1、蘇蘇 全全磁敏傳感器及應(yīng)用技術(shù)磁敏傳感器及應(yīng)用技術(shù)-磁敏傳感器定義與分類磁敏傳感器定義與分類第二節(jié)第二節(jié) 磁敏傳感器定義與分類磁敏傳感器定義與分類一、磁敏傳感器定義 對(duì)磁場(chǎng)參量（磁感應(yīng)強(qiáng)度、磁通）敏感，通過(guò)磁電作用將被測(cè)量（如振動(dòng)、位移、轉(zhuǎn)速等）轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的器件或裝置第二節(jié)第二節(jié) 磁敏傳感器定義與分類磁敏傳感器定義與分類磁敏傳感器磁電感應(yīng)式傳感器（基于電磁感應(yīng)原理）利用導(dǎo)體和磁場(chǎng)發(fā)利用導(dǎo)體和磁場(chǎng)發(fā)生生相對(duì)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)體兩端相對(duì)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)體兩端產(chǎn)產(chǎn)生感應(yīng)電勢(shì)生感應(yīng)電勢(shì)磁電效應(yīng)傳感器磁敏電阻磁敏二極管磁敏三極管霍爾元件二、磁敏傳感器分類 第二節(jié)第二節(jié) 磁敏傳感器定義與分類磁敏傳感器定義與分類（一）霍爾元件

2、 磁場(chǎng)丈量：做高斯計(jì)（特斯拉計(jì)）的檢測(cè)探頭。 電流檢測(cè)：做電流傳感器/變送器的一次元件。 直流無(wú)刷電機(jī)：用于檢測(cè)轉(zhuǎn)子位置并提供激勵(lì) 信號(hào)。 集成開關(guān)型霍爾器件的轉(zhuǎn)速/轉(zhuǎn)數(shù)丈量。 第二節(jié)第二節(jié) 磁敏傳感器定義與分類磁敏傳感器定義與分類（二）強(qiáng)磁體薄膜磁阻器件 位移傳感器：主要有磁尺的線性長(zhǎng)間隔位移丈量。 角位移傳感器：主要用語(yǔ)轉(zhuǎn)動(dòng)角度丈量，廣泛應(yīng)用于汽車制造業(yè)。 脈沖發(fā)訊傳感器：主要用于流量檢測(cè)和轉(zhuǎn)速/轉(zhuǎn)數(shù)丈量，如電子水表和流量計(jì)的發(fā)訊傳感器。 第二節(jié)第二節(jié) 磁敏傳感器定義與分類磁敏傳感器定義與分類（三）半導(dǎo)體磁阻器件 主要是InSb磁阻器件 微弱磁場(chǎng)檢測(cè)，主要用于偽鈔識(shí)別 脈沖丈量，主要用于轉(zhuǎn)

3、速/轉(zhuǎn)數(shù)丈量 第二節(jié)第二節(jié) 磁敏傳感器定義與分類磁敏傳感器定義與分類三、國(guó)外磁敏傳感器的現(xiàn)狀 1國(guó)外磁傳感器的常見種類就市場(chǎng)占有情況來(lái)看，國(guó)外磁敏傳感器主要品種依然是霍爾元件、磁阻元件。近期的巨磁阻元件也有良好的發(fā)展空間。2外磁傳感器的代表廠商：霍爾元件：日本旭化成；日本東芝；美國(guó)Honeywell公司；美國(guó)Allogro公司。磁阻器件：日本SONY公司；荷蘭PHILIPS公司。第二節(jié)第二節(jié) 磁敏傳感器定義與分類磁敏傳感器定義與分類四、國(guó)內(nèi)磁敏傳感器的現(xiàn)狀1國(guó)內(nèi)磁傳感器的常見種類及其特點(diǎn)目前國(guó)內(nèi)磁敏傳感器經(jīng)過(guò)三十余年的發(fā)展，就基礎(chǔ)器件的研究與開發(fā)情況，除巨磁電阻存有差距以外，常用其他磁敏傳感器

