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文檔簡介

MT管理體系文件靜電放電防護(hù)管理程序ESDProtectiveControlProgram(Guideline:46800010ESDControlGuideline,IDT)

目的Purpose本文件是MT設(shè)施設(shè)備ESD控制程序的指南和手冊(cè)。ESD控制程序的主要目的是建立合適的規(guī)章制度幫助MT產(chǎn)品減少因ESD產(chǎn)生的產(chǎn)品失效,為了保護(hù)靜電放電敏感裝置(ESDS)不受ESD傷害,MT設(shè)施設(shè)備所在部門必須執(zhí)行的控制程序。該ESD控制導(dǎo)則給出了通用準(zhǔn)則。特定的MT成員單位的ESD控制程序必須遵守本文檔給出的范圍。允許各部門制定較ESD控制導(dǎo)則更嚴(yán)格的規(guī)章制度。本文件的另一個(gè)目的是增強(qiáng)ESD防護(hù)意識(shí)和了解ESD概念的重要性,提供ESD防護(hù)規(guī)章制度的說明和背景信息,增加它們用于后續(xù)設(shè)施的可能性。范圍Scope基于本指南的當(dāng)?shù)谽SD控制程序應(yīng)在整個(gè)MTGE范圍內(nèi)執(zhí)行,為了避免整個(gè)過程中ESD的危害,建議所有MT涉及ESDS裝置的組織也執(zhí)行基于本指南的ESD控制程序。職責(zé)Responsibility每個(gè)成員單位,指定一位人員作為ESD主管,按ANSI/ESDS20.20-2007的要求,ESD主管是ESD控制程序的管理者的代表。ESD主管負(fù)責(zé)當(dāng)?shù)谽SD控制程序的說明和執(zhí)行,并符合本準(zhǔn)則。ESD主管同時(shí)負(fù)責(zé)每年對(duì)ESD控制程序以及所有相關(guān)文件包括ESD控制程序的審核系統(tǒng)和培訓(xùn)材料的評(píng)估、改進(jìn)和更新。ESD主管管理維護(hù)MT成員單位對(duì)ESD培訓(xùn)的充分性,以及ESD控制程序要求的符合性。ESD控制準(zhǔn)則同時(shí)也應(yīng)每年評(píng)估,該活動(dòng)由MTGE負(fù)責(zé),MTCT/MTCZ積極參加。ESD控制程序設(shè)計(jì)ESDControlProgramDesign各部門編制ESD控制文件、大綱和必要的預(yù)防和措施,應(yīng)遵照保護(hù)ESDS裝置,避免在操作過程中對(duì)其造成傷害。主要理念(原則)是:所有導(dǎo)電的或靜電耗散材料對(duì)地電氣連接;在ESD防護(hù)區(qū)域內(nèi)限制非導(dǎo)電材料的出現(xiàn),將其出現(xiàn)的可能性降至最??;使靜電場(chǎng)遠(yuǎn)離未受保護(hù)的ESDS裝置,以及將ESDS裝置搬離EPA時(shí)使用合適的ESD防護(hù)包裝。準(zhǔn)則基于假定ESDS裝置對(duì)100V或更高的人體模型電壓敏感,如果裝置對(duì)更低電壓敏感應(yīng)采取更多的預(yù)防措施。EPA的要求DesignatedEPAs指定EPA是對(duì)進(jìn)入該區(qū)域所有人和物品能進(jìn)行靜電控制。僅允許在EPA對(duì)沒有ESD包裝保護(hù)的ESDS裝置處理,不允許在EPA以外的區(qū)域?qū)ξ词鼙Wo(hù)的ESDS裝置作業(yè)。EPA的型式是任意的,如單獨(dú)一張工作臺(tái)、實(shí)驗(yàn)室、房間或建筑物。開闊地面中標(biāo)注的EPA分界線應(yīng)距對(duì)ESDS裝置存放或作業(yè)邊界至少1m。未受保護(hù)的ESD敏感裝置僅允許在接地的ESD工作站由經(jīng)ESD培訓(xùn)合格的員工對(duì)其進(jìn)行作業(yè);只有經(jīng)ESD培訓(xùn)合格的員工允許進(jìn)入EPA,任何時(shí)候未經(jīng)培訓(xùn)的參觀人員或未經(jīng)培訓(xùn)人員必須在接受過ESD控制培訓(xùn)的人員陪同下進(jìn)入EPA。