第2章制造過程的防靜電損傷技術(shù)靜電現(xiàn)象是客觀存在的，防止靜電對元器件損傷的途徑只有兩條：一是從元器件的設(shè)計和制造上進行抗靜電設(shè)計和工藝優(yōu)化，提高元器件內(nèi)在的抗靜電能力；另一方面，就是采取靜電防護措施，使器件在制造、運輸和使用過程中盡量避免靜電帶來的損傷。對元器件的使用方，包括后工序廠家、電路板、組件制造商以及整機廠商來說，主要甚至只能采取后一種方法來防止或減少靜電對元器件的損害。2.1靜電防護的作用和意義為什么要在制造過程中采取防靜電控制措施？我們從以下三個方面來說明。2.1.1多數(shù)電子元器件是靜電敏感器件多數(shù)未采取保護措施的元器件靜電放電敏感度都是很低，很多在幾百伏的范圍，如MOS單管在100-200V之間，GaAsFET在100－300V之間，而且這些單管是不能增加保護電路的；一些電路尤其是CMOSIC采取了靜電保護設(shè)計，可雖然以明顯的提高抗ESD水平，但大多數(shù)也只能達到2000－4000V，而在實際環(huán)境中產(chǎn)生的靜電電壓則可能達到上萬伏（如第1章的表1.4和表1.6。因此，沒有防護的元器件很容易受到靜電損傷。而且隨著元器件尺寸的越來減小，這種損傷就會越來越多。所以我們說，絕大多數(shù)元器件是靜電敏感器件，需要在制造、運輸和使用過程中采取防靜電保護措施。表2.1列出了一些沒有靜電保護設(shè)計器件的靜電放電敏感度。表2.1一些器件的靜電敏感度宋器件呆類型患實例知靜電拿敏感蠟度(革單位辱kV濫)急MO扇SF娛ET漂3C洲O、濱3D倍O系承列反0速.1視-0逝.2六JF酷ET燈3C瓣T系支列乏0.冠14壟-1遞.0藍Ga手As存F任ET功0.興1-凳0.假3胞CM閱OS價CO病00類、C斧D4煮00李系列惜0.缺25銳-2隱.0梅HM問OS怒68萍00概系列謹0.推05否-0拌.5田E/挽D遺MO淺S洪Z8饒0系押列囑0.源2-素1.星0督VM斬OS角0.具03墻-1鮮.8肥EC迷L電洋路窗EO陜OO溫系列耍0.賴3-最2.商5夜SC際L(奇可控岔硅)來0.仰68律-1眼.0基S-燙TT累L諷54培S、寫74么S系幻列紋0.鬧3-遞2.靜5霉DT替L術(shù)74補00崇、5裂40閑0系述列泛0.慨38蹤-7磨.0臣石英低及壓倉電晶胡體針<1盾0.位02.1.2靜電對電子行業(yè)造成的損失很大電子行業(yè)如微電子、光電子的制造和使用廠商因為靜電造成的損失和危害是相當嚴重的。據(jù)美國1988年的報道，它們的電子行業(yè)中，由于ESD的影響，每年的損失達50億美元之多；據(jù)日本統(tǒng)計，它們不合格的電子器件中有45％是由于靜電而引起的；我國每年因靜電危害造成的損失也至少有幾千萬。圖2.1是美國Ti公司對某一年對客戶失效器件原因進行分析統(tǒng)計的結(jié)果，從中可以看到由EOS/ESD引起的失效占總數(shù)的47%；圖1.2是美國半導(dǎo)體可靠性新聞對1993年從制造商、測試方和使用現(xiàn)場得到的3400例失效案例進行的統(tǒng)計，從中可以看到,EOS/ESD造成的失效也達到20%。而圖2.3是一個CMOS器件和一個雙極型器件在受到ESD損傷后芯片內(nèi)部的相貌像。圖2.1Ti公司某一年客戶失效器件原因的分析統(tǒng)計圖2.21993年從制造商、測試方和使用現(xiàn)場得到的3400例失效案例統(tǒng)計(a)CC40694.0kV(b)JF7092.0kV圖2.3電路受ESD損傷后的形貌像字ES吃D僵對電忌子元們器件叛的危夾害還故表現(xiàn)出在它暢的潛家在性撓。防即器瓜件在因受到角ES稀D應(yīng)簽力后弊并不穿馬上編失效村，而址會在羊使用胞過程加中逐找漸退飛化或素突然伶失效脾。這狗時的淡器件去是旨“鳴帶傷棵工作魂”高。這診是人界們對濱靜電番危害絮認識添不夠承的一文個主樂要原鉤因。千實際寸上，秘靜電坑放電闖對元帆器件羅損傷胞的潛深在性先和累領(lǐng)積效釋應(yīng)會笑嚴重國地影腐響元約器件炕的使礙用可吼靠性宅。由準于潛序在損筋傷的俘器件師無法彩鑒別露和剔斃除，銜一旦疑在上窄機應(yīng)割用時貝失效戀，造蜻成的迅損失尤就更量大。積而避抽免或帖減少躁這種未損失袍的最奪好辦項法就買是采濱取靜衫電防起護措陶施，四使元觸器件壓避免老靜電鮮放電陰的危旁害。奶圖2帆.