1、靶材技術(shù)成熟度等級(jí)劃分及定義編制說明討論稿）標(biāo)準(zhǔn)編制組二一七年十月靶材技術(shù)成熟度等級(jí)劃分及定義編制說明工作簡(jiǎn)況任務(wù)來源集成電路、 平面顯示和各種電子元器件等電子制造業(yè)是信息產(chǎn)業(yè)的硬件基礎(chǔ)， 其技術(shù)和 產(chǎn)業(yè)水平是衡量國(guó)家信息技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)力的重要標(biāo)志之一。近年來， 隨著我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展，電子元器件、集成電路制造、 TFT-LCD 平面顯示、磁記錄以及薄膜光伏太陽能等生 產(chǎn)線均有大量高技術(shù)企業(yè)出現(xiàn)；高純?yōu)R射靶材是這些高科技行業(yè)鍍膜用關(guān)鍵配套材料之一。 濺射靶材市場(chǎng)規(guī)模日益擴(kuò)大， 已蓬勃發(fā)展成為一個(gè)專業(yè)化新材料產(chǎn)業(yè)， 我國(guó)成為了世界上高 純?yōu)R射靶材的最大需求地區(qū)之一，這也為中國(guó)靶材制造業(yè)的發(fā)展提供

2、了機(jī)遇和挑戰(zhàn)。我國(guó)政府高度重視電子制造業(yè)新材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，在“十三五”國(guó)家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè) 發(fā)展規(guī)劃、中國(guó)制造 2025和新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展指南等國(guó)家層面的相關(guān)規(guī)劃中都將 “高純金屬及合金等新材料”，作為重點(diǎn)領(lǐng)域急需突破的材料。但迄今為止，中國(guó)在電子元 器件、 集成電路和平面顯示等高端領(lǐng)域應(yīng)用的濺射靶材缺乏系統(tǒng)深入研究，各類靶材產(chǎn)品的質(zhì)量參差不齊， 靶材技術(shù)成熟度指標(biāo)等級(jí)缺乏統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)， 嚴(yán)重制約了國(guó)內(nèi)外靶材用戶對(duì)靶材 制造商的產(chǎn)品實(shí)力，技術(shù)成熟度的評(píng)判。技術(shù)成熟度反映的是技術(shù)對(duì)于項(xiàng)目預(yù)期目標(biāo)的滿足程度。 技術(shù)成熟度評(píng)價(jià)是為了適應(yīng)新 技術(shù)發(fā)展而產(chǎn)生的一項(xiàng)管理工具， 是基于技術(shù)發(fā)展成熟的客觀規(guī)律， 對(duì)其

3、成熟程度進(jìn)行量化 評(píng)價(jià)的一套系統(tǒng)化標(biāo)準(zhǔn)、方法和程序。 “建立新材料技術(shù)成熟度評(píng)價(jià)體系，制定新材料技術(shù) 成熟度通用分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，完善行業(yè)管理”是工業(yè)與信息化部、發(fā)展與改革委、科技部、財(cái)政部 四部委聯(lián)發(fā)的關(guān)于加快新材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展的指導(dǎo)意見和新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃 （2016-2020 年）中明確提出的重點(diǎn)任務(wù)。 2017 年工信部明確提出了要大力推進(jìn)重點(diǎn)新材 料規(guī)?；l(fā)展， 其中金屬靶材制備技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平是工作的重中之重。 本標(biāo)準(zhǔn)的研究 內(nèi)容同時(shí)符合國(guó)家科技重大專項(xiàng) 極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝專項(xiàng) 立項(xiàng)的 超 高純系列濺射靶材開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目的相關(guān)內(nèi)容。靶材技術(shù)成熟度研究， 首先是靶材制造