ESD控制程序文件的最新版本在所有指定的EPA中應(yīng)保存并有效,且EPA中所有人都易于取得。符號(hào)和標(biāo)簽SignsandLabels適當(dāng)?shù)臉?biāo)簽和符號(hào)可以用于幫助提高與ESD相關(guān)人員的警惕性。圖1:ESD保護(hù)標(biāo)記圖2:ESD警示標(biāo)記EPA內(nèi)的所有裝配設(shè)備是ESD保護(hù)的,用ESD保護(hù)標(biāo)簽加以標(biāo)識(shí)并清晰可見。如工作服、接地設(shè)備、包裝等,也用于標(biāo)識(shí)替代產(chǎn)生靜電的物料如:垃圾桶、椅子、工作站設(shè)備等。該標(biāo)記可以用任何方式(打印的、絲網(wǎng)印刷的、壓印的)施加到物體上,圖1是ESD保護(hù)標(biāo)記的舉例。圖1:ESD保護(hù)標(biāo)記圖2:ESD警示標(biāo)記從EPA取出或進(jìn)入EPA的ESDS裝置的包裝材料用ESD警示標(biāo)記標(biāo)識(shí),該標(biāo)記必須位于清晰可見的位置。ESD警示標(biāo)記的舉例見圖2,允許用帶ESD保護(hù)標(biāo)記的包裝件代替ESD敏感標(biāo)記,如果包裝沒有用這兩種標(biāo)記標(biāo)識(shí),應(yīng)用其它方法作為ESD保護(hù)要求加以清晰區(qū)分。EPA中的各項(xiàng)AllowableItemsinEPA旨在用于EPA的各項(xiàng)內(nèi)容應(yīng)不產(chǎn)生或存儲(chǔ)靜電荷,導(dǎo)電的或靜電耗散型材料應(yīng)良好接地,絕緣材料會(huì)帶有電荷和散發(fā)電場(chǎng),應(yīng)遠(yuǎn)離ESDS裝置。對(duì)進(jìn)入EPA的各項(xiàng)內(nèi)容被分為3種類型:無實(shí)質(zhì)意義的非生產(chǎn)過程需要的生產(chǎn)過程需要的沒有實(shí)質(zhì)意義的內(nèi)容不允許在EPA內(nèi)出現(xiàn),當(dāng)前EPA內(nèi)所有沒有實(shí)質(zhì)意義內(nèi)容應(yīng)搬出,下列無實(shí)質(zhì)意義的內(nèi)容(但不限于這些)對(duì)ESDS裝置有危害:咖啡杯(紙質(zhì)或泡沫所料)玻璃食品或食品包裝紙護(hù)手霜或護(hù)膚液報(bào)紙塑料薄膜電子游戲機(jī)非過程要求的內(nèi)容在被帶入EPA之前必須首先由ESD主管確認(rèn)和檢驗(yàn)合格。如果作業(yè)過程不需要的內(nèi)容允許進(jìn)入EPA,但又能攜帶電荷并在距其表面2.45cm遠(yuǎn)處測(cè)量到散發(fā)的電場(chǎng)場(chǎng)強(qiáng)大于800V/cm,該項(xiàng)內(nèi)容必須:遠(yuǎn)離工作面至少1m;在有潛在風(fēng)險(xiǎn)但允許在EPA存在的清單中記錄。非過程要求的內(nèi)容(但不限于這些)包括:無線電紙巾盒電話機(jī)作業(yè)過程需要的內(nèi)容在帶入EPA之前應(yīng)首先由ESD主管確認(rèn)和檢驗(yàn)合格,ESD主管必須確定這些內(nèi)容是否允許被帶入EPA。作業(yè)過程需要的內(nèi)容允許在EPA內(nèi),但如果其帶有電荷并能在距其表面2.45cm處測(cè)量到散發(fā)電場(chǎng)強(qiáng)度不小于800V/cm,該項(xiàng)內(nèi)容必須:遠(yuǎn)離ESDS裝置至少30cm;如果不能做到,那么必須使用離子或其它減少電荷技術(shù)中和電荷;在存在潛在風(fēng)險(xiǎn)但允許該內(nèi)容在EPA存在的清單中記錄。