精密測(cè)量技術(shù)第二章長(zhǎng)度尺寸測(cè)量演示文稿現(xiàn)在是1頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四（優(yōu)選）精密測(cè)量技術(shù)第二章長(zhǎng)度尺寸測(cè)量現(xiàn)在是2頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－1長(zhǎng)度基準(zhǔn)和米定義現(xiàn)在是3頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四把國(guó)家基準(zhǔn)所復(fù)現(xiàn)的長(zhǎng)度單位量值通過(guò)不同精度等級(jí)的量塊傳遞到工作用長(zhǎng)度計(jì)量器具的全部過(guò)程稱(chēng)為量塊的量值傳遞?！?－1長(zhǎng)度基準(zhǔn)和米定義二、長(zhǎng)度量值傳遞

目前，在實(shí)際工作中常使用下述兩種實(shí)物基準(zhǔn)：量塊和線紋尺。首先由穩(wěn)定激光的基準(zhǔn)波長(zhǎng)傳遞到基準(zhǔn)線紋尺和一等量塊，然后再由它們逐次傳遞到工件，以確保量值準(zhǔn)確一致。現(xiàn)在是4頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－1長(zhǎng)度基準(zhǔn)和米定義現(xiàn)在是5頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四一、量塊的基本概念§2－2量塊的檢定1、概述量塊是一種用兩端平行平面之間的距離來(lái)表示長(zhǎng)度量值的長(zhǎng)方形六面體單值量具。（端度器、塊規(guī)）現(xiàn)在是6頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－2量塊的檢定現(xiàn)在是7頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－2量塊的檢定量塊按檢定精度分為1、2、3、4、5、6等，其中1等精度最高。量塊的精度分“級(jí)”又分“等”量塊按制造精度分為0、1、2、3、4級(jí)，其中0級(jí)精度最高，量塊“等”和“級(jí)”之間的關(guān)系是：對(duì)研合性及平面平行性偏差規(guī)定為：1、2等于0級(jí)，3、4等于1、2級(jí)，5、6等于3、4級(jí)分別相同。現(xiàn)在是8頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－2量塊的檢定2、量塊的基本性質(zhì)（1）研合性（2）穩(wěn)定性（3）耐磨性（4）線膨脹系數(shù)研合厚度的散發(fā)值約為

三塊：四塊：在溫度范圍內(nèi)，鋼質(zhì)量塊的線膨脹系數(shù)為現(xiàn)在是9頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－2量塊的檢定2、量塊的名詞術(shù)語(yǔ)（1）量塊的中心長(zhǎng)度與任意長(zhǎng)度規(guī)定以中心長(zhǎng)度為量塊尺寸。量塊的中心長(zhǎng)度是量塊一個(gè)測(cè)量面的中點(diǎn)至與另一個(gè)測(cè)量面相研和的平晶表面的垂直距離。任意長(zhǎng)度為量塊一個(gè)測(cè)量面上任意一點(diǎn)至與另一個(gè)測(cè)量面研和的平晶表面的垂直距離?，F(xiàn)在是10頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－2量塊的檢定（2）量塊的平面平行性偏差量塊一測(cè)量面上任意一點(diǎn)到另一測(cè)量面的距離與中心長(zhǎng)度之差的最大絕對(duì)值稱(chēng)為量塊的平面平行性偏差。一般以測(cè)量四個(gè)角位置（距短邊1mm和對(duì)長(zhǎng)邊2mm的區(qū)域除外）的長(zhǎng)度與中心長(zhǎng)度之差的最大值的絕對(duì)值來(lái)確定平面平行性偏差值。（3）量塊測(cè)量面的平面度包容量塊測(cè)量面且距離為最小的兩個(gè)平行平面之間的距離，即為量塊測(cè)量面的平面度偏差?，F(xiàn)在是11頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－2量塊的檢定（4）量塊測(cè)量面的研合性（5）量塊的名義尺寸（6）量塊的實(shí)測(cè)尺寸量塊一個(gè)測(cè)量面與另一量塊或平晶的測(cè)量面之間相互緊密貼合的能力，稱(chēng)為量塊測(cè)量面的研和性。量塊的名義尺寸即設(shè)計(jì)時(shí)要求量塊具有的尺寸，它可在量塊上，所以也稱(chēng)為標(biāo)稱(chēng)尺寸或示值。用一定的方法對(duì)量塊進(jìn)行測(cè)量而得的尺寸，稱(chēng)為量塊的實(shí)測(cè)尺寸?，F(xiàn)在是12頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－2量塊的檢定（7）量塊的測(cè)量誤差和測(cè)量的極限誤差（8）量塊的尺寸偏差和允許偏差量塊的測(cè)量誤差是指量塊的實(shí)測(cè)尺寸L與量塊的真實(shí)尺寸x之差。量塊的尺寸偏差是指量塊的實(shí)測(cè)尺寸L與量塊的名義尺寸l之差