4、技術(shù)成功的保證； 通過成熟度研究， 確定靶材制 造中的關(guān)鍵技術(shù)是否達(dá)到應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)， 有利于規(guī)范產(chǎn)品的設(shè)計(jì)與制造。 其次也有助于風(fēng)險(xiǎn)管理， 管控風(fēng)險(xiǎn)。 第三， 可以作為企業(yè)制定戰(zhàn)略的重要參考尺度。 通過對(duì)照靶材制造技術(shù)的目前成 熟度與要求的成熟度，明白有待完成的空間，從而制定相應(yīng)的行動(dòng)計(jì)劃。靶材技術(shù)成熟度等級(jí)劃分及定義 是國(guó)內(nèi)首個(gè)靶材技術(shù)成熟度國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)， 開展本項(xiàng)目的研究，建立靶材技術(shù)成熟度評(píng)價(jià)國(guó)家層面的統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)， 可以協(xié)助企業(yè)對(duì)研發(fā)產(chǎn)品進(jìn)行技術(shù) 成熟度評(píng)價(jià)，指導(dǎo)企業(yè)的靶材研發(fā)和生產(chǎn)。 同時(shí)還可以依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)提出的技術(shù)成熟度量化分級(jí) 標(biāo)準(zhǔn)，有利于指導(dǎo)社會(huì)投資，提高投資效率；依據(jù)此標(biāo)準(zhǔn)，可以使企業(yè)院所在

5、自行開展或申 請(qǐng)科研建設(shè)投資的時(shí)候， 判斷其技術(shù)所處的總體水平， 進(jìn)一步明確投資方向； 在此基礎(chǔ)上對(duì) 全國(guó)靶材制造行業(yè)技術(shù)發(fā)展?fàn)顩r進(jìn)行全面科學(xué)量化的評(píng)價(jià)， 為國(guó)家相關(guān)部委提供決策與規(guī)劃 參考，規(guī)范和引導(dǎo)我國(guó)靶材制造產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展和優(yōu)化布局。通過該項(xiàng)目的實(shí)施，建立靶材技術(shù)成熟度分級(jí)的明確標(biāo)準(zhǔn)， 對(duì)進(jìn)一步推動(dòng)靶材技術(shù)領(lǐng)域 的標(biāo)準(zhǔn)化、系列化、通用化具有重要意義。起草單位有研億金新材料有限公司，簡(jiǎn)稱有研億金，2014 年 1月由“有研億金新材料股份有限公司”更名為“有研億金新材料有限公司 ”，隸屬于北京有色金屬研究總院。有研億金屬于中關(guān) 村科技園高新技術(shù)企業(yè)、 “十百千工程” 重點(diǎn)培育企業(yè)，擁有北京市

6、企業(yè)技術(shù)中心, 2012 年公司被評(píng)定為“國(guó)家級(jí)科技創(chuàng)新型示范企業(yè) ”。公司是中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)支撐分會(huì)理事單 位、中關(guān)村集成電路產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟理事單位、 上海黃金交易所綜合類會(huì)員、 中國(guó)有色金屬學(xué)會(huì)貴 金屬學(xué)委會(huì)副主任單位和全國(guó)有色金屬標(biāo)委會(huì)貴金屬分標(biāo)委會(huì)副主任單位。經(jīng)過 10 多年的 發(fā)展，有研億金已成為具備一定產(chǎn)業(yè)規(guī)模在微電子領(lǐng)域內(nèi)具有良好影響力的快速成長(zhǎng)型企 業(yè)。有研億金擁有 30 多年專業(yè)從事稀有和貴金屬材料研究、開發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，獲得并積累 了一大批國(guó)家和部級(jí)科研成果， 培養(yǎng)造就了大批科研、 生產(chǎn)人才。有研億金是國(guó)內(nèi)率先開展 磁控濺射用靶材的單位，在微電子領(lǐng)域用高純金屬靶材制備加工領(lǐng)域具有

7、國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的優(yōu)勢(shì)。 多年來，有研億金利用具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高性能金屬材料制備技術(shù)， 開發(fā)了獨(dú)具特色的靶 材產(chǎn)品，產(chǎn)品涉及各種材料 Al、Cu、Ti、Ru 及其合金，各種難熔金屬等，形成了具有年產(chǎn) 值近億元的產(chǎn)業(yè)基地， 如先進(jìn)鍍膜用半導(dǎo)體材料、 光學(xué)材料、稀土材料、集成電路相關(guān)材料、 磁存儲(chǔ)相關(guān)材料等，具備一大批對(duì)高純金屬材料制備加工技術(shù)具有堅(jiān)實(shí)理論基礎(chǔ)和豐富實(shí)踐 經(jīng)驗(yàn)的專家和技術(shù)人員。有研億金歷年承擔(dān)國(guó)家級(jí)、省部級(jí)科技開發(fā)項(xiàng)目近百項(xiàng)，其中“十 一五”、“十二五”期間，公司承擔(dān)了國(guó)家 02 專項(xiàng)、國(guó)家國(guó)際重點(diǎn)合作項(xiàng)目、國(guó)家高技術(shù) 產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目、國(guó)家科技支撐項(xiàng)目、 863 項(xiàng)目等 36 項(xiàng)國(guó)家重點(diǎn)項(xiàng)目

