擴散生產(chǎn)培訓第一頁，共二十五頁，2022年，8月28日目的及意義培訓的目的了解擴散原理介紹擴散車間操作流程熟悉人員、生產(chǎn)、設備安全的要求和危險預防措施培訓的意義簡單介紹擴散車間的生產(chǎn)流程，強調(diào)生產(chǎn)安全問題第二頁，共二十五頁，2022年，8月28日內(nèi)容提綱擴散原理擴散車間的基本生產(chǎn)流程人員、生產(chǎn)、設備的安全培訓第三頁，共二十五頁，2022年，8月28日單晶硅太陽能電池第四頁，共二十五頁，2022年，8月28日多晶硅太陽能電池第五頁，共二十五頁，2022年，8月28日擴散方式擴散原理擴散方法1.三氯氧磷（POCl3）液態(tài)源擴散2.涂布源擴散3.固態(tài)氮化硼源擴散目前業(yè)內(nèi)批量生產(chǎn)采用第一種方式第六頁，共二十五頁，2022年，8月28日N2擴散裝置示意圖第七頁，共二十五頁，2022年，8月28日可分為三步：POCL3→PCL5+P2O5（800度左右）PCL5+O2→P2O5+CL2P2O5+Si→SiO2+P磷擴散原理擴散原理第八頁，共二十五頁，2022年，8月28日擴散車間操作流程擴散原理不合格合格開機準備器件清潔物料準備開機上料自動生產(chǎn)下料關機清洗擴散后清洗返工流程檢驗第九頁，共二十五頁，2022年，8月28日插片：戴好手套，手套的戴法為：內(nèi)層汗布手套外層PVC手套。調(diào)節(jié)插片臺風量，然后用石英吸筆吸取硅片后輕輕插入石英舟的槽中，每槽一片插入石英舟（做單面擴散時每槽插兩片）。主要操作要求第十頁，共二十五頁，2022年，8月28日主要操作要求檢測：等待硅片冷卻后，每爐取出5片檢驗，他們的位置應該為石英舟的五個均勻分布點，將測試片按照從爐口到爐尾的順序取下來，按照硅片盒的小面到大面方向放入盒內(nèi)，用作測試方塊電阻。（詳見《方塊電阻測試作業(yè)指導書》）下片：用吸筆或鑷子依次將硅片從石英舟中取出放置在潔凈的傳遞盒中（注意輕拿輕放，避免摩擦碰撞，防止P-N結(jié)損壞），放入傳遞窗，卸片時注意片子正反面，一律規(guī)定正面朝上并且不得發(fā)生磨擦（規(guī)定擴散面為正面）。第十一頁，共二十五頁，2022年，8月28日返工片處理方法擴散車間不合格片返工流程1.二次擴散，生產(chǎn)中方塊電阻偏高的，可以做二次擴散工藝。2.反面擴散，后清洗傳過來的硅片，在反面做生產(chǎn)工藝。3.重新制絨，對于外觀不合格和電阻偏低的硅片，需要返回制絨車間重新制絨。

第十二頁，共二十五頁，2022年，8月28日擴散制結(jié)的衛(wèi)生注意事項由于我們車間是分子級的擴散，所以對車間潔凈等級和工具的衛(wèi)生情況要求很高，總結(jié)如下：1.所有操作工具必須永遠保持干凈的狀態(tài)，包括吸筆、鑷子、石英舟、碳化硅懸臂槳。2.吸筆鑷子應放在干凈的玻璃燒杯內(nèi)，不得直接與人體或其它未經(jīng)清洗的表面接觸。3.石英舟應放置在石英凳或氮氣柜內(nèi)。4.碳化硅懸臂槳暴露在空氣中的時間應做到越短越好。第十三頁，共二十五頁，2022年，8月28日擴散車間產(chǎn)品安全生產(chǎn)安全的要求和危險預防的措施按照車間要求正確穿戴工作服和勞保用品。操作人員根據(jù)崗位操作要求正確操作。堅守自己的崗位，不能隨意串崗。從事危險工作時，應按照規(guī)定，正確作業(yè)，包括不單獨作業(yè)、正確穿戴防護服等等。正確操作設備。按照設備維護要求定期檢查和維護設備。所有的工作，除了日常維護外，都要有負責人員執(zhí)行監(jiān)管。保證車間的干凈整潔。保證產(chǎn)出產(chǎn)品的合格檢驗。第十四頁，共二十五頁，2022年，8月28日產(chǎn)品監(jiān)控1、擴散后方塊電阻檢測儀器：方塊電阻測試儀方塊電阻值一般在40-60Ω/sq范圍內(nèi),每片測量五個點。批次間擴散方塊電阻不均勻度≤3Ω/sq，片內(nèi)擴散方塊電阻不均勻度≤3.5Ω/sq，不同設備所生產(chǎn)的硅片均勻性有所差異。2、擴散后外觀檢測(目測部分)

1）表面手印和沾污（不能下傳）2）藍斑片（一般可下傳但效率低點）3）黑斑片（一般可下傳但效率低點）生產(chǎn)安全的要求和危險預防的措施第十五頁，共二十五頁，2022年，8月28日擴散車間設備安全設備安全的要求和危險預防的措施總體結(jié)構(gòu)分為四大部分控制部分(動力柜)推舟凈化部分電阻加熱爐部分氣源部分第十六頁，共二十五頁，2022年，8月28日MainPowerCabinet

第十七頁，共二十五頁，2022年，8月28日設備安全的要求和危險預防的措施Tempress擴散爐操作界面主菜單界面按4，進入tubecontrol第十八頁，共二十五頁，2022年，8月28日Tempress擴散爐操作界面設備安全的要求和危險預防的措施返回tubecontrol界面，按2開始運行程序按6，選擇工藝菜單第十九頁，共二十五頁，2022年，8月28日Tempress擴散爐操作界面?zhèn)渥ⅲ撼松鲜龇椒?，還可以在自動裝載系統(tǒng)操作界面上對擴散爐進行操作，當打開自動模式時，操作人員只需要在裝載臺上取放石英舟，其他事情全部由電腦自動控制。在tubecontrol界面，按3可以終止運行的程序第二十頁，共二十五頁，2022年，8月28日48所擴散爐操作界面主界面第二十一頁，共二十五頁，2022年，8月28日48所擴散爐操作界面點擊主菜單左上角的“工藝運行”按鈕，出現(xiàn)下圖界面，選中正確的工藝文件，點擊“運行”按鈕，工藝就會自動運行。第二十二頁，共二十五頁，2022年，8月28日48所擴散爐操作界面工藝運行后，界面自動跳進監(jiān)控狀態(tài)，在此界面可以終止程序或者跳步。第二十三頁，共二十五頁，2022年，8月28日安全標志熱：熱表面。觸摸此表面會燒傷皮膚。電擊：指出這里有這樣的危險，在此物處于帶電情況下你有可能遭受電擊。