。對(duì)尺寸偏差規(guī)定的極限值稱(chēng)為量塊中心長(zhǎng)度允許偏差。現(xiàn)在是13頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－2量塊的檢定二、量塊的檢定1、量塊的測(cè)量面平面度的檢定現(xiàn)在是14頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－2量塊的檢定用平晶以技術(shù)光波干涉法檢定干涉條紋的彎曲度所用光源的波長(zhǎng)相鄰兩條紋的間隔平面度允許偏差小于0.15微米的，應(yīng)采用一級(jí)平晶；平面度允許偏差大于等于0.15微米的，可采用二級(jí)平晶。因此，對(duì)尺寸≤150mm的2等或0級(jí)量塊，規(guī)定用1級(jí)平晶檢定，其它量塊可用2級(jí)平晶進(jìn)行檢定。現(xiàn)在是15頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－2量塊的檢定平面度較大時(shí)平面度測(cè)量成圈條紋的間距數(shù)現(xiàn)在是16頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－2量塊的檢定2、量塊中心長(zhǎng)度和平面平行性的檢定（1）絕對(duì)測(cè)量法用光的波長(zhǎng)作標(biāo)準(zhǔn)直接與量塊比較，求出量塊中心長(zhǎng)度的方法。實(shí)現(xiàn)絕對(duì)測(cè)量法的儀器有柯氏干涉儀和激光干涉儀。（2）相對(duì)測(cè)量法將被測(cè)量塊與精度等級(jí)比它高一等的標(biāo)準(zhǔn)量塊，在規(guī)定測(cè)量精度的儀器上進(jìn)行比較，求出被測(cè)量塊的方法。多用立式干涉儀現(xiàn)在是17頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－2量塊的檢定（1）絕對(duì)測(cè)量法現(xiàn)在是18頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－2量塊的檢定現(xiàn)在是19頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－2量塊的檢定柯氏干涉儀可測(cè)的量塊最大尺寸為125mm，最大測(cè)量誤差為，其中L為量塊的長(zhǎng)度，單位為mm。用柯氏干涉儀測(cè)量量塊的長(zhǎng)度需要同時(shí)測(cè)取溫度、濕度、氣壓等環(huán)境條件，并確定它們對(duì)被測(cè)量塊長(zhǎng)度的修正量，整個(gè)測(cè)量過(guò)程非常復(fù)雜，測(cè)量效率也很低。現(xiàn)在是20頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－2量塊的檢定（2）相對(duì)測(cè)量法將被測(cè)量塊與精度等級(jí)比它高一等的標(biāo)準(zhǔn)量塊，在規(guī)定測(cè)量精度的儀器上進(jìn)行比較，求出被測(cè)量塊的方法。相對(duì)測(cè)量最高能檢定2等量塊。多用立式干涉儀多用立式干涉儀可以檢定長(zhǎng)度在150mm以下，精度等級(jí)在4等或2級(jí)以上的量塊?，F(xiàn)在是21頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－2量塊的檢定接觸干涉儀的測(cè)量原理現(xiàn)在是22頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－2量塊的檢定測(cè)量時(shí)以白光下得到的零次干涉條紋作為指針，被測(cè)量塊尺寸的變化，使測(cè)桿移動(dòng)，從而引起“指針”的移動(dòng)。就是用這零次干涉條紋作為指針相對(duì)分劃板刻度尺的移動(dòng)量來(lái)顯示測(cè)桿的位移量的?？潭瘸呱厦恳婚g隔所代表的測(cè)桿位移量，是在使用前根據(jù)測(cè)量的需要確定的，這就是所謂的儀器定度?