1、Ver 1.002009/06/18 CUC Technology 技 術 規(guī) 格 書 全自動多晶制絨清洗設備對本規(guī)格書所記載內容進行確認后，請在下面署名欄中簽字確認。 （用戶）： （日期）： 北京中聯(lián)科利技術股份有限公司 （供應商）： （日期）： 北京中聯(lián)科利技術股份有限公司市 場 部： TELFAX設計師： TELFAX 術 部： TELFAX：010-520940001. 設備名稱全自動多晶制絨清洗設備2. 清洗設備簡圖3. 設備主要技術規(guī)格1) 設

2、備描述該清洗機是由觸摸顯示器和工控機控制的全自動多晶制絨清洗系統(tǒng)。操作者只須將裝有工件的清洗籃放置于自動上料臺，再由工藝配方程序控制機械手依次將工件輸送到各個工位，按照事先輸入的程序對多晶硅電池片進行制絨、表面處理等工藝處理后，從下料臺輸出。2) 技術參數a） 設備外形尺寸：LxWxH=9000x2050x2200mm；（預估尺寸）b） 被清洗硅片：125*125*0.16mm/ 156*156*0.16mm；c） 生產能力：3000片/小時(156*156*0.16mm) 每批 200片/批 (多晶制絨3min為產能計算基礎, 23H/D, 330D/Y)d） 節(jié)拍: 4min e） 片盒:

3、 25片片盒 8籃/批 50片片盒 4籃/批 （根據客戶需求定制）100片片盒 2籃/批 （根據客戶需求定制）200片片盒 1籃/批 （根據客戶需求定制）f） 處理最大重量: 40Kg3) 設備組成設備組成：清洗設備主體、移載機械臂、排風系統(tǒng)、電控及操作面板等組成，設備工藝流向采用“左進右出”，也可以根據顧客的需求進行改動。4） 工藝流程 a）工藝流程1# 自動上料2# OF清洗 （DI水）3# 多晶制絨4# QDR清洗（DI水）5# QDR清洗（DI水）6# OF清洗（DI水）7# OF清洗（DI水）7#、8# 之間風淋（Air）8# KOH處理 9# QDR清洗（DI水）10# QDR清洗

4、（DI水）11# OF清洗（DI水）11# OF清洗（DI水）13#自動出料b）工藝描述工藝工藝介質溫度時間循環(huán)輔助槽體材質自動蓋排風1自動上料2OF清洗DI 水；流量可調RT0-10min/PP/側抽風3多晶制絨混合酸6-12±10-10min有自動補液自動配藥液冷卻系統(tǒng)溢流循環(huán)PVDF有側上抽風4QDR清洗DI 水；流量20L/minRT0-10min/PP/側抽風5QDR清洗DI 水；流量20L/minRT0-10min/PP/6OF清洗DI 水；RT0-10min/PP/7OF清洗DI 水；流量可調RT0-10min/PP/8KOH處理KOH溶液20±50-10mi

5、n有自動補液冷卻系統(tǒng)溢流循環(huán)方式自動滅火裝置PP/側上抽風9QDR清洗DI 水；流量20L/minRT0-10min/PP/有10QDR清洗DI 水；流量20L/minRT0-10min/PP/11OF清洗DI 水；流量可調RT0-10min/PP/12OF清洗DI 水；流量可調RT0-10min/PP/13中轉料臺(與酸洗共用)c)工藝說明1) 定時補充藥液或定量補充藥液，參數均可在觸摸屏上設定；2) 溫度控制采用冷凍機，毛細管熱交換器進行熱交換；制冷功率(40匹)。3) 所有槽體容積不小于120L；4) 多晶制絨槽溶液循環(huán)，制絨時與不制絨時溫度漂移±1；(待試驗確定)5) 7#為

