1、HSC-3500氣相沉積爐計算機控制系統(tǒng)使用說明書前言：下列圖為本控制系統(tǒng)對應(yīng)的實際工作組成部件 為沉積爐主體內(nèi)有加熱室，水冷電極，測溫熱電偶，是處理工件的核心局部。 為混氣罐，由1只電動蝶閥、2只浮子流量計和4只不銹鋼手動截止閥組成，負責氬氣和 丙烷的混氣配比，以及向沉積爐內(nèi)定量輸送工作氣體。2臺滑閥泵負責爐內(nèi)空氣及工作廢氣的排除，使爐子工作在恒定的壓力范圍之內(nèi) 過濾罐2臺負責滑閥泵前級的粉塵排除， 真空電動蝶閥2臺在滑閥泵工作過程中，通過調(diào)節(jié)閥的開度，從而可以調(diào)節(jié)泵的抽速， 使爐子工作在恒定的壓力范圍之內(nèi) 加熱磁性調(diào)壓器，3臺獨立工作，完成爐溫的控制內(nèi)容：為了使上述元器件能夠協(xié)調(diào)工作，工作

2、人員更具可操作性，用于控制的計算機設(shè) 置了多重畫面，多個運行參數(shù)，使得工作過程更加直觀，操作更加簡便，各操作畫面解釋如 下。啟動初始畫面，HSC-3500氣相沉積爐計算機控制系統(tǒng)按“進入工作系統(tǒng)鍵進入主控畫面，開始工作。主控制板在系統(tǒng)工作過程中起到整體監(jiān)控 作用，系統(tǒng)運行時的主要參數(shù)都反映在本畫面當中13 1?： 狀吾狀(13)(12)It 患I城1權(quán)吧對壓力MJi:SSWi:S5HM:SSW:SS:UM:儲丙烷r-at Aa 充/i.也/閩比=1515 |報警後幼釜(14)加熱磁性調(diào)壓器工作狀態(tài)，顯示“正常、“故障兩種狀態(tài)報警滾動條，顯示上電狀態(tài)及有報警標志 實時曲線顯示，反映當前三個溫度和

3、一個絕對壓力隨時間變化規(guī)律 爐內(nèi)絕對壓力數(shù)值顯示，反映內(nèi)部工作時的氣體壓力 充氣管路上的電動蝶閥，顯示該閥的工作狀態(tài)包括伺服、斷電狀態(tài)及閥位的當前開度大 小 爐內(nèi)三個溫區(qū)的溫度數(shù)值顯示，反映內(nèi)部工作時的三個不同部位的溫度示意條顯示氣體流動方向 抽空管路上的電動蝶閥，顯示該閥的工作狀態(tài)包括伺服、斷電狀態(tài)及閥位的當前開度大 小示意條顯示氣體流動方向 抽空管路上的1# 真空電動蝶閥，顯示該閥的工作狀態(tài)包括伺服、斷電狀態(tài)及閥位的當前 開度大小(11) 抽空管路上的2#真空電動蝶閥，顯示該閥的工作狀態(tài)包括伺服、斷電狀態(tài)及閥位的當前 開度大小(12) 抽空管路上的1#滑閥泵，顯示該閥的工作狀態(tài)包括正常運行

4、、故障狀態(tài)(13) 抽空管路上的2#滑閥泵，顯示該閥的工作狀態(tài)包括正常運行、故障狀態(tài)(14) 功能按鈕負責屏幕的切換，“氣氛控制切換至抽空管路的控制畫面，“溫度控制切換 至溫度參數(shù)相關(guān)的控制畫面，“加溫工藝切換至溫度參數(shù)設(shè)定畫面，“歷史數(shù)據(jù)切換 至過去主意參數(shù)的記錄信息畫面，“事件記錄切換至過去運行過程中發(fā)生的事件的記 錄信息畫面“氣氛控制如下控制畫面，充氣電動蝶閥調(diào)節(jié)器為反向調(diào)節(jié)器，抽空電動蝶閥調(diào)節(jié)器為正向調(diào)節(jié)器充氣電動蝶閥調(diào)卩器說明:控制范困爐內(nèi)第對壓力0 1000旳抽空電動嫌閥調(diào)疔器真I同I滑國案 IiPK面 顯示該電動蝶閥的工作狀態(tài)包括伺服、斷電狀態(tài) 爐內(nèi)絕對壓力數(shù)值顯示，截取1000

5、Pa以內(nèi)的壓力值，作為調(diào)節(jié)的控制反應(yīng)量 實時控制設(shè)定值，通過設(shè)定該參數(shù)使爐內(nèi)壓力保持恒定，需要充氣蝶閥和抽空蝶閥配合 動作 控制器輸出指示，隨著輸出量的增大該指示燈逐漸變亮， 控制器手動指示，顯示控制器當前的工作狀態(tài)， 控制器輸出指示，隨著輸出量的增大該指示進度條向右依次全部點亮 電動蝶閥的工作狀態(tài)的控制按鈕，該按鈕顯示伺服狀態(tài)時，按下為蝶閥伺服，并顯示斷 電，再次按下，蝶閥斷電，并顯示伺服，兩控制器操作完全相同按動頁下面的“真空蝶閥控制畫面進入下一氣氛控制畫面，畫面內(nèi)容如下:冷止卞吐堿閥工作狀態(tài)即#IX空電動嫦訓(xùn)作狀態(tài) mtftnet助眥閥控制辭控制范圍爐內(nèi)絶時壓力0 I000P占克Jftt