4、如霍爾元件，磁阻元件等已經(jīng)與國(guó)外同類產(chǎn)品的水平相當(dāng)。市場(chǎng)上應(yīng)用的國(guó)產(chǎn)磁敏傳感器件的種類也與國(guó)外產(chǎn)品相當(dāng)，依然是霍爾元件、磁阻元件。第二節(jié)第二節(jié) 磁敏傳感器定義與分類磁敏傳感器定義與分類四、國(guó)內(nèi)磁敏傳感器的現(xiàn)狀2國(guó)內(nèi)磁傳感器件代表廠商霍爾元件：中科院半導(dǎo)體所，沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院，南京中旭微電子公司。磁阻器件：沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院（匯博思賓尼斯公司）第二節(jié)第二節(jié) 磁敏傳感器定義與分類磁敏傳感器定義與分類名稱名稱工作原理工作原理工作范圍工作范圍主要用途主要用途相關(guān)元件相關(guān)元件霍爾器件霍爾器件霍爾效應(yīng)霍爾效應(yīng)1010-7-710T10T磁場(chǎng)測(cè)量，位置和磁場(chǎng)測(cè)量，位置和 速度速度傳感，電流、傳感，電流、

5、電壓傳感電壓傳感器等器等單晶單晶（SiSi、GeGe、InAsInAs、 InSbInSb、GaAsGaAs、InAsP)InAsP)霍爾片、開關(guān)霍爾片、開關(guān)和線性集和線性集 成電路成電路半導(dǎo)體半導(dǎo)體 磁敏電阻磁敏電阻磁敏電阻效應(yīng)磁敏電阻效應(yīng)1010-3-31T1T旋轉(zhuǎn)和角度傳感旋轉(zhuǎn)和角度傳感長(zhǎng)方體、柵格結(jié)構(gòu)、長(zhǎng)方體、柵格結(jié)構(gòu)、InSb-InSb-NiSbNiSb共晶體、曲折形磁阻元共晶體、曲折形磁阻元件，科爾賓元件件，科爾賓元件磁敏二極管磁敏二極管復(fù)合電流的磁復(fù)合電流的磁場(chǎng)調(diào)制場(chǎng)調(diào)制1010-6-610T10T位置和速度及位置和速度及 電流、電電流、電壓傳感壓傳感磁敏晶體管磁敏晶體管集電極電

6、流或集電極電流或漏極電流的磁漏極電流的磁場(chǎng)調(diào)制場(chǎng)調(diào)制1010-6-610T10T位置和速度及電位置和速度及電 流、電流、電壓傳感壓傳感雙極型和雙極型和MOSMOS型晶體型晶體 管管金屬膜磁敏電阻器金屬膜磁敏電阻器磁敏電阻的各磁敏電阻的各向異性向異性1010-3-3 1010-2-2T T磁讀頭、旋轉(zhuǎn)編碼器磁讀頭、旋轉(zhuǎn)編碼器 速速度檢測(cè)等度檢測(cè)等包括三端、四端、兩維、包括三端、四端、兩維、 三三維和集成電路維和集成電路巨磁阻抗傳感器巨磁阻抗傳感器巨磁阻抗或巨巨磁阻抗或巨磁感應(yīng)效應(yīng)磁感應(yīng)效應(yīng)1010-10-10 1010-4-4T T旋轉(zhuǎn)和位移傳感、旋轉(zhuǎn)和位移傳感、 大電大電流傳感流傳感威根德器件威根德器件威根德效應(yīng)威根德效應(yīng)1010-4-4T T速度檢測(cè)、脈沖發(fā)速度檢測(cè)、脈沖發(fā) 生器生器磁電感應(yīng)傳感器磁電感應(yīng)傳感器法拉第電磁感法拉第電磁感應(yīng)效應(yīng)應(yīng)效應(yīng)10