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準分子激光器的泵浦方式課程：激光安全與防護主講教師：祁春野教學目標

了解準分子激光器的泵浦方式。由于激光上能級壽命很短，為了實現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)，要求泵浦脈沖上升時間短。因此，對于工作于短波段紫外激光器的準分子系統(tǒng)要實現(xiàn)有效的泵浦，不僅要求有大的泵浦功率，而且要求有快的上升時間。為了滿足對泵浦源的要求，人們采取了很多泵浦方式，常用的方式有下面兩種：準分子激光器的泵浦方式

一、電子束泵浦用電子槍產(chǎn)生高能量、快上升時間的電子束脈沖，將電子束射向準分子區(qū)，對激活介質(zhì)進行激發(fā)。用電子束泵浦又可分為三種形式：①橫向泵浦，其電子束進行方向與激光光軸方向垂直。這種方式結(jié)構(gòu)簡單、體積小，其缺點是電子束能量利用率低。準分子激光器的泵浦方式②縱向泵浦，其電子束方向與激光光軸平行?？v向泵浦能量利用率得到改善，但需要增加用來對電子束導向的龐大的聚束磁場。③同軸電子束泵浦，組成電子槍的陰極和陽極做成兩個不同直徑的圓筒，陰極外筒均勻地向內(nèi)筒陽極發(fā)射電子并穿過陽極簿箔(用鋁箔或鋇箔做成)向中心軸會聚。陽極筒內(nèi)充滿激活介質(zhì)，光軸與陽極筒、陰極筒同軸。這種方式能有效地利用電子束能量。準分子激光器的泵浦方式電子束泵浦的優(yōu)點是產(chǎn)生的泵浦脈沖上升時間快，單脈沖能量大，可大面積泵浦。缺點是要求龐大的電子束源，結(jié)構(gòu)復雜，造價高，制造難度大。特別是作為陽極的箔片，它吸收電子束能量而發(fā)熱常被擊穿，造成真空室漏氣，因此不利高重復率工作。準分子激光器的泵浦方式

二、快速放電泵浦快速放電泵浦方式多采用所謂布魯姆萊(Blumlein)電路。它具有體積小、結(jié)構(gòu)簡單、可高重頻工作等優(yōu)點，得到廣泛應用。為了提高放電的穩(wěn)定性，可采用電子束控制放電泵浦系統(tǒng)。激發(fā)激活粒子主要靠快速放電，電子束只控制放電，使放電均勻、可靠。這種電路對電子束的功率要求低，可減小體積。但與其他快速放電方法相比，這類泵浦方法的缺點是結(jié)構(gòu)復雜，成本高。為了獲得更大體積的均勻放電，還可采用預電離技術(shù)。準分子激光器的泵浦方式

根據(jù)準分子激光具有的以上特性，很快引起了人們利用高能量、高功率、高重復率等特點應用于激光加工、激光醫(yī)療中，并取得一系列不俗的進展。

準分子激光器的泵浦方式課程小結(jié)本小節(jié)主要講述了準分子激光器的泵浦方式。作

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