，F(xiàn)在是23頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－2量塊的檢定測(cè)桿沿軸線每移動(dòng)，干涉條紋相對(duì)刻度尺刻線移動(dòng)一個(gè)條紋寬度，改變干涉條紋寬度，就可以改變每一刻線間隔所代表的測(cè)桿線位移量。調(diào)整條紋寬度，使k個(gè)干涉條紋間隔剛好與刻度尺上n個(gè)刻度間隔重合，便可得出下列公式：現(xiàn)在是24頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－2量塊的檢定現(xiàn)在是25頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－2量塊的檢定用3等量塊作為標(biāo)準(zhǔn)，檢定4等量塊?，F(xiàn)在是26頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－2量塊的檢定將標(biāo)準(zhǔn)量塊和被檢量塊放置于專(zhuān)用框架中，并放在工作臺(tái)上。先將標(biāo)準(zhǔn)量塊置于儀器測(cè)頭下，當(dāng)測(cè)量中心長(zhǎng)度時(shí)，先對(duì)標(biāo)準(zhǔn)量塊的中心點(diǎn)o1，使“指針”與0刻線重合，然后將被檢量塊中心點(diǎn)o2移到測(cè)頭下，再對(duì)o2點(diǎn)進(jìn)行比較即可得到被測(cè)量塊的偏差值。當(dāng)測(cè)量平面平行性時(shí)，則在被測(cè)量塊的角點(diǎn)上的a、b、c、d點(diǎn)進(jìn)行讀數(shù)，四個(gè)角點(diǎn)讀數(shù)分別于o2之差得最大絕對(duì)值即為平面平行性偏差。現(xiàn)在是27頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－3線紋尺的檢定一、線紋尺概述線紋尺是一種具有等分刻度的多值量具，是以任意兩條刻線間的垂直距離作為長(zhǎng)度的高精度基準(zhǔn)器和標(biāo)準(zhǔn)器。線紋尺的主要用途（1）作為長(zhǎng)度量值傳遞系統(tǒng)中與量塊并行的另一實(shí)物基準(zhǔn)和標(biāo)準(zhǔn)（2）將各種不同精度等級(jí)的線紋尺裝在測(cè)量?jī)x器和精密機(jī)床上，作為精密測(cè)長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn)之用現(xiàn)在是28頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－3線紋尺的檢定1、線紋尺的基本技術(shù)要求外形設(shè)計(jì)上需要考慮剛性好，自重小，安裝調(diào)整方便。對(duì)線紋尺的材料要求穩(wěn)定性好，目前用的金屬線紋尺是用鐵鎳合金（58％鎳，42％鐵）制造?，F(xiàn)在是29頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－3線紋尺的檢定2、線紋尺的種類(lèi)按計(jì)量學(xué)功能及材料分類(lèi)①基準(zhǔn)線紋尺②標(biāo)準(zhǔn)線紋尺（1）基準(zhǔn)線紋尺：也稱(chēng)工作基準(zhǔn)尺，由國(guó)家的長(zhǎng)度基準(zhǔn)直接來(lái)檢定。（2）標(biāo)準(zhǔn)金屬線紋尺（3）標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺：外形多為矩形現(xiàn)在是30頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－3線紋尺的檢定2、線紋尺的檢定線紋尺的檢定方法（1）絕對(duì)檢定法（2）相對(duì)檢定法（3）組合檢定法使被測(cè)線紋尺長(zhǎng)度直接與光波波長(zhǎng)進(jìn)行比較，用光波波長(zhǎng)來(lái)確定兩刻線間距離的檢定方法。選擇一支精度等級(jí)比被檢線紋尺高一等的標(biāo)準(zhǔn)線紋尺，在線紋比長(zhǎng)儀上將兩支線紋尺的刻線間距相比較，借助光學(xué)顯微鏡或靜態(tài)光電顯微鏡，讀出兩者刻線間距差值的方法?，F(xiàn)在是31頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－3線紋尺的檢定（1）絕對(duì)檢定法現(xiàn)在是32頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－3線紋尺的檢定光電光波比長(zhǎng)儀用于檢定1m以下高精度的基準(zhǔn)線紋尺和一等標(biāo)準(zhǔn)線紋尺的線紋尺。檢定時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)大氣壓為760mm汞高，濕度為50％－60％，溫度為20攝氏度。