殃4是餡一個妖器件霧受到目ES拒D潛獨在損長傷的悼例子貨，器竭件的勾功能配沒有餓失效結(jié)，只榴是某漏個管鋸腳的豎I-赴V特獸性發(fā)暫生了羨一些幫變化叮。篩圖2雨.義5是嘆對一泉種型貴號的揪兩組鐮CM贊OS盈I膏C進西行過提可靠翠性對掩比試津驗。難一組唯是經(jīng)愛歷過淋低于胳其失葵效閾特值較雹多電染壓的捧ES額D試浮驗而灶功能痛完全悶正常神的樣頑品，枕另一唯組是榜未經(jīng)異過任唇何試取驗的套良品勢。壽處命試臣驗的壞結(jié)果司是前竭者的茶中位住壽命臥（累嶼積失買效率券為5施0％船的壽主命）養(yǎng)低于但后者運2個絹量級道以上古。這用充分儀說明寫了E提SD仍潛在正損傷墳對器馳件可天靠性探的影置響。暈圖2步.刻4煮E窮SD掠潛在概損傷佩引起幼的I默-V偉特性繩變化趁圖2束.5悟蔽對比倘試驗艘的壽荷命分背布曲軟線亦2秒.1辭.宏3魂國腳內(nèi)外秩企業(yè)春的狀趕況豈秧國際蜻上在創(chuàng)19坐79今年成愁立了惰EO猴S/元ES亞D研蜘究協(xié)咸會，旨主要稠研究陷電子詞行業(yè)街的E議OS銷和E尾SD俱問題挎，尋衛(wèi)求解倚決方膜法。碎美軍委標8怠83搬E防“陣微電鍬路試圍驗方倍法驅(qū)”葵中關(guān)炒于E編SD訪等級包評價聯(lián)的標媽準已憂先后碑7次難修訂弊，現(xiàn)任在已俗是3凍01社5糖.菠7版越，而塊且很煮多標裳準明晨確規(guī)損定軍糾用微連電路擦必須稱達到廳2k奉V的警ES鴨D等命級。茅美國貪多數(shù)橫主要殊的電蛛子制喘造商捉在八養(yǎng)十年狐代初岸已經(jīng)售建立許了他兇們的讓ES昆D組雜織機錦構(gòu)，狠專門安負責(zé)美ES爹D方暴面的萄工作湊，主耀要有遞防靜爆電設(shè)陵計、尾靜電原檢測澇、靜根電防碌護以毅及管坐理、搖培訓(xùn)某等。準與帆國際漲上發(fā)騙達國肝家相鍵比，沖我國傷在這賀方面異的工遺作起繪步要汽晚很戒多，五差距斬也較肺大。貴直到蘇最近群幾年秧才真深正重涼視和躬發(fā)展罷起來槳。在眼軍品蛾方面夸，如姿修改案版的傍國軍園標卸GJ但B5進48臣A-剛96帝和國財軍標邪12沾8A遼－9影7揮分別細增加汗了對托微電朽路和款分立座器件床的靜金電放弦電敏幕感度糧分類易要求逼；并虧要求紫貫徹奪國標責(zé)的產(chǎn)匪品必調(diào)須給肉出E郵SD蹦S的盼值；若在民先品方召面，無合資謎和獨敵資企苦業(yè)的眨狀況部較好蠢，起瀉步較賄早，降大多窩參照尋國外常企業(yè)宅的做箏法，打在抗醫(yī)ES稿D設(shè)辱計和巖靜電縣防護各方面畝都達賴到了點較高置的水禍平，暴如上蒜海的手貝嶺租、南躺京的頂富士背通、裝廣東叢北電拼等；賓而其循它民貼品企偷業(yè)也車已經(jīng)爭意識古到靜干電問棍題重按要性屈，并讓在產(chǎn)寧品的車抗靜兄電設(shè)啟計和畏生產(chǎn)真線的緩靜電編防護巴方面鞭投入良人員機和資償金，挎取得棒了很便好的遍效果膨。廊庸雖然悲國內(nèi)聯(lián)企業(yè)悠正在岔逐步禁改進課，但彩仍然吳存在司不小選的差摩距。謊舉例凱來說釋，如虛軍品嘴CM德OS輕電路習(xí)還未掀提出羽2k勻V的閉要求棒；有款些生介產(chǎn)線天豪華極裝修賞，但販無防武靜電魯措施裝；從陡業(yè)人宜員缺聽乏關(guān)胸于E對SD透的上絞崗培次訓(xùn)等委。兄2.報2蓬翠靜電牧對電許子產(chǎn)鑼品的蹄損害丙靜電池對電顧子產(chǎn)說品的潤損害則有多因種形客式，段并具合有自格身的毅特點暗。段2問.2果.1膽費靜電告損害禽的形鵲式容靜電誦的基陽本物蒼理特幻性為母：吸梨引或圾排斥勞，與平大地姜有電養(yǎng)位差白，會誼產(chǎn)生邪放電箭電流隱。這賄三種擱特性校能對爪電子蕉元器輕件的但三種泄影響玉：輛靜電拌吸附繪灰塵稀，降逗低元幣器件須絕緣奏電阻牌（縮熄短壽巴命）臺。鄭靜電公放電貍（E雁SD氏）破往壞，駱造成儉電子祖。則靜電徐放電推產(chǎn)生例的電奸磁場僵幅度應(yīng)很大叮（達句幾百相伏/拘米）殖頻譜游極寬前（從鼻幾十沃兆到酷幾千雙兆）慶，對三電子征產(chǎn)器戰(zhàn)造成桿干擾畝甚至畏損壞豬（電君磁干越擾）狐這餐三種密形式導(dǎo)對元臺器件文造成承的損辱傷，端既可荷能是背永久鑒性的施（如闖功能后喪失挪，不脆能恢越復(fù)）恥，也支可能襯是暫便時性望的（霞如靜效電放規(guī)電產(chǎn)錢生的殊干擾半使功剃能暫枝時喪鈔失）押；既櫻可能名是突耍發(fā)失伸效，穿也可岡能是捏潛在何失效森。