作業(yè)過程要求的內(nèi)容(但不限于這些)包括:計(jì)算機(jī)監(jiān)視器計(jì)算機(jī)附件掃描儀該潛在風(fēng)險(xiǎn)但允許存在內(nèi)容的清單應(yīng)在此EPA內(nèi)能得到,ESD主管負(fù)責(zé)保存該清單至最新執(zhí)行清單生效。電動(dòng)工具ElectricallyPoweredToolsEPA中的電動(dòng)工具(如:交流電動(dòng)工具、烙鐵和機(jī)械設(shè)備等)應(yīng)按制造商推薦的程序維護(hù),保證運(yùn)行正確和預(yù)防ESD事件的有效性。指定EPA中所有電源供電設(shè)備在安裝和使用前應(yīng)由ESD主管確認(rèn)并檢驗(yàn)合格。EPA中的所有電源供電設(shè)備應(yīng)設(shè)計(jì)成觸及或接近ESDS裝置的導(dǎo)電部分連接到設(shè)備的接地。帶子Tape當(dāng)帶子從卷筒上放開時(shí),在帶子上會(huì)產(chǎn)生大量的靜電荷,從PCB板或引線上拆除時(shí)也會(huì)有摩擦帶電,這些電荷能在PCB板的裸露區(qū)上保存數(shù)個(gè)小時(shí),因?yàn)槁惆宓牟牧蠟樗芰?、環(huán)氧、陶瓷類的絕緣材料,這些剩余電荷會(huì)耦合到電路器件并能損害電路,如果放電會(huì)產(chǎn)生一個(gè)ESD事件。透明膠帶和其它規(guī)定的非ESD防護(hù)設(shè)計(jì)用帶子不允許在EPA中使用,EPA使用的所有帶子必須具有ESD防護(hù)特性并具有標(biāo)識(shí)表明其防護(hù)特性。人體接地EmployeeGrounding人是產(chǎn)生靜電的主要原因之一,員工帶電并與ESDS裝置接觸,會(huì)產(chǎn)生一個(gè)ESD事件。人體接地裝置(如:腕帶、ESD保護(hù)鞋和工作服)用于消除電荷的聚結(jié),因?yàn)樗鼈兣c導(dǎo)電的或靜電耗散材料相連接。當(dāng)環(huán)境中所有人和其它導(dǎo)體電氣連接并連接到大地后,他們具有相同的電位。當(dāng)系統(tǒng)中的各項(xiàng)內(nèi)容保持相同的電位,就沒有相互之間的放電危害,靜電電荷在聚結(jié)前就被安全地消散到大地。腕帶WristStraps腕帶是控制人體靜電電荷的主要方法,配戴腕帶保持人體在地電位。腕帶有兩個(gè)主要部件:袖口,圍繞人的手腕;接地電線,連接袖口與公共接地端。組成袖口的金屬盤(環(huán))確保與皮膚良好接觸。袖口的其余部分也是導(dǎo)電表面用于在任意拉拽時(shí)抬高金屬盤遠(yuǎn)離手腕時(shí)能與皮膚接觸。在指定的EPA中,可接受的對(duì)腕帶的測(cè)量電阻見4.13表1的規(guī)定,給定的電阻值是接地電線與穿戴者袖口表面之間的值,腕帶應(yīng)在接地電線靠近人手腕端內(nèi)置1MΩ電阻,這是用于限制在ESD事件發(fā)生時(shí)通過穿戴者到地的電流。腕帶固定必須充分舒適緊貼,安全地連接并與皮膚接觸。不能穿在衣服上以及受任何其它物品影響,確保電荷從員工身體散發(fā)掉如果員工通過ESD保護(hù)的鞋和ESD保護(hù)的地面,不需要穿戴腕帶,該情形僅適用于站立工作的員工。員工坐在工作站處理ESDS裝置必須戴腕帶并連接到公共地,如果在工作指南(作業(yè)指導(dǎo)書)中明確注明不要求戴腕帶除外。員工每天進(jìn)入EPA前應(yīng)目測(cè)檢查腕帶和對(duì)腕帶進(jìn)行電氣檢測(cè)。更多的信息見4.5節(jié)。鞋F(xiàn)ootwear人們?cè)谕讲酱┻^地面時(shí)會(huì)產(chǎn)生高達(dá)幾千伏的電荷電壓,在導(dǎo)電的地面上穿導(dǎo)電的ESD防護(hù)的鞋將在人體和地面之間提供必要的電氣連接,人體身上的任何電荷會(huì)通過導(dǎo)電的通路對(duì)地散發(fā)掉,相比之下絕緣鞋不具ESD防護(hù)功能,會(huì)阻止靜電電荷流入大地。EPA是ESD防護(hù)的地面,任何時(shí)候EPA中的每個(gè)人必須穿導(dǎo)電的ESD保護(hù)鞋。