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1、天行健咨詢天行健咨詢天行健咨詢天行健咨詢基于 FMEA 在晶圓研磨工藝中的應(yīng)用質(zhì)最為常用,接下來(lái),天行健中六西格瑪黑帶大師李老師使用新版FMEA七步法的分析方法,并借助SGSE-FMEA對(duì)晶圓研磨工藝進(jìn)行PFMEA分析:第一步:策劃與準(zhǔn)備創(chuàng)建PFMEA項(xiàng)目,定義產(chǎn)品、跨功能團(tuán)隊(duì)等信息,如下圖所示:第二步:結(jié)構(gòu)分析根據(jù)晶圓研磨的工藝流程,定義結(jié)構(gòu),并分析過(guò)程工作要素(5M1E),如下圖所示:系統(tǒng)自動(dòng)生成的工藝流程圖,如下:第三步:功能分析要素的功能和要求,如下圖:要求的關(guān)聯(lián)關(guān)系:第四步:失效分析下圖:維護(hù)過(guò)程項(xiàng)、過(guò)程步驟、工作要素三級(jí)失效的關(guān)聯(lián)關(guān)系:天行健咨詢天行健咨詢天行健咨詢天行健咨詢(DC

2、).(DC).查看失效網(wǎng):第五步:風(fēng)險(xiǎn)分析對(duì)FMEA進(jìn)行S/O/D的評(píng)分并制定預(yù)防措施(PC)和探測(cè)措施天行健咨詢天行健咨詢天行健咨詢天行健咨詢第六步:優(yōu)化對(duì)AP(行動(dòng)優(yōu)先級(jí))為H的必須進(jìn)行改進(jìn),對(duì)AP(行動(dòng)優(yōu)先級(jí)) 為M改進(jìn),然后進(jìn)行重新評(píng)估.任務(wù)分配:天行健咨詢天行健咨詢天行健咨詢天行健咨詢第七步:文件化(部分展示,供參考)FMEA分析完成后,生成新版FMEA標(biāo)準(zhǔn)表格:天行健咨詢天行健咨詢?cè)贓-FMEA軟件中可保證PFMEA到控制計(jì)劃(CP)的數(shù)據(jù)一致性, 即在FMEA中對(duì)產(chǎn)品特性或過(guò)程特性進(jìn)行修改后,控制計(jì)劃中會(huì)同步修改.以上是利用新版FMEA的分析方法和E-FMEA軟件對(duì)晶圓研磨的研磨工藝進(jìn)行

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