器，并借助于電氣閥門 定位器、定位器、 轉(zhuǎn)換器、轉(zhuǎn)換器、 電磁閥、電磁閥、 保位閥等附保位閥等附件去驅(qū)動(dòng)閥門，件去驅(qū)動(dòng)閥門， 實(shí)現(xiàn)開關(guān)量或比例式調(diào)理，實(shí)現(xiàn)開關(guān)量或比例式調(diào)理， 接納工業(yè)自動(dòng)化控制系統(tǒng)的控制信號(hào)來完成接納工業(yè)自動(dòng)化控制系統(tǒng)的控制信號(hào)來完成調(diào)理管道介質(zhì)的流量、壓力、溫度等調(diào)理管道介質(zhì)的流

22、量、壓力、溫度等 各種各種工藝參數(shù)。工藝參數(shù)。氣動(dòng)閥氣動(dòng)閥球閥球閥3.1.1 閥門閥門蝶閥(英文：butterfly valve)：蝶閥又叫翻板閥,是一種構(gòu)造簡(jiǎn)單的調(diào)理閥，同時(shí)也可用于低壓管道介質(zhì)的開關(guān)控制。是指封鎖件(閥瓣或蝶板)為圓盤，圍繞閥軸旋轉(zhuǎn)來到達(dá)開啟與封鎖的一種閥，在管道上主要起切斷和節(jié)流用。蝶閥蝶閥溢流閥RELIEF VALVE ：一種液壓壓力控制閥。在液壓設(shè)備中主要起定壓溢流作用和平安維護(hù)作用。 定壓溢流作用：在定量泵節(jié)流調(diào)理系統(tǒng)中，定量泵提供的是恒定流量。當(dāng)系統(tǒng)壓力增大時(shí)，會(huì)使流量需求減小。平安維護(hù)作用：系統(tǒng)正常任務(wù)時(shí)，閥門封鎖。只需負(fù)載超越規(guī)定的極限系統(tǒng)壓力超越調(diào)定壓力時(shí)開

23、啟溢流，進(jìn)展過載維護(hù)，使系統(tǒng)壓力不再添加通常使溢流閥的調(diào)定壓力比系統(tǒng)最高任務(wù)壓力高10%20%。 溢流閥溢流閥常閉氣動(dòng)球閥常閉氣動(dòng)球閥常開隔膜氣動(dòng)閥常開隔膜氣動(dòng)閥常閉隔膜氣動(dòng)閥常閉隔膜氣動(dòng)閥隔膜手動(dòng)閥隔膜手動(dòng)閥手動(dòng)球閥手動(dòng)球閥常開氣動(dòng)球閥常開氣動(dòng)球閥3.1.1 閥門閥門3.1.1 閥門閥門氣動(dòng)三通球閥氣動(dòng)三通球閥減壓閥減壓閥單向閥單向閥減壓閥或溢流閥減壓閥或溢流閥手動(dòng)閥手動(dòng)閥/ /針型閥針型閥/ /限流閥限流閥手動(dòng)三通球閥手動(dòng)三通球閥3.1.1 閥門閥門常開氣動(dòng)蝶閥常開氣動(dòng)蝶閥常閉氣動(dòng)蝶閥常閉氣動(dòng)蝶閥手動(dòng)蝶閥手動(dòng)蝶閥帶維護(hù)功能的溢流閥帶維護(hù)功能的溢流閥3.1.2 流量控制流量控制漿式流量傳感器

24、漿式流量傳感器浮子流量計(jì)浮子流量計(jì)通用流量計(jì)通用流量計(jì)筒式液體過濾器筒式液體過濾器3.1.3 泵泵離心泵離心泵薄膜真空泵薄膜真空泵通用泵通用泵隔膜泵隔膜泵雙介質(zhì)泵雙介質(zhì)泵3.1.4 傳感器及其它傳感器及其它流量計(jì)參數(shù)顯示流量計(jì)參數(shù)顯示壓力傳感器壓力傳感器加熱器加熱器墊片墊片電容傳感器電容傳感器3.2 RENA各工藝槽管路圖詳見各工藝槽管路圖詳見RENA電路圖電路圖3.2.1 制絨槽制絨槽HF+HNO33.2.1 制絨槽制絨槽 HF+HNO33.2.1 制絨槽制絨槽 HF+HNO33.2.2 漂洗漂洗1及堿槽及堿槽KOH3.2.2 漂洗漂洗1及堿槽及堿槽KOH3.2.3 漂洗漂洗23.2.3 漂