6、控出 顯示該電動蝶閥的工作狀態(tài)包括伺服、斷電狀態(tài) 爐內(nèi)絕對壓力數(shù)值顯示，作為調(diào)節(jié)的控制反應(yīng)量 實時控制設(shè)定值，通過設(shè)定該參數(shù)使爐內(nèi)壓力保持恒定，需要充氣蝶閥和抽空蝶閥配合 動作 控制器輸出指示，隨著輸出量的增大該指示燈逐漸變亮， 控制器手動指示，顯示控制器當前的工作狀態(tài)， 控制器輸出指示，隨著輸出量的增大該指示進度條向右依次全部點亮 電動蝶閥的工作狀態(tài)的控制按鈕，該按鈕顯示伺服狀態(tài)時，按下為蝶閥伺服，并顯示斷 電，再次按下，蝶閥斷電，并顯示伺服，兩控制器操作完全相同 電動蝶閥控制器的工作狀態(tài)的控制按鈕，該按鈕顯示手動狀態(tài)時，按下為控制器手動， 并顯示自動，再次按下，控制器自動，并顯示手動，兩控

7、制器操作完全相同 電動蝶閥控制器的手動輸出，按下可彈出屏幕軟件盤，進行輸出設(shè)定，設(shè)定范圍0-100,兩控制器設(shè)定方式一致 按動頁下面的“滑閥泵控制畫面進入另一氣氛控制畫面，畫面內(nèi)容如下:丿F泵前請確認,前期準備工作已經(jīng)就緒本冼運行時聞uln累計運行時間h運打狀態(tài)i ! I ；1時工制牌#0克抽 顯示1#滑閥泵的本次運行時間 單位分鐘 顯示1#滑閥泵的累計運行時間 單位小時運行狀態(tài)顯示正常/故障累計故障次數(shù)1#滑閥泵的工作狀態(tài)的控制按鈕，該按鈕顯示啟動狀態(tài)時，按下為1#滑閥泵啟動，并顯示停止，再次按下，1#滑閥泵停止，并顯示啟動，兩控制器操作完全相同按動本頁下面的“主控畫面控制畫面退出到主控制板

8、，按“溫度控制按鈕畫面顯示如下: 本畫面共分6大功能區(qū)，分別是程序給定區(qū)，加熱控制區(qū)，1#-3#溫度調(diào)節(jié)區(qū)程序給定區(qū)本區(qū)可以選擇所要運行的工藝曲線通過畫面軟件盤設(shè)定 ，運行鍵值2,通過畫面軟件 盤設(shè)定、復(fù)位鍵值1,通過畫面軟件盤設(shè)定、暫停鍵值4,通過畫面軟件盤設(shè)定、及 當前給定值setpoint的顯示，據(jù)設(shè)定不同的參數(shù)完成不同的控制功能，加熱控制區(qū)本區(qū)可控制電源柜的加熱電源的投入、切除，并顯示三路電源的投切情況，及非常態(tài)的報警顯示1#溫度調(diào)節(jié)區(qū)本區(qū)可顯示該加溫區(qū)域的當前溫度值，控制輸出值，報警狀態(tài)，能夠完成手/自動切換，條形控件輸出及輸出值指示2#溫度調(diào)節(jié)區(qū)與1#溫度調(diào)節(jié)區(qū)功能相同3#溫度調(diào)節(jié)

9、區(qū)與1#溫度調(diào)節(jié)區(qū)功能相同按動本頁下面的“加溫工藝控制畫面切換到如下工作畫面：力口溫工藝曲段號血g:1234$7類型Type：掉錚*萍將詳卅#SFJSrf溫度Temp;ms扣軸肘何 Duration：料和總糊書鉀曲段g10311213L3I4i16類型Type：咖溫糜Tutnp：対吟站世#aw?sms時 Mlhu:ati0n:誥UUmu3WS鋰* I,英取培。酰h。代表錐按班定1代我終止上，|罪主控制板2,時葉單位井坤1 本畫面為加熱工藝曲線設(shè)定畫面，包含曲線范例，本設(shè)定曲線為第1條曲線，下方表格中“段 號為該曲線中的段號，可設(shè)定 1-15段。表格中“類型為對應(yīng)段號是哪個類型的段，也 即是說，曲線中的一段，或是最終的一段，設(shè)定鍵值中間段設(shè)定值為0,終止段設(shè)定鍵值為1,表格中“溫度為對應(yīng)段號所有到達的溫度，表格中“時間為對應(yīng)段號溫度所有需要 的時間，按動本頁下面的“主控畫面控制畫面退出到主控制板，按“歷史曲線按鈕畫面顯示如下：生產(chǎn)工藝用史尚錢畫面顯示三區(qū)溫度和一個絕對壓力的歷史記錄曲線，通過屏幕下方的按鍵，可以滾動顯示以往的數(shù)據(jù)記錄，直觀的再現(xiàn)過去的工作情況按動本頁下面的“主控畫面控制畫面退出到主控制板，按“歷史曲線按鈕畫面顯示如下：I