其身中靜采電放程電扶(E損SD卵)休事件事是造弄成元頸器件軟損傷伶最常俘見和班最主項要的義原因望。祥2耕.2勵.預(yù)2承靜電楚損害察的特墾點翼相對層與其程它應(yīng)聚力，妥靜電翻對電杏子產(chǎn)販品損趁害存閱在以猾下一趕些特私點：謊(1刃)挪隱蔽駕性享人體鴿不能電直接誼感知謝靜電香除非動發(fā)生育靜電陪放電翠,但棄是發(fā)嫂生靜孔電放論電人把體也殺不一精定能旁有電局擊的近感覺將,這蚊是因撫為人橡體感雨知的笛靜電兄放電零電壓寧為2斑－3材K拾V,好所以姨靜電兆具有怨隱蔽較性。窄(2罪)套潛場在性認和累奴積性爭有些進電子炊元器弄件受貼到靜輸電損屑傷后睬的性礎(chǔ)能沒慚有明眼顯的仙下降懷，但仰多次虎累加復(fù)放電籃會給溝器件限造成儲內(nèi)傷僑而形同成隱偽患。星因此救靜電晃對器箱件的算損傷凍具有因潛在段性。猜(3劍)計隨勻機性曠電子賞元件落甚么召情況播下會褲遭受艱靜電鏟破壞腐呢?綁可以弊這么綿說，抱從一薯個元瞎件產(chǎn)丙生以看后，發(fā)一直白到它釘損壞爐以前盈，所淡有的踩過程殖都受際到靜僵電的瞇威脅值，而襯這些珍靜電浮的產(chǎn)瑞生也戰(zhàn)具有壟隨機影動性鍛性。贊其損棗壞也押具有嗽隨機植動性斤性。勿(4抄)循復(fù)雜炕性并靜課電放殼電損沫傷的夜失效痰分析夜工作襲，因粒電子政產(chǎn)品延的精吹、細月、微衰小的敘結(jié)構(gòu)怨特點捕而費牛時、改費事岸、費破錢，匪要求笑較高墾的技頑術(shù)并棕往往份需要齒使用更掃描的電鏡爭等高友精密侍儀器夏。即備使如白此，嚴有些錫靜電妙損傷朵現(xiàn)象罵也難毫以與但其他輸原因賞造成籮的損爹傷加您以區(qū)透別，騎使人杯誤把拼靜電挽損傷使失效便當作挽其他婚失效繭。這沙在對雪靜電擊放電跪損害終未充于分認紙識之醉前，莊常常能歸因味于早寺期失迎效或謹情況哪不明遣的失痕效，失從而早不自僑覺地三掩蓋填了失貼效的芹真正芬原因誰。所質(zhì)以靜鈔電對懶電子墾器件余損傷梁的分壞析具盾有復(fù)棕雜性殖。呆2忠.2窗.柔3伴可能迷產(chǎn)生蝴靜電龜損害祝的制于造過群程瞎元器洽件從高生產(chǎn)癢到使霧用的吉整體憲過程彈中都?？赡艿言馐芗y靜電坐損傷雹，依刑各階此段的菜可分釘為：勿(1池)暮腹元器壽件制業(yè)造過呈程霜在這犧個過塔程，謊包含詠制造培，切貪割、撤接線攔、檢華驗到昏交貨妥。妨(2釀)陽茶印刷懷電路雞版生鞭產(chǎn)過擁程津收貨桑、驗罪收、羅儲存限、插號入、逃焊接斥、品朽管、專包裝系到出綁貨。鏡(3核)神瞞設(shè)備勞制造柜過程捧電路碼板驗獵收、輛儲存皇、裝發(fā)配、蛋品管南、出雞貨。辣(4蹲)溝芳設(shè)備舊使用罵過程擁收貨蹤、安礙裝、奧試驗世、使傭用及呆保養(yǎng)理。剪(5錫)耀械設(shè)備謀維修廈過程歲在這匯整個屠過程楚中，岡每一排個階墊段中滋的每劃一個紐小步認驟，革元件賀都可唱能遭輕受靜劣電的腿影響拌，而款實際邊上，掙最主鼓要而其又容片易疏衡忽的果一點睛卻是旱在元薪器件忽的傳城送與塑運輸素的過耕程。獸在這妖整個雕過程陡中，醫(yī)不但具包裝道因移初動容撫易產(chǎn)亞生靜仍電外繡，而槳且整杯個包價裝容睡易暴謙露在扇外界蹤電場濟(如惡經(jīng)過腿高壓注設(shè)備鹿附近怕，工猶人移午動頻凍繁、厭車輛叔迅速挎移動鳥等)芝而受講到破父壞，翁所以己傳送章與運翼輸過盤程需煙要特太別注淡意以望減少聯(lián)損失忽，避爹免無纏謂之度糾紛匯。配所以第，從編元器國件的踐制造士，使盛用到療維修砌的任愿一環(huán)滔節(jié)都蕩有可聲能發(fā)以生靜懂電損女害。富2.臺3山靜電切防護愧的目渡的和悅總的撇原則悶2孕.押3守.1噴匠目的吼和原芝則根靜電稻防護帖的根誓本目盡的是樂在電扒子元吸器件背、組積件、棕設(shè)備知的制猛造和惑使用宏過程逐中，墳通過智各種稠防護埋手段錄，防澇止因捉靜電袋的力桃學(xué)和靠放電島效應(yīng)掃而產(chǎn)堪生或媽可能匆產(chǎn)生投的危摸害，久或?qū)⒓m這些近危害裳限制歡在最擴小程瓜度，象以確霞保元椒器件餃、組斗件和慚設(shè)備凍的設(shè)呀計性祝能及時使用封性能立不致瞇因靜吐電作姐用受睜到損報害。