8、，為我國(guó)新材料產(chǎn)業(yè)的發(fā) 展起到巨大支撐作用。公司共獲國(guó)家科技進(jìn)步獎(jiǎng)特等獎(jiǎng)子項(xiàng)獎(jiǎng) 1項(xiàng)、國(guó)家科技進(jìn)步獎(jiǎng) 3項(xiàng)、 國(guó)家發(fā)明獎(jiǎng) 9項(xiàng)、全國(guó)科學(xué)大會(huì)獎(jiǎng) 2項(xiàng)、部級(jí)獎(jiǎng) 56 項(xiàng)；累計(jì)申請(qǐng)專利 218項(xiàng)，授權(quán)專利 125 項(xiàng)；主持和參與國(guó)家 /行業(yè)/軍用標(biāo)準(zhǔn)起草共 60項(xiàng)，頒布 52項(xiàng)。公司先后有 23 項(xiàng)產(chǎn)品被認(rèn)定為北京市新產(chǎn)品。有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院成立于 1983年 3月，為國(guó)家全額撥款科研事業(yè)單位， 1999 年 7 月轉(zhuǎn)制成科技型企業(yè)，是中央所屬 242 家轉(zhuǎn)制科研院所之一。有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院是 中國(guó)有色金屬行業(yè)專門從事信息服務(wù)與咨詢、 標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量專利研究與服務(wù)、 有色金屬發(fā)展戰(zhàn)略 研究的綜合

9、性服務(wù)機(jī)構(gòu)，既是“中國(guó)有色金屬工業(yè)信息中心”，又是“中國(guó)有色金屬工業(yè)標(biāo) 準(zhǔn)計(jì)量質(zhì)量研究所” 。有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院是北京市的高新技術(shù)企業(yè)， 現(xiàn)隸屬于中國(guó)有 色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)。 有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院為國(guó)內(nèi)外有色金屬生產(chǎn)商、 貿(mào)易商、 消費(fèi)用戶及 其他機(jī)構(gòu)提供全方位、 多渠道的信息服務(wù)， 為政府制定政策和企業(yè)經(jīng)營(yíng)決策提供支撐； 負(fù)責(zé) 組織我國(guó)有色金屬國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、 軍用標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目的立項(xiàng)、 制修訂與復(fù)審， 提供標(biāo)準(zhǔn)化、 質(zhì)量、計(jì)量服務(wù)與咨詢，開展專利代理、查新檢索服務(wù)。出版國(guó)內(nèi)外公開發(fā)行的世界有色 金屬、中國(guó)有色金屬、中國(guó)金屬通報(bào)三個(gè)國(guó)家一級(jí)刊物。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：主要過程和內(nèi)容本標(biāo)準(zhǔn)主管部

10、門為中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)， 技術(shù)歸口單位為全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委 員會(huì)，起草單位為有研億金新材料有限公司和有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院等。有研億金新材料有限公司接到標(biāo)準(zhǔn)制定任務(wù)后， 組織起草人員查閱和檢索了國(guó)內(nèi)外有關(guān) 技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和資料，并征求了相關(guān)生產(chǎn)和使用企業(yè)的意見，作為建立本技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)依據(jù)， 也考慮了國(guó)內(nèi)生產(chǎn)、加工能力和分析水平等實(shí)際情況于2017 年 10 月完成草案稿。編制原則和依據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)起草單位自接受起草任務(wù)后， 本標(biāo)準(zhǔn)編制組收集了生產(chǎn)國(guó)內(nèi)外客戶要求、 國(guó)內(nèi)廠 家實(shí)際生產(chǎn)水平等信息， 初步確定了 靶材技術(shù)成熟度等級(jí)劃分及定義 標(biāo)準(zhǔn)起草所遵循的 基本原則和編制依據(jù)：1）查閱相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)內(nèi)