6、機械手傳送轉換工位。6) QDR槽可獨立使用溢流、噴淋、快排等功能。4. 設備特點1) 全程自動化控制，工藝過程中沒有人工干預，保證產品性能的一致性；2) 制絨工藝自動補充藥液、自動配液，保證工藝槽在運行過程中濃度和溫度的穩(wěn)定性；3) 制絨和堿處理工藝槽自動循環(huán)功能，確保藥液的均勻；4) 藥液儲液箱具有自循環(huán)攪拌功能，保持濃度全程均勻，可根據需要定時補充槽體藥液和置換藥液；5) QDR工藝的應用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；6) 機械臂的橫向移動和縱向提升均采用進口伺服馬達，閉環(huán)控制，定位精度0.3mm，可靠性高；采用圓導軌結構及線性模塊傳動，機械臂升降部及懸臂部均用PP包覆，

7、確保機械臂壽命；幾何曲線加減速運動，沖擊小，運動平穩(wěn)； 7) 提籃設計精巧，槽體間轉移時將殘留液體降到最低；8) 優(yōu)化配管設置，節(jié)約DIW消耗量；9) 工藝柔性化設計，工藝更改方便迅速；10) 多工藝數據庫，可供用戶使用和存儲；11) 機械手單獨急停開關、系統(tǒng)急停開關和機械手電機自動過載保護等多重保護，確保操作者的安全。5. 各部分構成1) 機械臂上下運動 升降馬達進口伺服馬達傳動方式滾珠絲杠、線性滑軌位置檢測內置編碼器、外置位置檢測數量2套2) 機械臂橫向移動橫向移動馬達進口伺服馬達傳動方式同步帶輪導向圓導軌位置檢測內置編碼器、外置位置檢測數量2套3) 混酸槽材質PVDF藥液循環(huán)PTFE泵自

8、循環(huán)系統(tǒng)藥液配備各藥液管路供給/根據補液容積定量補充補液控制液位控制 (HF、HNO3、其它 各一)測量元件液位傳感器數量1套4) 框架碳鋼噴塑，進口PP包板。5) 1#自動上料機構位置1#工位材質PP傳動方式鏈傳動傳動馬達進口馬達位置檢測光電開關數量1套6) 2#OF清洗槽 位置2#工位材質進口PP處理時間010min可設定處理液DI水處理液來源主管路自動供給處理溫度RT7) 3#多晶制絨槽 位置3#工位材質PVDF處理時間010min可連續(xù)設定處理液混合液藥液來源稱量槽（PVDF）X2(HF、HNO3)電子流量計控制自動加液、補液處理溫度612可調，溫度漂移±1；毛細管熱交換，3

9、組X2制冷功率40匹；模塊設計，根據試驗數據可疊加。藥液循環(huán)PTFE磁力泵循環(huán)系統(tǒng) 3臺時間管理觸摸屏上直接設定、時間控制精度1s包括處理時間顯示/時間設定/報警/藥液補充時間控制測量元件4個液位傳感器 制絨槽進液流量計X3溫度管理溫控器上設定包括溫度顯示/溫度設定/報警其它自動蓋、藥液冷卻系統(tǒng)8) 4#5#QDR清洗槽位置4#5#工位材質PP處理時間010min可設定處理液DI水處理液來源主管路自動供給處理溫度RT時間管理觸摸屏上直接設定包括時間顯示/時間設定/報警時間控制精度1s9) 6#7#OF清洗槽位置6#7#工位材質進口PP處理時間010min可連續(xù)設定處理液DI水處理液來源主管路供

10、給處理溫度RT時間管理觸摸屏上直接設定包括時間顯示/時間設定/報警時間控制精度1s10) 8#KOH處理槽位置8#工位材質PP處理時間010min可設定處理液KOH溶液藥液來源總進液管路供給處理溫度20±5控溫方式冷卻系統(tǒng) 循環(huán)泵將液抽出，經熱交換器冷卻后進入主槽補液方式稱量槽（PP）電子流量計控制補液藥液循環(huán)PP離心泵自循環(huán)系統(tǒng) 有外槽循環(huán)至內槽時間管理觸摸屏上直接設定包括處理時間顯示/時間設定/報警/各藥液補充時間控制時間控制精度1s溫度管理溫控器上設定包括溫度顯示/溫度設定/報警測量元件1個溫度傳感器;4個液位傳感器其它 自動滅火裝置11) 9#10#QDR清洗槽位置9#工位、