蓬前面律我們親已經(jīng)丹提到鎖，電成子工禿業(yè)中瞧靜電少危害膀的主罩要形鼠式是嘉靜電株放電析引起懇的元甚器件觀的突怕變失答效和霧潛在對失效壁，并鑄進而刻造成冷整機大性能末的下秤降或昆失效弱。所替以，劉靜電尺防護借和控麻制的咳主要紹目的賤應(yīng)是應(yīng)控制茂靜電醒放電擇，亦懶即防武止靜戒電放偉電的艷發(fā)生壓或?qū)⒆V靜電板放電自的能規(guī)量降薯至所隸有敏胃感器辰件的丈損傷峽閾值牢之下誠。何從原睜則上悅說靜惜電防被護應(yīng)泉從孝控制就靜電禮的產(chǎn)略生和巧控制閥靜電狂的消粘散鍵兩方舒面進鮮行，和控制帥靜電岡產(chǎn)生專主要鄰是控刺制工背藝過崖程和禁工藝夫過程待中材禿料的蟻選擇悶；控輪制靜啞電的碑消散銳則主艙要是者快速添而安愁全地宋將靜曲電泄切放和底中和等；兩擦者共閑同作感用的將結(jié)果頭就有擾可能霸使靜狹電電智平不跨超過繞安全扒限度取，達糕到靜選電防眉護的敞目的販。種2.曉3.踢2姿基本芽思路要和技卷術(shù)途營徑浙莊靜電繭放電務(wù)會對講器件稼造成延損害歉，但肉通過沒采取禮正確傍和適辨當?shù)尼t(yī)靜電退防護槽和控含制措噸施，忘建立感靜電注防護劣系統(tǒng)倚，那留么就取可以勺消除脊或控短制靜箱電放盡電的姿發(fā)生弟，使姓其對佳元器逝件的閑損害橫降至顧最小扔。對清靜電儉敏感筐器件餃進行找靜電民防護億和控芝制的削基本哀思想埋有兩寸條：葵(萍1)胸對邪可能楚產(chǎn)生炒接地窗的地臥方要樹防止條靜電遵的聚構(gòu)集，伸及采適取一挎定的充措施勞，避奧免或通減少燒靜電五放電仍的產(chǎn)材生，慶或采特取狐“杰邊產(chǎn)癢生邊霸泄漏攔”艇的方欄法達戀到消炊除電佳荷積頓聚的虹目的球，將母靜電溫荷控距制在犧不致銳引起融產(chǎn)生武危害首的程帆度。榨對已隆存在紐的電拴荷積茶聚，握迅速刮可靠鬼地消叛除掉洞。除所以賞生產(chǎn)靜過程艇中靜久電防蘆護的昏核心滾是津“范靜電黃消除耕”呆。為椅此可逮建立夢一個洞靜電道完全詳工作泉區(qū)，齊即通壤過使豬用各標種防薦靜電旨制品圾和器秒材，低采用惱各種誦防靜削電措煉施，端使區(qū)騰域內(nèi)悔的可酬能產(chǎn)說生的牲靜電社電壓劣保持嗓在對遷最敏訴感器甚件安君全的伏閾值丑下。橋其基款本途粗徑有達：擠工藝蘆控制質(zhì)法款旨在梯使生籠產(chǎn)過但程中登盡量請少產(chǎn)軍生靜苗電荷吳.蹄為此狂應(yīng)從喂工藝拴流程歉、材祝料選脆擇、仿設(shè)備廉安裝蘭和操咐作管士理等壩方面辜采取艘措施萌，控必制靜粱電的傘產(chǎn)生尸和積家聚，照抑制站靜電襲電位優(yōu)和靜盞電放警電的嫂能力鞠，使竭之不仔超過盾危害媽的程逗度。陡如在誦半導(dǎo)破體制岸造過棍程中笨，當格高速疾器件底的淺川結(jié)形信成工漿序完霜成后挽，對蠟沖洗獲用的弓去離利子水并的電澇阻率隱就必執(zhí)須控豪制。蕩雖然征電阻陸率越宰高，而潔凈聽效果便越好毒，但鋒電阻娛率越乏高。壓絕緣雹性越紗越好山，在邊芯片三上產(chǎn)從生的鋒靜電釋就越筑高。恨因此具一般休要控躬制在薦略高央于8員M組Ω伸的水還平，凝而不堆能是襯初始溪工序稈用的滿16笨－1膠7M拼Ω均。還舒有在片材料贏選擇當上，如包裝版材料扇要采皂用防控靜電拴材料腰，盡望量避鎖免未非經(jīng)處旺理的滲高分戲子材征料。耗泄漏豪法漠旨在講使靜配電通救過泄芝漏達怕到消悅除的西目的笑。通鉗常采液用靜住電接傭地是湊電荷四向大裝地泄捎漏；貪也有蒸采用衛(wèi)增大瘡物體撞電導(dǎo)退的方造法使務(wù)接地姓沿物勁體表長面或予通過怒內(nèi)部趟泄漏脫，如蹦添加藍靜電傲劑或京增濕勿。最聾常見錯的是嘆工作默人員擺帶的稻防靜責(zé)電腕渴帶，寄靜電攀接地茶柱。榆靜電稈屏蔽舞法紋根據(jù)獸靜電德屏蔽油的原戲理，吹可分近為內(nèi)吼場屏早蔽和察外場計屏蔽你兩種錦。具效體措擇施是答用接辭地的制屏蔽振罩把腦帶電宇體與襲其它噴物體恩隔離窩開來聞，這氧樣帶檢電體根的電絕場將瞎不會換影響植周圍嚷其它益物體烈（內(nèi)月場屏典蔽）開；有單時也尾用屏醬蔽罩所八被膀隔離漏的物枕體包燃圍起豬來，桌使其央免受忍外界護電場芝的影倆響（報外場墨屏蔽柜）。廣如G搭aA扭s器消件包班裝多吐采用美金屬齡盒或爆金屬暈?zāi)?。孩?fù)合犁中和芬法題旨在弄使靜蜓電荷謎通過菜復(fù)合鐘中和慌的辦模法，林達到怒消除筋的目寄的。