11、外客戶的相關(guān)技術(shù)要求；2）根據(jù)國(guó)內(nèi)外磁控濺射靶材用戶、制造商及原料供應(yīng)商具體情況，力求做到標(biāo)準(zhǔn)的合 理性與實(shí)用性；3）廣泛適用，操作可行的原則；4）有利于創(chuàng)新發(fā)展與國(guó)際接軌的原則。本標(biāo)準(zhǔn)完全按 GB/T 1.1-2009標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則 第 1 部分 標(biāo)準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)和編寫及目前已發(fā)布的國(guó)內(nèi)外主要相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)：（1）國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)航天系統(tǒng)技術(shù)成熟等級(jí)及評(píng)價(jià)準(zhǔn)則定義ISO16290 ）；（ 2）國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)科學(xué)技術(shù)研究項(xiàng)目評(píng)價(jià)通則（GB/T 22900-2009 ）；（3）國(guó)軍標(biāo)裝備技術(shù)成熟度等級(jí)劃分及定義（GJB 7688-2012 ）來制定。主要內(nèi)容的分析綜述主要內(nèi)容與適用范圍項(xiàng)目研究的預(yù)期目標(biāo)是建立靶材技術(shù)成熟

12、度分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)， 界定開展技術(shù)成熟度評(píng)價(jià)工作所 需的等級(jí)條件、評(píng)價(jià)要素、考核指標(biāo)等。主要研究范圍及內(nèi)容：（1）確定技術(shù)成熟度等級(jí)及定義； （2）調(diào)研收集國(guó)內(nèi)外技術(shù)成熟度相關(guān)資料，開展相關(guān)定義研究； （ 3）細(xì)化技術(shù)成 熟度評(píng)價(jià)要素、量化考核指標(biāo)；（ 4）行業(yè)內(nèi)研討，修改完善評(píng)價(jià)要素及指標(biāo)；（ 5）征求行 業(yè)單位和專家意見，選取典型單位開展現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證；（6）形成靶材技術(shù)成熟度等級(jí)劃分及定義。規(guī)范性引用文件本標(biāo)準(zhǔn)完全按 GB/T 1.1-2009標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則 第 1 部分 標(biāo)準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)和編寫及目前 已發(fā)布的國(guó)內(nèi)外主要相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)：（ 1）國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)航天系統(tǒng)技術(shù)成熟等級(jí)及評(píng)價(jià)準(zhǔn)則定義 （ ISO16290 ）；

13、（ 2）國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)科學(xué)技術(shù)研究項(xiàng)目評(píng)價(jià)通則（GB/T 22900-2009 ）；（3）國(guó)軍標(biāo)裝備技術(shù)成熟度等級(jí)劃分及定義（GJB 7688-2012 ）來制定。技術(shù)要求靶材技術(shù)成熟度標(biāo)準(zhǔn)是所有靶材開發(fā)的通用標(biāo)準(zhǔn)。 通過大量資料的查閱和靶材生產(chǎn)的調(diào) 研， 總結(jié)出的靶材生產(chǎn)各個(gè)階段應(yīng)滿足的條件，為客戶選擇靶材、 行業(yè)間交流合作提供了統(tǒng)一參考標(biāo)準(zhǔn)，劃分靶材技術(shù)等級(jí)。根據(jù)靶材開發(fā)的過程，將其劃分9 個(gè)等級(jí)，每個(gè)等級(jí)的研究?jī)?nèi)容依次為明確靶材化學(xué)成分、純度、微觀結(jié)構(gòu)、物理性能、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)原理與制備的基本 原理；評(píng)審靶材生產(chǎn)原理的可行性，提出靶材主要技術(shù)指標(biāo)要求；設(shè)計(jì)靶材生產(chǎn)工藝、過程 圖紙，獲得試用靶材；驗(yàn)證