11、10#工位材質進口PP處理時間010min可設定處理液DI水處理液來源主管路自動供給處理溫度RT時間管理觸摸屏上直接設定包括時間顯示/時間設定/報警時間控制精度1s12) 11#12#OF清洗槽位置11#12#工位材質進口PP處理時間010min可連續(xù)設定處理液DI水處理液來源主管路供給處理溫度RT時間管理觸摸屏上直接設定包括時間顯示/時間設定/報警時間控制精度0.1s13) 13#自動下料機構(與酸洗共用)位置13#工位材質PP傳動方式鏈傳動傳動馬達進口馬達傳送過渡連續(xù)輸送。位置檢測光電開關6. 電控部分1) 工控機P42.8CPU，160G 硬盤，DVD，鍵鼠，1G內存，帶2 個串口，帶網

12、口，選用帶多槽的標準工業(yè)級底板，工業(yè)級電源。2) 17吋帶觸摸屏功能的顯示器；接口：RS-232串行；VGA；最大顯示分辨率：1280×1024，壽命長觸摸面板：點擊壽命250克力度，壽命100萬次以上，RS232串口或USB口。3) 液位、溫度等參數檢測；液位：對槽體的液位 補液箱的液位和加熱箱的液位進行時時控制起到保護作用。溫度：對槽體的溫度 補液箱的溫度和加熱箱的溫度進行時時控制起到保護作用4）自動、手動操作轉換功能；手動：可以對每各閥門，泵，電機，加熱器單獨啟動，對機械手可以手動縱向和橫向到達任意位置。自動：對每個槽體自動補液，溫度自動調節(jié)，液位自動調節(jié)，機械手自動在槽體之間

13、運送花籃，機械手到達每個槽工位時槽蓋將會自動開啟，離開時槽蓋將會自動關閉。5）時間、溫度、搬送速度數字化設定；可以對時間 溫度 和機械手的運行速度進行合理性設定，以達到生產工藝的要求。6）產能統(tǒng)計；可以計算每天的生產數量。7）緊急停止開關；對設備有全方位的安全保護，有機械手急停，系統(tǒng)急停，機械手上下極限 左右極限開關。8）設備運行狀態(tài)顯示。溫控儀表可以時時顯示設備所需要的溫度。觸摸屏：有設備手動運行按鈕，按照管路圖設定畫面對設備準備完成監(jiān)視，每個槽體各種功能監(jiān)視，包括溫度，液位，槽蓋狀態(tài)，機械手到位狀態(tài)，泵和閥門的啟停，加熱器的啟停，報警顯示，報警記錄。界面設定：各種參數設定，管理人員，工藝人

14、員，操作人員的界面等。7. 動力需求1) 電源要求：380VAC±10%（五線制），50Hz±1% ,60KW?？刂苹芈稤C 24V；2) 壓縮空氣：壓力：0.5-0.7MPa，1000NL/min；3) 氮氣壓力：0.5-0.7 MPa，500NL/min，接口管徑 3/8”；4) DI 水：壓力3-5 kg/cm2,電阻率18M； 流量 7m3/hr；（溢流流量按15L/min，QDR流量按20L/min計算）5) 設備總排風排量：142m³/min。(設備自帶排風風機)。8. 確認事項8.1確認客戶在下訂單之前，需對本技術規(guī)格書進行確認并簽字認可。確認之后，如有變更，需書面提出。確認內容：1.本技術規(guī)格書；2.設備外觀及管路系統(tǒng)；3.會議記錄8.2設備安裝工作范圍設備外部水、電、氣的施工和材料由貴公司提供。8.3貴公司指定零部件如貴公司沒有特別指定的零部件，原則上由本公司自行選定。8.4驗收出廠驗收內容：1.數量；2.外觀；3.尺寸；4.裝置動作；5.管路；6.操作性；如貴公司沒有施工標準，則按本公司的標準施工。進廠驗收內容：按技術規(guī)格書要求，試運行無異常情況。8.5保修設備驗收后，正常使用情況下保修期為年，消耗