淋通常究利用申接地救消除末器產(chǎn)死生帶緒有異省號電份荷的拌離子帳與帶比電體那上的奶電荷阻復(fù)合貴，達猛到中腐和的祝目的襯。一斃般來誤說當砌帶電鋤體是偶絕緣斑體時刷，由疫于電妹荷在攏絕緣劃體上鳥不能也流動榜，所稿以不肥能采方用接疼地的駐辦法拍泄漏固電荷練，這杯時就衫必須義采用疫靜電疫消除圣器產(chǎn)山生異近號離極子去冒中和浮。如湖對生諒產(chǎn)線睜傳送堵帶上而產(chǎn)生板的靜修電荷柳就采扛用這溜種方貸法進渠行消希除?；麅粲泊胧┡浦荚谄１苊馔布舛它h放電翼的現(xiàn)哨象。裙為此賠，應(yīng)朵該盡彩可能夫使帶襲電體汪及周隱圍物踏體的遷表面策保持疏光滑藏和潔得凈，緞以便史減少換尖端縫放電俗的可握能性察。侄2.佳4從靜杠電防持護材該料拖靜電棋防護趙材料蜓或防密靜電間材料始在靜余電防熄護和乎控制溪工程森中占枕有重鞭要的戴地位森，由咽防靜董電材訂料制泄成的夠靜電錫防護績用品姿如容累器、普服裝車、傳廉送帶戒等是很制造雁過程艷中必幟不可奧少的高。舊2冶.4援.1等碧與靜篇電防坑護材杏料有夸關(guān)的蜻基本演概念耍這里蜜先撈介紹梅一些案在靜荷電防品護和旅控制周技術(shù)逗中用艷到的茫與材受料有義關(guān)的禾基本蛋概念為。棗電阻柱和電桑阻率飾：這塌是靜豆電控遲制技濾術(shù)中怪最關(guān)劉鍵的劉兩個長概念禽，它俘們經(jīng)蠶?；靹⑾瑴绮粌H懲被用伸來表襖示材愿料，咳還用殖于描繞述評雕估材帥料的縫測試卡方法淡。師體電若阻率鋸：指校某材聲料單弱位厚斯度上疏的直丹流壓綢降與昏單位潤面積寒上通目過的摔電流耐之比武。體提電阻附系數(shù)嫁是材厚料的爛基本靈參數(shù)階之一東，表霸示其侄導(dǎo)電梳性能正，單拴位為王歐姆浩/厘津米。是膽表面軌電阻獸率金：該泳參數(shù)后用于辭厚度注一定菜的薄衛(wèi)膜材醉料，僅其定虜義為推表面懂上單戚位長濾度的己直流肥壓降潛與單武位寬拜度流斯過電輔流之裳比。拋它指飼正方兵形兩伴對邊錘之間貍的阻低值，扁只要壞面積帥遠遠叫大于疑薄膜飼厚度珍，則稠該阻置值與辯正方僻形的臘大小芒無關(guān)督。表奶面電膠阻率跑的單賄位是千歐姆揮。攪電阻如：從勝另一闖方面旅表示激不同準形狀囑(面恨積和智長度芹)和侄電阻鼓率的字材料透對電紗流的鬼阻礙墓作用京，它對同時材表明秋材料詳?shù)谋肀忝婊蚱脖砻嬉m與地啞之間月的電陜路連鞋通性解以及醫(yī)物體室的放賣電能場力，傲單位罪是歐棚姆。懇秩表面某電阻酒：根街據(jù)E勇OS閘/E尼SD薄S料11棒.1泊1刻“撞靜電據(jù)釋放跪平面您材料坑的表穗面電臉阻測夫量選”潑中的輕定義瀉，表只面電勺阻是會指材鉤料某精個面她上兩鹽點間間的直稀流電加壓與天通過勉的電催流之糟比，談以歐融姆表淋示。扮表面遵電阻前值與乎材料欄的結(jié)拼構(gòu)無姐關(guān)。昆勻體電痛阻字：根躬據(jù)E踐SD飛D隨S1身1.荒12越“質(zhì)靜電躺釋放姥平面殖材料暗的體澤電阻似測量枝”皺中的會定義超，體捷電阻曠是指偏材料彩兩端賀之間辦的直掀流電貨壓與珍通過伯電流碎的比惰值，魔它的熔單位濾也是焰歐姆零。瘋絕緣觀材料刪：一拒般指熱表面敵電阻繁系數(shù)敏在1厚×扔10豈12肥歐姆浴或體嫁電阻徒系數(shù)弟在1襖×膠10誠11洪歐姆半/厘蛋米以仇上的算材料遼。絕繳緣材種料的缸表面盟或內(nèi)拾部基吃本上扎沒有詢電流常流動庫，它箏的電炭阻很烏大，照難于竹接地周。這呀種材仙料內(nèi)偏的靜盒電荷專會在獨上面妹保留個很長錘時間殼。協(xié)導(dǎo)電服材料腎：一趴般指芝表面嘴電阻匯系數(shù)狀小于越1臉×秘10緒5羊歐姆還或體割電阻浩系數(shù)源小于沾1鑼×信10傳4糖歐姆目/厘暖米的屯材料月。這佳種材許料電防阻小劍，電呆子在族其表勤面及尖內(nèi)部范流動理非常景容易摧，可迷流向腐任何疤接觸千到的董其它慎導(dǎo)體帽或大喜地。磁諷耗散平材料山：一季般指真表面緩電阻蘿系數(shù)親大于姻或等弊于1劑×失10裳5率而小亭于1鞏×匆10鎮(zhèn)12乎歐姆割，或吐體電么阻系動數(shù)大鳳于或叉等于瑞1喊×脾10膜4率而小齡于1吸×凡10龍11啦歐姆范/厘盟米的臣材料哲。們屏蔽摘材料映：一下般指復(fù)導(dǎo)電博層每積毫米掛厚度滅的表益面電寸阻系凡數(shù)小班于1街×父10反4煩歐姆鄰，或撤體電在阻系泊數(shù)小并于1蔬.0驚×蜻10網(wǎng)3糊歐姆筋/厘驚米的止材料透，采牛用這墾種材進料制砍作的千法拉嗽第保央護罩降可防額止靜譽電敏掏感器夫件受紡到靜仙電的善影響恭。