該要求適用于因任何原因需要進(jìn)入指定EPA的每個(gè)人,ESD防護(hù)鞋必須具有明顯可見的標(biāo)簽或標(biāo)識(shí),表明鞋子是靜電防護(hù)受控的。在指定EPA內(nèi)穿ESD防護(hù)鞋必須雙腳同時(shí)穿,確保在站立或行走的任何時(shí)候總有一只腳與地面接觸,這提供了員工在指定EPA內(nèi)移動(dòng)時(shí)仍然良好接地的方法。導(dǎo)電的ESD防護(hù)鞋在EPA內(nèi)使用前必須首先經(jīng)ESD主管的檢驗(yàn)。ESD防護(hù)鞋可以是各種不同類型的,如鞋子、后跟和足尖著地、靴子或鞋套。如果是后跟和足尖著地、靴子或鞋套作為ESD防護(hù)鞋,應(yīng)更多關(guān)注正確的穿戴方法,因?yàn)檫@些易于被不正常使用。如當(dāng)高統(tǒng)鞋太大并且能在地面上滑動(dòng),鞋的導(dǎo)電條會(huì)脫落從而失去其與大地的連接。如果穿后跟和足尖著地的鞋,不允許該人員在EPA內(nèi)部運(yùn)送不受保護(hù)的ESDS裝置,不受保護(hù)的ESDS裝置的輸送僅允許由雙腳穿接地物覆蓋整個(gè)鞋底的ESD防護(hù)鞋的人員實(shí)施。每天首次進(jìn)入EPA前,所有人員使用設(shè)在入口處的測(cè)試儀器檢測(cè)所穿ESD防護(hù)鞋,如果ESD防護(hù)鞋穿出建筑物,在重新進(jìn)入EPA時(shí),鞋的電阻必須用測(cè)試儀器重新測(cè)試。更多ESD防護(hù)鞋的日常檢驗(yàn)見4.5節(jié)。工作服Clothing人身上服裝的材料可能產(chǎn)生電荷,會(huì)對(duì)ESDS放電,或產(chǎn)生靜電場(chǎng)引起電荷。工作服的使用將減小靜電場(chǎng)或人身上服裝的電荷的影響。工作服起到隔離或屏蔽作用來保護(hù)裝置免受這些電荷的危害。進(jìn)入被指定為EPA的所有人員必須穿著ESD防護(hù)工作服或純棉工作服,該要求適用于每個(gè)人,不管出于何種目的,也不管進(jìn)入EPA多長時(shí)間。除頸部外,工作服的穿著必須全部扣緊,沒有日常衣服暴露在外。ESD防護(hù)服必須用標(biāo)簽加以證明具有ESD防護(hù)性能。在EPA內(nèi)允許戴領(lǐng)帶和圍巾,領(lǐng)帶的端頭必須藏進(jìn)ESD防護(hù)服內(nèi),不掛在服裝外面。領(lǐng)帶和圍巾允許暴露在頸部。ESD防護(hù)服的電阻必須定期測(cè)量和檢查,以保證ESD防護(hù)特性符合ESD控制程序。ESD防護(hù)服電阻測(cè)量合格范圍見4.13表1的規(guī)定。日常檢查和接地測(cè)試DailyVisualInspectionandGroundTesting所有在EPA內(nèi)工作的員工,每天在進(jìn)入EPA前應(yīng)目測(cè)ESD防護(hù)服、鞋和腕帶,檢查是否有損壞(磨損)。如果發(fā)現(xiàn)任何損壞,應(yīng)立即與ESD主管聯(lián)系,在員工進(jìn)入EPA前更換好所損壞的項(xiàng)目內(nèi)容。如果EPA地面是ESD防護(hù)地面,所有人員進(jìn)入EPA前測(cè)試ESD防護(hù)鞋。該測(cè)試每天進(jìn)行一次,如果ESD防護(hù)鞋被穿出建筑物,在再次進(jìn)入EPA時(shí)必須重新檢測(cè)鞋子。在EPA工作的員工在進(jìn)入EPA前測(cè)試其腕帶,該測(cè)試每天進(jìn)行一次。腕帶和鞋在穿戴時(shí)測(cè)試,測(cè)試設(shè)備檢測(cè)其電阻,確保滿足4.13給定的值。用測(cè)試儀器在分別穿上鞋和腕帶測(cè)量兩個(gè)接地電阻(RTG),檢驗(yàn)工廠設(shè)定的日常測(cè)試儀器滿足在4.13規(guī)定的范圍內(nèi)。如果腕帶或鞋未能通過測(cè)試,員工在EPA工作前應(yīng)立即聯(lián)系ESD主管,ESD主管調(diào)查是否檢測(cè)程序錯(cuò)誤或腕帶或鞋應(yīng)報(bào)廢。