儀器精度為。測(cè)量線紋尺的精度為?，F(xiàn)在是33頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－3線紋尺的檢定（2）相對(duì)檢定法相對(duì)法主要用于二等以下線紋尺的檢定?，F(xiàn)在是34頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四測(cè)量對(duì)象和被測(cè)量問(wèn)題1：軸類(lèi)零件有哪些？（外形、特點(diǎn)、分類(lèi)、用途）問(wèn)題2：測(cè)軸類(lèi)零件的什么量？測(cè)量單位和標(biāo)準(zhǔn)量長(zhǎng)度單位-米高等級(jí)線紋尺高等級(jí)量塊高等級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)軸光波波長(zhǎng)測(cè)量方法相對(duì)測(cè)量光學(xué)計(jì)、接觸式干涉儀立式測(cè)長(zhǎng)儀，測(cè)長(zhǎng)機(jī)指示表絕對(duì)測(cè)量萬(wàn)能測(cè)長(zhǎng)儀、測(cè)長(zhǎng)機(jī)，萬(wàn)工顯卡尺、千分尺激光掃描測(cè)徑儀測(cè)量精度（方法精度、影響因素）萬(wàn)工顯：Δ=±（3+L/200）um光學(xué)計(jì)接觸式干涉儀：同量塊測(cè)長(zhǎng)儀：Δ=±（1.5+L/100）um測(cè)長(zhǎng)機(jī)：Δ=±（2+L/100）um千分尺：Δ=±5um卡尺：Δ=±20um激光掃描測(cè)徑儀：（5-15）um§2－4軸類(lèi)零件的測(cè)量現(xiàn)在是35頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－4軸類(lèi)零件的測(cè)量一、用通用量?jī)x測(cè)量1、對(duì)于一般精度的軸徑常用通用量具2、對(duì)較高精度的軸徑，用測(cè)長(zhǎng)儀等絕對(duì)法3、對(duì)于高精度的軸徑，常用各種光學(xué)計(jì)量?jī)x器，機(jī)械式測(cè)微儀，電動(dòng)測(cè)微儀等進(jìn)行比較測(cè)量?，F(xiàn)在是36頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－4軸類(lèi)零件的測(cè)量二、用工具顯微鏡測(cè)量軸徑1．影象法

是最常用的非接觸測(cè)量方法，利用儀器目鏡分劃板上的刻線對(duì)工件影象進(jìn)行瞄準(zhǔn)，讀出相應(yīng)讀數(shù)，既可以測(cè)得內(nèi)、外尺寸?，F(xiàn)在是37頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四Y1Y2d=|Y1-Y2|§2－4軸類(lèi)零件的測(cè)量現(xiàn)在是38頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四2．測(cè)量刀法原理：用直刃測(cè)量刀接觸測(cè)量軸徑，在測(cè)量刀上距刃口0.3mm處有一條平行于刃口的細(xì)刻線，在工具顯微鏡上測(cè)量時(shí)，用這條細(xì)刻線與測(cè)角目鏡中米字中心線平行的第一條虛線對(duì)線瞄準(zhǔn)讀數(shù)。0.3§2－4軸類(lèi)零件的測(cè)量現(xiàn)在是39頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－4軸類(lèi)零件的測(cè)量三、軸徑測(cè)量中的誤差對(duì)于不同公差等級(jí)的軸徑應(yīng)選用不同的量?jī)x，通常以零件公差的作為測(cè)量誤差。量?jī)x的極限測(cè)量誤差現(xiàn)在是40頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－4軸類(lèi)零件的測(cè)量1、接觸式測(cè)量可分為點(diǎn)接觸、線接觸、面接觸三種。點(diǎn)接觸又有一點(diǎn)、兩點(diǎn)、三點(diǎn)接觸等。（1）一點(diǎn)接觸測(cè)量（2）兩點(diǎn)接觸測(cè)量用卡尺、千分尺、各種指示量?jī)x等測(cè)量軸徑都是二點(diǎn)接觸?