轎抗靜惠電性硬：通紋常指張材料奪抑制糠磨擦甩起電瓜的特見性。言材料釀的抗燙靜電陰性與觀其電紐阻或囑電阻糊率沒少有必恒然的競聯(lián)系閱。如篇有些跟抗靜奏電材乒料，開電阻搜很高凍，屬惰高絕巖緣型枕，但辟起電降力很把小，何多次禿摩擦松都不毅會產(chǎn)稅生靜塵電積驢累?；美斫饴莶⒄┐_使廳用靜認電控熊制中征的這霸些基董本概唉念，誼可以掙使用橫語更桌加準撈確，杰這樣梁有助窩于有傷效地麗實施燦ES諸D控頭制。邪風(fēng)2冰.4仗.圾2攜靜電簽防護棒材料充的漸主要拉參數(shù)假表征掉起電稈能力駝的參盾數(shù)：易表面肺靜電孟位兼U叨，帶球電量肯Q坦或電帶荷面詠密度則。匪表征猜衰減屬能力腐的參忌數(shù)：膽表面拾電阻哈R禁S辦，泄凝漏電選阻鎮(zhèn)R蚊（對矛制品稈）；巷表面撿電阻檢率輩S浸、體表電阻沿率、傘V舟（對廟材料摟）；估時間吼常數(shù)驢或靜肌電半辟衰期游t栗1/遲2危：對勞介質(zhì)船＝趨，對抹導(dǎo)體存＝咱RC按（園1/安e除）逆;夜t敢1/冊2殲=0受.6座9螞2酸.4覆.止3方靜電凍防護霞材料聰?shù)某诸愔啡缭诎莼緫z概念軍中的摔闡述素，根恭據(jù)防產(chǎn)靜電修材料強的導(dǎo)算電性壞能，貓可將稱其分瞧為靜享電絕倘緣、降耗散逐、導(dǎo)資電和搏屏蔽瓦四種摔，如拌以表位面電針阻率疑(莖單位朗/志)享劃分您如下?lián)專弘S談礎(chǔ)翅白子1儲0屈4摧左畫凱謀1咬0悉5退掌小慚妙萬疼經(jīng)騙飽雞呢報構(gòu)瞧縫涉群我座聰灣才退10憤12距靜電謝屏蔽桶靜電她耗散蘿材料蝕靜電顯絕緣桐材料因靜電棄導(dǎo)體滋注：紡具體室的分信界數(shù)朱值不塊同標汪準或遠不同穿企業(yè)生有所纏不同炭，而期且有屠些分玉類更旬細。免還有儲的標角準以膽體電漏荷密阿度作舊為劃略分的館參數(shù)顯碑根據(jù)殊防靜概電材輕料的堪來源全分，桿可以唉分為掙天然妙材料所和人墾造材貌料兩璃大類演。天灰然材青料如狀金屬軍，棉哈織物諸等；荒而在仆靜電鼓防護堂工程展中，柴大量條使用錫的是斑人工何制造賭或經(jīng)貢過人奮為改河造的聚材料滅。照人造長材料百主要貢有兩痛種制未造方懷法：爭一是敵在原羨來的任材料閱中添解加帶劑電性墨材料塞或物滿質(zhì)，呀如碳救黑、階石墨絡(luò)、碳逆纖維唇的炭譯類，汗或金喊屬粉敗、金罷屬纖狹維等鍵金屬殺類，傾或抗陵靜電騙劑等趟化合股物類心。添和加的俱材料舞或制趣品具猛有永堡久性找；另圣一種陪方式允是表五面涂略敷，貿(mào)如在監(jiān)工具象的把盯手等抵表面哄涂敷舒表面姑活性講劑，核利用挖分子糠的極束化和殿親水駕基使仍表面言形成擔(dān)單分霉子導(dǎo)居電層祥，達宜到靜便電防蹄護的滴目的親，這中種方非法具飛有時卸效性煮，會園磨損果和消富失。定現(xiàn)在紡也有壇耐久新的高覆分子賠表面稈活性訂劑。汁2工.5移繞靜息電防煙護器射材拴靜電坊防護行器材倦主要襪分為拌兩大造類:糕防靜漸電制南品和溉靜電宣消除小器。擁防靜弄電制礦品是偉由防胳靜電盜材料搖制成濱的物羊品，培主要布作用說是防滴止或消減少費靜電自的產(chǎn)額生和懂將產(chǎn)層生的責(zé)靜電枝謝放腸掉。杰而靜相電消歷除器踩用來退中和始那些網(wǎng)在絕嘗材料版上積蒼累的滲、無企法用沉泄放射方法堡消除鉤的靜位電電宴荷。準2丙.5浩.1庭良防靜呢電材硬料的祥制品抬防靜撤電材西料制皮品的睡種類坡相當筑繁多捆，但吹主要溝可以探歸為丟以下婦幾類克：報防靜餃電服厘裝和握腕帶杰防靜段電服仙裝和勾腕帶惜是消杰除人貿(mào)體防手靜電猛系統(tǒng)柄的重趨要組排成部臥分，欺可以接使消匠除或黃控制癥人體析靜電憑的產(chǎn)扔生，更從而著減少砍制造嫁過程籮中最刪主要招的靜慢電來羊源。冒防靜民電服個裝包應(yīng)括防花靜電宰的套根裝、粘大褂刮、鞋族、帽蒙、防觀靜電奮手套釣、廊防靜愁電指鐮套、買防靜腰電腳駐束等箱。防帶靜電式服裝附是用緞不同忽色的樂防靜天電布復(fù)制成勞。布衛(wèi)料紗養(yǎng)線含比一定糾比例莫的導(dǎo)棚電紗李，導(dǎo)叢電紗頌又是蝕由一頃定比龍例的洞不銹移鋼纖疊維或語其它奏導(dǎo)電扒纖維傍與普的通纖寸維混墳紡而奔成。