14、試用靶材的結(jié)構(gòu)和性能，獲取反饋信息；改進(jìn)反饋內(nèi)容，試用靶 材結(jié)構(gòu)性能通過驗(yàn)證； 量產(chǎn)靶材結(jié)構(gòu)性能通過驗(yàn)證， 具備穩(wěn)定生產(chǎn)工藝； 量產(chǎn)靶材通過多次 成功執(zhí)行并驗(yàn)證，具有穩(wěn)定的市場(chǎng)；優(yōu)化靶材生產(chǎn)工藝和成本，開拓新市場(chǎng)；開發(fā)突破新產(chǎn) 品，制定產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)已有的靶材生產(chǎn)制備經(jīng)驗(yàn)方法， 對(duì)每一個(gè)技術(shù)環(huán)節(jié)做嚴(yán)格的等級(jí)劃分， 針對(duì)各個(gè)等 級(jí)明確設(shè)定判定條件以判斷是否達(dá)到要求、 處于何種階段， 并對(duì)判定條件在生產(chǎn)上進(jìn)行驗(yàn)證， 確保其判定的合理性。研究靶材生產(chǎn)制備流程： 靶材型號(hào)不同， 客戶要求不同， 靶材在生產(chǎn)流程和判定標(biāo)準(zhǔn) 也會(huì)不同。針對(duì)不同靶材和客戶，在流程細(xì)節(jié)上設(shè)置不同的評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。 收集分析行業(yè)內(nèi)同款

15、靶材的不同標(biāo)準(zhǔn)：對(duì)比不同技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的靶材對(duì)使用性能的影響， 在滿足使用要求的前提下制定統(tǒng)一的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)。術(shù)語和定義本標(biāo)準(zhǔn)使用了以下術(shù)語與定義：（ 1 ）技術(shù)成熟度 technology readiness 技術(shù)滿足預(yù)期的設(shè)備應(yīng)用目標(biāo)的程度。（ 2 ）技術(shù)成熟度等級(jí) technology readiness level 用于衡量技術(shù)成熟程度的尺度。（ 3 ）使用環(huán)境 operational environment 靶材實(shí)際使用時(shí)的環(huán)境，包括外部接口條件、環(huán)境條件和使用條件。（ 4 ）相關(guān)環(huán)境 relevant environment 模擬使用環(huán)境關(guān)鍵因素的試驗(yàn)環(huán)境，一般用于驗(yàn)證靶材的關(guān)鍵性能或其主要

16、組成部分 的關(guān)鍵性能。（ 5 ）實(shí)驗(yàn)室環(huán)境 laboratory environment 僅演示技術(shù)原理和功能的試驗(yàn)環(huán)境。（ 6 ）原理樣品 bread board僅演示技術(shù)原理和功能， 不考慮性能數(shù)據(jù)獲取的試驗(yàn)靶材。 其內(nèi)部組成通常包括替代件、 特殊件、新研件，不考慮靶材的最終形式。（ 7 ）模型樣品 brass board對(duì)技術(shù)關(guān)鍵性能和功能進(jìn)行測(cè)試的試驗(yàn)靶材。 其內(nèi)部組成是真正的配套件， 并初步考慮 了靶材的最終形式，具備部分工程特征。（ 8）產(chǎn)品 product 可演示靶材產(chǎn)品全部功能特性和物理特性的最終形式。標(biāo)準(zhǔn)水平分析4.1 標(biāo)準(zhǔn)水平簡(jiǎn)析技術(shù)成熟度作為一種先進(jìn)的技術(shù)管理工具， 通過

17、將技術(shù)成熟過程劃分等級(jí)， 可準(zhǔn)確地評(píng) 價(jià)技術(shù)發(fā)展?fàn)顟B(tài)，提高管理決策的科學(xué)性，降低新技術(shù)在工程中的應(yīng)用風(fēng)險(xiǎn)。目前，技術(shù)成 熟度評(píng)價(jià)方法在國(guó)內(nèi)外得到了越來越廣泛的應(yīng)用， 特別是歐洲、 美國(guó)等國(guó)家或地區(qū)在國(guó)防采 辦過程中尤其注重對(duì)技術(shù)的成熟度進(jìn)行評(píng)估。技術(shù)成熟度的概念起源于上世紀(jì) 70年代的美國(guó)， 1995年， NASA 發(fā)布了技術(shù)成熟度白 皮書，將起初的七級(jí)技術(shù)臺(tái)階調(diào)整為九級(jí)臺(tái)階，是技術(shù)成熟度概念成熟的標(biāo)志。技術(shù)成熟 度及其評(píng)價(jià)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的制定工作尚處于起步階段， 進(jìn)入到新世紀(jì)以來， 美國(guó)審計(jì)署、 國(guó)防部、 能源部，英國(guó)和澳大利亞的國(guó)防部，北大西洋公約組織，歐空局，國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織等相繼將 技術(shù)成熟度