25、洗漂洗23.2.4 酸槽酸槽HF+HCI3.2.4 酸槽酸槽HF+HCI3.2.5 漂洗漂洗33.2.5 漂洗漂洗33.2.6 熱風(fēng)刀熱風(fēng)刀 ACD3.2.6 熱風(fēng)刀熱風(fēng)刀 ACD急停開關(guān)急停開關(guān)接觸開關(guān)接觸開關(guān)熱繼電器主、副觸點(diǎn)熱繼電器主、副觸點(diǎn)第四部分第四部分 RENA電路圖電路圖4.1 電氣控制電路簡(jiǎn)介電氣控制電路簡(jiǎn)介 4.1.1 開關(guān)開關(guān)急停開關(guān)急停開關(guān)接觸開關(guān)行程開關(guān)接觸開關(guān)行程開關(guān)熱繼電器主、副觸點(diǎn)熱繼電器主、副觸點(diǎn)第四部分第四部分 RENA電路圖電路圖4.1 電路圖部件標(biāo)示電路圖部件標(biāo)示 4.1.1 開關(guān)開關(guān)4.1.1 開關(guān)開關(guān)繼電器接觸器主觸點(diǎn)繼電器接觸器主觸點(diǎn)繼電器線圈繼電器

26、線圈馬達(dá)開關(guān)馬達(dá)開關(guān)接近開關(guān)接近開關(guān)壓力開關(guān)壓力開關(guān)4.1.2 傳感器傳感器溫度傳感器溫度傳感器流量傳感器流量傳感器電容傳感器電容傳感器電感式傳感器電感式傳感器溫度傳感器溫度傳感器電導(dǎo)率傳感器電導(dǎo)率傳感器光傳感器光傳感器4.1.3 電機(jī)電機(jī)單相電機(jī)單相電機(jī)三相電機(jī)三相電機(jī)循環(huán)泵電機(jī)熱維護(hù)循環(huán)泵電機(jī)熱維護(hù)4.1.4 其它常用部件其它常用部件三色燈和蜂鳴器三色燈和蜂鳴器日光燈日光燈插座插座現(xiàn)場(chǎng)總線接口現(xiàn)場(chǎng)總線接口電感電抗電感電抗4.2 氣動(dòng)控制氣動(dòng)控制減壓閥氣壓表4.2 氣動(dòng)控制氣動(dòng)控制限流閥隔膜泵4.3 RENA高低壓控制高低壓控制請(qǐng)轉(zhuǎn)到請(qǐng)轉(zhuǎn)到RENA電路圖電路圖.PDF4.4 PID溫度控制溫度控制運(yùn)用運(yùn)用PID溫度控制的甩干機(jī)單晶溫度控制的甩干機(jī)單晶4.4 PID溫度控制溫度控制PID溫度控制原理框圖溫度控制原理框圖滾輪滾輪第五部分第五部分 RENA機(jī)械原理機(jī)械原理渦輪箱渦輪箱第五部分第五部分 RENA機(jī)械原理機(jī)械原理第六部分第六部分 西門子西門子 PLC6.1 西門子西門子SIMATIC S7-300 PLC簡(jiǎn)介簡(jiǎn)介1、德國(guó)西門子SIEMENS公司消費(fèi)的可編程控制器在我國(guó)的運(yùn)用也相當(dāng)廣泛，在冶金、化工、印刷消費(fèi)線等領(lǐng)域都有運(yùn)用。2、西門子S7系列PLC體積小、速度快、規(guī)范化，具有網(wǎng)絡(luò)通訊才干，功能更強(qiáng)，可靠性更高。S7系列PLC產(chǎn)品可分為微型P