勇通過胃導(dǎo)電為纖維煎的電縣暈放侄電和攜泄漏莊作用竭消除筒服裝濱上的茫靜電堤。由深于不辜銹鋼駐纖維險屬金低屬類壤纖維屈，所求以，臂由它封織成須的防己靜電誦布料殼的導(dǎo)足電性條能穩(wěn)踩定，納不隨壓服裝臨的洗災(zāi)滌次葡數(shù)而煌變化門。穴防速靜電勁腕帶場是操嗓作人津員在鳴接觸芒電子摘元器鍬件時傳最重梳要的索靜電伯防護辦用品家，通亦過接喉地通氣路，陵可以頌將人沃體所貞帶的估靜電食荷安改全地夜謝放漫掉。才它由孝防靜露電松本緊帶疊、活哨動按贊扣、千彈簧初軟線振．保血護電駐阻及奏插頭謊或夾蓄頭組庫成。案松緊羨帶的煮內(nèi)層扯用防勻靜電輪紗線市編織承，外徒層用聚普通奶紗線電編織斃。圖哭2.梅6斤是防燕靜電晶服裝錘、防攪靜電紅腕帶街和腳叛腕帶忠。勤(壺a跨)妖防滅靜電摔服裝壞尸籠撞漿忽(b巖)京手繩腕帶芒捆死淺拆豎焦奴歐錦(承c)娃小腳腕勉帶播圖武2.初6迫罰防靜被電服幼裝、妄防靜娃電腕橫帶和舍腳腕隸帶畫防靜廚電包驚裝和侄運輸糾制品趙等。護防靜膚電包眠裝制懇品非沖常多評，如師防靜呀電屏架蔽袋轎、乘防靜書電包貴裝袋影、防桌靜電對海綿離、防虎靜電疾IC澆包裝楊管俊、防鞭靜電聰元件買盒(識箱)駛、防世靜電嘩氣泡澤膜和謙防靜悠電運太輸車屢等。睬這些躬包裝紫制品境除靜況電屏料蔽用群靜電犁導(dǎo)體磨外，照多數(shù)膝是用泛靜電仰耗散惰材料煤制成條的，三也有拐些是印用抗擦靜電靜材料甩制作川。目忽的都株是對南裝入察的電公路或稻器件染及印覽刷電熱路起非靜電效保護晴作用重。圖周2.唐7是弱一些廊常用亭的靜劣電包緊裝制三品。搖(a吩)讓防艘靜電牧包裝榴貸支能角穩(wěn)千侄雖畏辭子央礙泄(童b)悲速防畏靜電迫IC蹤包裝刊管汽(c提)堪葉防靜唯電海較面膨乘屋提勢鳳跳傭哲創(chuàng)這賊軟(d濁)扛列防靜管電儲豆存盒減圖劫2.肝7蹦梅一些妖常用忠的靜蠅電包廢裝制嗚品液防靜含電地溪板和架臺墊嚇防靜攜電地踏坪和祥臺墊縱也是宇靜電義防護腰工程禮中不橋可或驕缺的騰。防叫靜電兔地坪株的也溪有多放種，謎按時攻效性渴分，墳有永屯久性旱的和誠臨時路性的衫；按清材料另分有踏導(dǎo)電接橡膠隨、P萬VC漫、導(dǎo)演電陶市瓷等鹽；按莊鋪設(shè)媽方式恨分，額有地枯面直籌接鋪駛設(shè)的鼻和架降空的酬活動辛地板碰。可趨根據(jù)押實際遞需要翼和成真本決星定。蹄如需足要在陜地面而走多零種電緣纜、伏管道覽的環(huán)期境如惱計算狠機防瞧選擇屠架空制鋪設(shè)兵的活虎動地抗板比勿較好淡。圖跌2.納8是盡一些況防靜被電地眉板。帝防靜效電臺詞墊主燈要是簡防靜肢電復(fù)要合膠違板，訓(xùn)主要姥用于左捕墊巧桌面恭、流旨水線指工作分臺面塌、貨崖架及瞧制做系地墊喉等。棍材料宿面層健分為諸草綠鬧色，控導(dǎo)電川物質(zhì)穗是抗想靜電掃劑；掩底層羅為黑僻色，極導(dǎo)電熱物質(zhì)洲是碳岡黑。尾(a誦)董禍防靜起電復(fù)氧合地訴板貧以壓拜(b充)經(jīng)防碌靜電描PV酬C地送板塊奏備卻晚煤(c眉)譽護防靜役電機濱房高恒架地貫板知圖2住.8召抱防靜螞電地餃板膚除上連述三翼大類擠制品決外，研還有符其他陡一些肚防靜權(quán)電制筒品，更如防菌靜電良電烙縣鐵、帖防靜棍電座津椅、預(yù)椅套肝、防要靜電故維修研包等康。其溉中防疏靜電揀烙鐵遇在后秤工序叢和維堵修中驗很常遙用。女一般自的電慚烙鐵紫在焊倆靜電抹敏感喝元器峰件時哀需要昨拔掉幻電源植，而提防靜紹電烙負鐵采茶用直膀流溫柄壓電狠源，棉發(fā)熱否元件妻多選既用具糟有恒椅溫特翠性、修靜電位電電者容小功的材液料，論可極桌大地寸降低揚各種輕干擾梅雜信窮號。旱另外風(fēng)，烙威鐵還勝可作銹靜電下接地繭，可跡進一落步消奔除烙惡鐵頭式上的捧各種寒信號睬。所飲以，醬焊接劣時無貍需拔挑掉電兄源頭旋。計2.開5.晃2公靜電裹消除索器（攜消電浮器、攏電中帖和器焰或離討子平轉(zhuǎn)衡器其）披靜電芳消除機器是姨防靜鑰電材充料制浸品外身的又瘡一大聾類防班靜電都器材天，其冊主要些原理護是利駛用高歌壓電貪場或快放射石性射姥線的怕作用賺使空醋氣局征部電阻離，覺造成顆大量魔離子都和電秀子對惱，其序中與時帶電萍體極土性相餃反的痕離子駱（或痕電子券）向槍帶電舍體趨復(fù)近并串與之總發(fā)生塔中和陸作用匯，達封到消逗除靜介電的錄目的野。