，F(xiàn)在是41頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－4軸類(lèi)零件的測(cè)量圖2－9a現(xiàn)在是42頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－4軸類(lèi)零件的測(cè)量圖2－9b圖2－10現(xiàn)在是43頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－4軸類(lèi)零件的測(cè)量（3）三點(diǎn)接觸測(cè)量圖2－11現(xiàn)在是44頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－4軸類(lèi)零件的測(cè)量2、非接觸式測(cè)量圖2－12被測(cè)直徑mm光圈直徑現(xiàn)在是45頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－5孔類(lèi)零件的測(cè)量一、接觸法測(cè)量孔徑1、用光學(xué)靈敏杠桿測(cè)量孔徑現(xiàn)在是46頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－5孔類(lèi)零件的測(cè)量2、用孔徑測(cè)量?jī)x測(cè)量孔徑現(xiàn)在是47頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－5孔類(lèi)零件的測(cè)量二、非接觸法測(cè)量孔徑1、影像法測(cè)量孔徑現(xiàn)在是48頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－5孔類(lèi)零件的測(cè)量2、電眼法測(cè)量孔徑現(xiàn)在是49頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－5孔類(lèi)零件的測(cè)量實(shí)驗(yàn)一在工具顯微鏡上用靈敏杠桿測(cè)量孔徑一、實(shí)驗(yàn)?zāi)康?、了解工具顯微鏡的構(gòu)造、原理及使用。2、掌握用光學(xué)靈敏杠桿測(cè)量孔徑的方法。二、儀器使用說(shuō)明和測(cè)量原理三、實(shí)驗(yàn)步驟四、思考題在工具顯微鏡上還可用哪些方法測(cè)量孔徑？現(xiàn)在是50頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－5孔類(lèi)零件的測(cè)量現(xiàn)在是51頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－5孔類(lèi)零件的測(cè)量實(shí)驗(yàn)二在萬(wàn)能測(cè)長(zhǎng)儀上用電眼法測(cè)量孔徑一、實(shí)驗(yàn)?zāi)康?、了解測(cè)長(zhǎng)儀的基本結(jié)構(gòu)和使用方法。2、熟悉在萬(wàn)能測(cè)長(zhǎng)儀上用電眼法測(cè)量孔徑的方法。二、儀器簡(jiǎn)介和測(cè)量原理三、實(shí)驗(yàn)步驟四、思考題測(cè)量孔徑時(shí)如何保證測(cè)量的是孔的直徑，而不是孔的某一弦長(zhǎng)？現(xiàn)在是52頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－5孔類(lèi)零件的測(cè)量現(xiàn)在是53頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－6大尺寸的測(cè)量一、概述大尺寸一般指超過(guò)500mm以上尺寸。測(cè)量的對(duì)象有以下幾類(lèi)（1）大型零部件的外徑、內(nèi)徑和長(zhǎng)度。（2）可沿導(dǎo)軌作位移測(cè)量的尺寸（3）大型部件安裝位置和大型結(jié)構(gòu)三維形狀空間尺寸現(xiàn)在是54頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四直接測(cè)量

用通用量具用測(cè)長(zhǎng)機(jī)：大尺寸量值傳遞、高精度工件；用激光干涉儀：依相干原理、以波長(zhǎng)為基準(zhǔn)、非接觸、高精度。間接測(cè)量

輔助基面：主要是測(cè)量大尺寸工件的外尺寸弦高法：直徑1000mm至10000mmm的非整圓的內(nèi)外徑圍繞法：通過(guò)測(cè)周長(zhǎng)求直徑長(zhǎng)桿量規(guī)：簡(jiǎn)便、現(xiàn)場(chǎng)常用對(duì)滾法：利用對(duì)滾原理，被測(cè)圓柱與標(biāo)準(zhǔn)滾柱比較轉(zhuǎn)角進(jìn)行測(cè)量；經(jīng)緯儀法：不僅可測(cè)量直徑和長(zhǎng)度，還可測(cè)量安裝位置誤差。§2－6大尺寸的測(cè)量現(xiàn)在是55頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－6大尺寸的測(cè)量二、大尺寸的直接測(cè)量法1、用通用量具測(cè)量（1）常用的大型通用量具a、游標(biāo)卡尺b、千分尺c、高度規(guī)d、內(nèi)徑千分尺e、內(nèi)徑千分表（2）大型量具的校準(zhǔn)現(xiàn)在是56頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－6大尺寸的測(cè)量（3）測(cè)量誤差分析①受力變形引起的誤差自重和測(cè)量力將引起量具的變形。