ICS3108099

L55..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T32817—2016

半導(dǎo)體器件微機(jī)電器件MEMS總規(guī)范

Semiconductordevices—Micro-electromechanicaldevices—

GenericspecificationforMEMS

(IEC62047-4:2008,Semiconductordevices—Micro-electromechanicaldevices—

Part4:GenericspecificationforMEMS,MOD)

2016-08-29發(fā)布2017-03-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T32817—2016

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

3………………1

標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境

4…………………1

標(biāo)識(shí)

5………………………2

器件識(shí)別

5.1……………2

器件可追溯性

5.2………………………2

包裝

5.3…………………2

質(zhì)量評(píng)定程序

6……………2

總則

6.1…………………2

質(zhì)量和或性能合格認(rèn)定

6.2()…………2

鑒定批準(zhǔn)程序

6.3………………………3

試驗(yàn)和測(cè)試程序

7…………………………6

標(biāo)準(zhǔn)條件和通用預(yù)防措施

7.1…………6

物理檢查

7.2……………7

氣候和機(jī)械試驗(yàn)

7.3……………………7

替代試驗(yàn)方法

7.4………………………7

附錄規(guī)范性附錄抽樣程序

A()…………8

附錄資料性附錄工藝與器件的分類

B()MEMS………9

附錄資料性附錄規(guī)范性引用文件中標(biāo)準(zhǔn)一致性關(guān)系

C()……………13

參考文獻(xiàn)

……………………16

Ⅰ

GB/T32817—2016

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)使用重新起草法修改采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體器件微機(jī)電器件第部

IEC62047-4:2008《4

分總規(guī)范

:MEMS》。

本標(biāo)準(zhǔn)與相比主要技術(shù)變化如下

IEC62047-4:2008,:

刪除半導(dǎo)體器件微機(jī)電器件第部分總規(guī)范第章中表

———IEC62047-4:2008《4:MEMS》1“

分類和術(shù)語(yǔ)該分類與我國(guó)現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)

1MEMS”,GB/T26111《(MEMS)

術(shù)語(yǔ)不完全統(tǒng)一

》;

將名稱及對(duì)應(yīng)的章節(jié)修改為

———IECQC001002-3:2005IECQ03-3:2013。IECQC001002-3:

已經(jīng)廢止由替代

2005,IECQ03-3:2013;

將中按要求提交給修改為按要求提交給有關(guān)部門因?yàn)闉槊绹?guó)機(jī)構(gòu)

———6.3.1“NSI”“”,NSI;

刪除中的此縮略語(yǔ)容易引起歧義

———B.3.1AS,;

將規(guī)范性引用文件中半導(dǎo)體器件微機(jī)電器件第部分術(shù)語(yǔ)和定義修改為

———IEC62047-1《1:》

微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)術(shù)語(yǔ)確保此標(biāo)準(zhǔn)與現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)相協(xié)調(diào)

GB/T26111《(MEMS)》,;

關(guān)于規(guī)范性引用文件本標(biāo)準(zhǔn)做了具有技術(shù)性差異的調(diào)整以適應(yīng)我國(guó)的技術(shù)條件調(diào)整的情況集

,,,

中反映在第章規(guī)范性引用文件中具體調(diào)整如下

2“”,:

用代替所有部分標(biāo)準(zhǔn)各部分之間的一致性程度見(jiàn)附錄

●GB/T2423IEC60068-2(),C;

用代替所有部分標(biāo)準(zhǔn)各部分之間的一致性程度見(jiàn)附錄

●GB/T2424IEC60068-2(),C;

所有部分代替所有部分標(biāo)準(zhǔn)各部分之間的一致性程度見(jiàn)附錄

●GB/T4937()IEC60749(),C。

為便于使用本標(biāo)準(zhǔn)做了下列編輯性修改

,:

增加了第章其他條款順延

———6.1,6;

把國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)中的改為懸置段提取標(biāo)題作為其他章條號(hào)順延

———A.1.1A.2,A.2.1,;

將與互換位置

———B.3.1B.3.2;

將標(biāo)準(zhǔn)名稱修改為半導(dǎo)體器件微機(jī)電器件總規(guī)范

———“MEMS”。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC336)。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所中北大學(xué)南京

:、、、

理工大學(xué)大連理工大學(xué)

、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人李海斌崔波劉偉石云波裘安萍施芹楊擁軍劉沖

:、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T32817—2016

半導(dǎo)體器件微機(jī)電器件MEMS總規(guī)范

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)描述了用半導(dǎo)體制造的微機(jī)電系統(tǒng)的總規(guī)范規(guī)定了用于體系質(zhì)量

(MEMS),IECQ-CECC

評(píng)定的一般規(guī)程給出了電光機(jī)械和環(huán)境特性的描述和測(cè)試的總則

,、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于各類器件如傳感器射頻但不包括光生物微全分

MEMS[、MEMS,MEMS、MEMS、

析系統(tǒng)和微能源

(Micro-TAS)MEMS]。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗(yàn)第部分所有部分

GB/T24232[IEC60068-2()]

環(huán)境試驗(yàn)所有部分

GB/T2424[IEC60068-2()]

計(jì)數(shù)抽樣檢驗(yàn)程序第部分按接收質(zhì)量限檢索的逐批檢驗(yàn)抽樣計(jì)劃

GB/T2828.11:(AQL)

(GB/T2828.1—2012,ISO2859-1,IDT)

國(guó)際單位制及其應(yīng)用

GB3100(GB3100-1993,eqvISO1000)

所有部分電氣簡(jiǎn)圖用圖形符號(hào)

GB/T4728()(IEC60617,IDT)

所有部分半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗(yàn)方法所有部分

GB/T4937()[IEC60749()]

微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)術(shù)語(yǔ)

GB/T26111(MEMS)

所有部分電子技術(shù)用字符

IEC60027()(Lettersymbolstobeusedinelectricaltechnology)

半導(dǎo)體器件第部分總則

IEC60747-1:20061:(Semiconductordevices—Part1:General)

質(zhì)量評(píng)定體系第部分電子元件和包裝檢驗(yàn)的抽樣方案選用

IEC61193-22:(Quality

assessmentsystems—Part2:Selectionanduseofsamplingplansforinspectionofelectronic

componen