18、評(píng)價(jià)推向應(yīng)用。 首個(gè)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)是 2012年立項(xiàng)， 2013年 11月出版的， 由歐洲宇航局 /歐洲空間研究與技術(shù)中心（ ESA/ESTEC ）編制，航天系統(tǒng)：技術(shù)成熟度等級(jí)及評(píng)價(jià)準(zhǔn)則 定義，編號(hào)是 ISO16290 ，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)國(guó)際航天領(lǐng)域的技術(shù)成熟度活動(dòng)進(jìn)行了規(guī)范，是世 界范圍內(nèi)的第一份國(guó)際性的技術(shù)成熟度標(biāo)準(zhǔn)， 是技術(shù)成熟度方法在世界各國(guó)科研管理中推廣 應(yīng)用的重大事件， 標(biāo)志著技術(shù)成熟度思想與方法已在世界范圍內(nèi)得到廣泛認(rèn)可。 在我國(guó)， 技 術(shù)成熟度的應(yīng)用也是從國(guó)防領(lǐng)域開始的， 本世紀(jì)初開始， 我國(guó)航天的飛行器與武器型號(hào)、 航 空的飛機(jī)與發(fā)動(dòng)機(jī)型號(hào)等領(lǐng)域的重大工程開始試行技術(shù)成熟度評(píng)價(jià)工作。

19、我國(guó)還在節(jié)能減排 領(lǐng)域、 信息技術(shù)領(lǐng)域等一些新興的技術(shù)領(lǐng)域開展了技術(shù)成熟度評(píng)價(jià)方法的研究， 也得到了一 些實(shí)踐應(yīng)用。但是目前無論是評(píng)價(jià)方法還是工程應(yīng)用都還處于初級(jí)階段。當(dāng)今掌握高純金屬濺射靶材制造技術(shù)的國(guó)家也只有少數(shù)幾個(gè)國(guó)家， 靶材制造技術(shù)的成熟 度標(biāo)準(zhǔn)也都是由各個(gè)靶材生產(chǎn)廠家自己規(guī)定， 目前還沒有統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)。 該靶材技術(shù)成熟度標(biāo) 準(zhǔn)的制定， 有利于統(tǒng)一靶材制造企業(yè)的研發(fā)和生產(chǎn)管理的決策， 有利于統(tǒng)一靶材制造企業(yè)的 靶材產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)，在產(chǎn)品用戶和靶材制造企業(yè)間明確了產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)，提高了管理決策的科學(xué)性， 降低了新技術(shù)新產(chǎn)品在工程中的應(yīng)用風(fēng)險(xiǎn)。技術(shù)成熟度評(píng)價(jià)作為一個(gè)行之有效的管理工具， 被國(guó)內(nèi)外廣泛認(rèn)可

20、， 它的概念已經(jīng)成熟， 但相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的制定工作尚處于起步階段。 目前已發(fā)布或正處于研究階段的國(guó)內(nèi)外主要的相關(guān) 標(biāo)準(zhǔn)有：（ 1）國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)航天系統(tǒng)技術(shù)成熟等級(jí)及評(píng)價(jià)準(zhǔn)則定義（ISO16290 ，由歐空局編制）；（ 2）國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)科學(xué)技術(shù)研究項(xiàng)目評(píng)價(jià)通則（GB/T 22900-2009）；（ 3）國(guó)軍標(biāo)裝備技術(shù)成熟度等級(jí)劃分及定義（GJB 7688-2012 ）（ 4）國(guó)家軍用標(biāo)準(zhǔn)航天飛行器技術(shù)成熟度評(píng)價(jià)等級(jí)劃分及定義（標(biāo)準(zhǔn)制定中）；（5）國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)新材料技術(shù)成熟度等級(jí)劃分及定義 （標(biāo)準(zhǔn)制定中）。目前美國(guó)材料協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)、日本電子協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)、歐盟標(biāo)準(zhǔn)中 均沒有靶材技術(shù)成熟度的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。 該標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目目前也沒有相關(guān)