測(cè)量誤差在兩種不同支承位置上被測(cè)件彎曲變形后的長(zhǎng)度減少量被測(cè)件分別在兩種不同支承位置上的撓度（弦高）被測(cè)件分別在兩種不同位置上的弦長(zhǎng)（測(cè)量長(zhǎng)度）現(xiàn)在是57頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－6大尺寸的測(cè)量②溫度誤差一般計(jì)量室常將被測(cè)件放在鑄鐵平板上，當(dāng)工件長(zhǎng)度小于1m時(shí)，其等溫時(shí)間為1.5h，小于3m時(shí)為3h；大于3m時(shí)為4h以上?，F(xiàn)在是58頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－6大尺寸的測(cè)量2、用測(cè)長(zhǎng)機(jī)測(cè)量測(cè)長(zhǎng)儀和測(cè)長(zhǎng)機(jī)結(jié)構(gòu)中帶有長(zhǎng)度標(biāo)尺，通常是線紋尺，也可以是光柵尺。測(cè)量時(shí)，用此尺作為標(biāo)準(zhǔn)尺與被測(cè)長(zhǎng)度做比較，通過(guò)顯微鏡讀數(shù)以得到測(cè)量結(jié)果。

量程較短的稱(chēng)為測(cè)長(zhǎng)儀。根據(jù)測(cè)量座在儀器中的布置分立式測(cè)長(zhǎng)儀和臥式萬(wàn)能測(cè)長(zhǎng)儀（簡(jiǎn)稱(chēng)萬(wàn)能測(cè)長(zhǎng)儀）兩種。立式測(cè)長(zhǎng)儀用于測(cè)量外尺寸；臥式測(cè)長(zhǎng)儀除能測(cè)量外尺寸外，主要用于測(cè)量?jī)?nèi)尺寸。

量程在500mm以上的儀器體形較大，稱(chēng)為測(cè)長(zhǎng)機(jī)。測(cè)長(zhǎng)機(jī)常用于絕對(duì)測(cè)量?，F(xiàn)在是59頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－6大尺寸的測(cè)量測(cè)長(zhǎng)機(jī)是一種測(cè)量大尺寸的光學(xué)精密儀器。常用于對(duì)大尺寸量塊、外徑千分尺校對(duì)桿、內(nèi)徑千分尺，以及大型工件等精密尺寸的測(cè)量．測(cè)長(zhǎng)機(jī)的測(cè)長(zhǎng)范圍有1，2，3，6，12m等多種．它們的測(cè)量原理和方法大體相同。在測(cè)長(zhǎng)機(jī)上可進(jìn)行相對(duì)測(cè)量和絕對(duì)測(cè)量。①儀器工作原理臥式測(cè)長(zhǎng)儀又稱(chēng)為萬(wàn)能測(cè)長(zhǎng)儀。萬(wàn)能測(cè)長(zhǎng)儀是把測(cè)量座作臥式布置，測(cè)量軸線成水平方向的測(cè)長(zhǎng)儀器。萬(wàn)能測(cè)長(zhǎng)儀除了對(duì)外尺寸進(jìn)行直接和比較測(cè)量之外，還可配合儀器的內(nèi)測(cè)附件測(cè)量?jī)?nèi)尺寸?，F(xiàn)在是60頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－6大尺寸的測(cè)量現(xiàn)在是61頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四§2－6大尺寸的測(cè)量現(xiàn)在是62頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四測(cè)量座工作臺(tái)底座尾座支架1m測(cè)長(zhǎng)機(jī)的示意圖§2－6大尺寸的測(cè)量現(xiàn)在是63頁(yè)\一共有70頁(yè)\編輯于星期四3．激光干涉測(cè)量法

由于激光具有良好的方向性、單色性和相干性等優(yōu)點(diǎn)，采用激光器作為光源,以激光穩(wěn)定的波長(zhǎng)作基準(zhǔn)，利用光波干涉原理實(shí)現(xiàn)大尺寸的精密測(cè)量是目前大尺寸測(cè)量中比較理想的方法。（1）單頻激光干涉測(cè)長(zhǎng)單頻激光干涉儀是將同一激光器發(fā)出的光束，經(jīng)分光鏡后分成相同頻率的參考光束和測(cè)量光束,它們分別經(jīng)固定參考棱鏡和隨被測(cè)件移動(dòng)的可動(dòng)棱鏡(圖2-38)反射，而在分光面上重新產(chǎn)生干涉，相應(yīng)的被測(cè)長(zhǎng)度對(duì)應(yīng)于干涉場(chǎng)的干涉條紋信號(hào)變化的次數(shù)，通過(guò)光電接