主趕要參顆數(shù)有西：甘抖淋兔襪搞甲予臘陡樓流幸督劍駕圈敬掃杯量凈遙有效執(zhí)消電稠電流涌IC螞；（暗>1蘿.0膝×體10嚇-7刺A/朝cm號）；傲－－慶單拴位長擇度的椅消電毅桿在起單位識時間歲內(nèi)所研產(chǎn)生綿的能閉進行垮中和義作用硬的電錦荷量承；榨行問離子鼠流引斬出效是率h?。x寸子風(fēng)擾）；端－－鹿單位湊時間瓣內(nèi)離況子引睡出總漿數(shù)與栗單位什時間覆內(nèi)放慎電針斃產(chǎn)生油離子烘總數(shù)芽之比燈；徑租初靜電唯中和將能力比N（斑離子促風(fēng)）看；（咱>2斤50譯V/挖s）籮－－搶單位動時間劇能消銜除靜淹電的尖電壓梅值控。肢獅寄粘代境惡水堵盈棋斯煤伸喪蛾養(yǎng)稻邪冊哪靜電撥消電薯器的化主要投類型壽有：喂攻壤券克落屑而鈴命婚錄壯我齊蔬投由感應(yīng)祖式消階電器怨：此構(gòu)成拐：接缸地針限電極框；原施理：崖局部莖高壓浙；形賭式：算單針蠅、多上針、相電刷仔、電貪線；拘材料造：導(dǎo)述電纖胳維布認、鋸襪齒狀殘導(dǎo)電腿薄膜泡或橡起膠、東刷狀盾炭纖梨維或箏金屬超纖維匆；特作點：雀簡單侍、無伙源、愧消電語能力柱小，救適用段電荷皆密度泰大的諷物體昨，作努用距攪離短走，1幣0～塊20丑mm因。。霞高壓汪消電段器：故抗絮構(gòu)成固：高感壓源沸＋放源電針腳（多桐根）煤或放歡電桿邪；分恢類：勉直流吳和工彼頻；賣五帽直流拔消電娃器的歇特點申：消杠電力虎強、奔作用驕范圍養(yǎng)大（蟲15單0m激m～繁60娃0m敞m）所；但自短路艘電流傘大，板易發(fā)梳生火蔽花放丙電。澤傻痛工頻縱消電解器的致特點度：市蓮電驅(qū)邁動、債方便口、耗音電低緣，作憑用距獲離2決5m蔑m～走35校mm漁，應(yīng)權(quán)用范帥圍最學(xué)廣;箏但需鞋經(jīng)常蛙維護花如清串積灰岡、更馳換鈍廊化的仿針。屬蜻慣占知放射聯(lián)性同針位素魚消電撞器查：鋒構(gòu)成混：同土位素傲放射洲源＋店屏蔽緒框＋診保護塑網(wǎng)；導(dǎo)特點景：不劇需電袖源、迷結(jié)構(gòu)穗安裝疾簡單障、易臟維護猛、不藥發(fā)熱巧和打幼火，偉但消拘電力左差，迫作用段距離價20永～3逗0m湊m.推離子策風(fēng)消邪電器稿：膚岡構(gòu)狗成：袍直流好高壓阻電源樓（或患放射滑源）列＋電蛛暈放豎電器耳＋送仗風(fēng)系業(yè)統(tǒng)；狡特點顆：應(yīng)稈用最豆多，泥工作亮距離滾長作始用范猴圍廣稼（可負達1汽m）膠，電匠器的拍耗電型小；哨但結(jié)搭構(gòu)復(fù)豐雜，俯需配貌氣系攏統(tǒng)；培環(huán)境收（潔激凈、層干燥稅70頃％、燕）和爹維護洲（日久常、右定期析和臨沉?xí)r）墾要求屠高。塌如圖被2行.9截是一患些離夸子消李電氣徒。蓮圖擔(dān)2.勞9桑披一些聾離子騎消電蜓器蟲2宏.棒6焦靜電誘防護降的具炒體措鹿施哲2滋.6惑.1懸丟建立芹靜電擔(dān)安全吧工作滔區(qū)甩在具暢體的械制造丹過程擦中，狹建立侍靜電犧安全兼工作巾區(qū)，怕采用深各種矮控制意方法嬌，將工區(qū)域形內(nèi)可鍛能產(chǎn)封生的拍靜電藍電壓芝保持鎖在對斑最敏痛感的淡元器微件都評是安墊全的宮閾值喘下。賽一通般來緒說，擇構(gòu)成印一個破完整凍的靜欺電安制全工退作區(qū)倦，至絞少應(yīng)銀包括舒有效新的導(dǎo)鴉電桌岸墊、毛專用晴接地甲線、破防靜攪電腕厲帶、弟地墊蛋以對臨導(dǎo)體漏（如悟金屬倉件、誤導(dǎo)電亦的帶警子、顫導(dǎo)電膠容器吸和人芹體等氏）上肚的靜機電進瘋行泄欠放。掠同上查，配矮以靜互電消甚除器節(jié)，用惹于中騎和無往法絕蠟緣體滑上積廉累的暑電荷任，這仗些電粱荷在鵝絕緣曬體上把不能民流動幸，無歪法用魯泄漏織接地海的方丸法釋椅放掉黨。圖浸2.疏10燦是一愚典型掘的安照全工寄作區(qū)槐示意贈圖。菌圖2鴨.1慌0汁茂典型貨的安漲全工濫作區(qū)蛙示意爛圖腹在靜修電安繪全工鑄作區(qū)賣中有宮一個墊十分蠟重要累的參曾數(shù)是掘靜電互安全魂瀉放憐電阻護。雖你然單花從區(qū)拜域內(nèi)假靜電孔瀉放異的速犬度方逆面考垂慮，租瀉放稱電阻賣越小齊越好詢，但與受到碑兩個雞方面捷的限排制。族最主盟要的鑒是要奴給工繳作去雅內(nèi)的灰操作藏人員金提供痰防電序擊條雙件，湖根據(jù)底人體養(yǎng)電擊駕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