21、的國(guó)家或行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。 不涉及 知識(shí)產(chǎn)權(quán)問題。標(biāo)準(zhǔn)創(chuàng)新點(diǎn)（1）通過從技術(shù)與工藝、條件保障、原材料、生產(chǎn)管理、安全與環(huán)保、產(chǎn)品驗(yàn)證、市 場(chǎng)這七個(gè)方面劃分靶材制造的成熟度等級(jí)， 制定統(tǒng)一的靶材技術(shù)成熟度標(biāo)準(zhǔn)， 為客戶選擇靶 材、行業(yè)間交流合作提供了統(tǒng)一參考標(biāo)準(zhǔn)。（ 2）通過本標(biāo)準(zhǔn)的制定，為全面制定微電子領(lǐng)域用電子材料系列標(biāo)準(zhǔn)奠定了基礎(chǔ)，為 磁控濺射用靶材制造商對(duì)客戶要求和產(chǎn)品理解提供了依據(jù)， 對(duì)靶材制造具有廣泛的借鑒意義 和推廣價(jià)值。（ 3）本標(biāo)準(zhǔn)在編制過程中，有研億金、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院多次對(duì)國(guó)內(nèi)多個(gè)具有 代表性的客戶、 靶材制造商、 原材料供應(yīng)商整個(gè)供應(yīng)鏈進(jìn)行摸底和調(diào)研， 收集了大量的磁控 濺

22、射靶材的參考數(shù)據(jù)，使得標(biāo)準(zhǔn)在起草過程中始終具有代表性，是對(duì)標(biāo)準(zhǔn)編制方法的創(chuàng)新。標(biāo)準(zhǔn)的覆蓋面本標(biāo)準(zhǔn)從制定之初就對(duì)磁控濺射用靶材上下端客戶和原料鏈進(jìn)行了大量的調(diào)研， 覆蓋了 國(guó)內(nèi)外大多數(shù)的磁控濺射用靶材制造商和使用客戶， 對(duì)磁控濺射用靶材的技術(shù)成熟度等方面 進(jìn)行了全面說明。因此，本標(biāo)準(zhǔn)在磁控濺射用靶材制造領(lǐng)域具有較強(qiáng)的覆蓋性。5、與現(xiàn)行相關(guān)法律、法規(guī)、規(guī)章及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，特別是強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)的 協(xié)調(diào)性本標(biāo)準(zhǔn)屬于磁控濺射用靶材專業(yè)基礎(chǔ)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)， 沒有現(xiàn)行的法律、 法規(guī)、 規(guī)章制度等對(duì) 其要求，本領(lǐng)域沒有強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)。6、專利及涉及知識(shí)產(chǎn)權(quán)本文件起草過程中沒有檢索到專利和知識(shí)產(chǎn)權(quán)問題， 如果涉及到專利和知識(shí)產(chǎn)權(quán)時(shí)請(qǐng)使 用單位與專利和知識(shí)產(chǎn)權(quán)方協(xié)商，本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專利的責(zé)任。7、分歧意見的處理經(jīng)過本標(biāo)準(zhǔn)屬于磁控濺射用靶材領(lǐng)域?qū)I(yè)基礎(chǔ)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)， 編制組根據(jù)起草前確定的編制原則 進(jìn)行了標(biāo)準(zhǔn)起草，標(biāo)準(zhǔn)起草過程中未發(fā)生重大分析意見。8、標(biāo)準(zhǔn)作為強(qiáng)制性或推薦性國(guó)家（或行業(yè)）標(biāo)準(zhǔn)的建議鑒于目前國(guó)內(nèi)沒有統(tǒng)一的 靶材技術(shù)成熟度等級(jí)劃分及定義 標(biāo)準(zhǔn)， 而靶材制造業(yè)廠家 所處狀態(tài)不同，調(diào)整任務(wù)艱巨，建議該標(biāo)準(zhǔn)作為推薦性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布實(shí)施9、貫徹標(biāo)準(zhǔn)的要求和措施建