用于鞋和腕帶測(cè)試的設(shè)備放置在EPA的入口處,測(cè)試結(jié)果記錄在記錄簿或電子記錄,EPA參觀人員、清潔人員或維修人員的測(cè)試結(jié)果不要求記錄。ESD主管定期維護(hù)和檢查測(cè)試記錄簿,測(cè)試日常記錄包括穿戴人員的姓名或標(biāo)識(shí)代碼、日期和每天測(cè)試的結(jié)果。允許使用連續(xù)腕帶監(jiān)視器替代腕帶的日常檢查。ESD防護(hù)地板ESDProtectiveFlooring強(qiáng)力推薦所有指定EPA的地面是ESD防護(hù)的,地面材料與合適的ESD防護(hù)鞋的組合提供了將電荷釋放至大地的通道。用于ESD防護(hù)設(shè)計(jì)的地面材料幫助減小電荷在椅子、推車、及其它地面上移動(dòng)物體上的聚結(jié),如果它們具有耗散特性的輪子或輪腳。定期打蠟或拋光不適用于ESD防護(hù)地面,ESD防護(hù)地面的清潔方法需要經(jīng)ESD主管的檢驗(yàn)。清潔地面方法的注意事項(xiàng)張貼在指定的EPA內(nèi),EPA內(nèi)使用導(dǎo)電地面和防護(hù)鞋。對(duì)站立在ESD防護(hù)地面上的操作人員,人體是通過地面——鞋子系統(tǒng)接地的,此時(shí)可以免除戴腕帶。評(píng)價(jià)地面ESD防護(hù)特性的主要參數(shù)是測(cè)量電阻,描述地面特性的其它方法是審視從鞋子到地面的整個(gè)系統(tǒng)。這將表明電穿過表面的連續(xù)性,系統(tǒng)總電阻的限值和地面電阻見4.13表1的規(guī)定。新安裝的ESD地面應(yīng)由ESD主管按ESD控制程序有關(guān)ESD地面的審核條款在安裝后立即檢查。如果EPA沒有ESD防護(hù)地面,那么禁止下面的活動(dòng):沒有佩戴接地腕帶站立操作;運(yùn)送沒有使用ESD防護(hù)包裝的ESDS裝置;存儲(chǔ)沒有使用ESD防護(hù)包裝的ESDS裝置。EPA工作站EPAWorkstationsEPA工作站是員工處理ESDS裝置的地方,因此存在發(fā)生ESD事件的巨大風(fēng)險(xiǎn)。所有EPA中的工作站應(yīng)完全符合下面的要求,禁止處理未經(jīng)保護(hù)的ESDS裝置的工作站不要求滿足下列要求并注明不適用于處理ESDS裝置。接地GroundingEPA工作區(qū)域的所有導(dǎo)電部件要求具有相同的電氣接地點(diǎn),稱為公共接地點(diǎn)。工作站所有的工作面、固定裝置、設(shè)備和接地裝置應(yīng)連接到公共接地點(diǎn),公共接地點(diǎn)應(yīng)清晰標(biāo)注。公共接地點(diǎn)連接到交流設(shè)備的地,或輔助接地(如:水管、建筑物金屬架、接地樁)。優(yōu)先選擇交流接地點(diǎn),所有電子設(shè)備總是連接到該接地,連接公共接地點(diǎn)至交流設(shè)備接地點(diǎn)使用的導(dǎo)線應(yīng)有足夠的強(qiáng)度以防止意外斷開。下圖說明EPA中工作站典型的接地方法:圖3:ESD防護(hù)工作站的接地對(duì)于腕帶強(qiáng)制設(shè)置一個(gè)1MΩ電阻(圖3中的R1),ESD防護(hù)地墊接地點(diǎn)與大地之間的電阻(R3)是可選的。如果使用ESD防護(hù)地面,該地面應(yīng)覆蓋整個(gè)EPA并直接連接到大地。工作臺(tái)或工作面可以通過一個(gè)1MΩ電阻(R2)(可選)接到公共參考點(diǎn)。導(dǎo)電良好的工作面,如不銹鋼或銅應(yīng)直接連接到交流設(shè)備地,無需接入電阻R2。EPA區(qū)域內(nèi)ESDS裝置的架子和存放區(qū)域應(yīng)接地至公共參考點(diǎn)。ESD工作站接地電阻值可以通過使用直流歐姆表檢查,該儀器更多的信息以及測(cè)量電阻值范圍見4.15節(jié)。工作面WorkSurfaces處理ESDS裝置的工作面是靜電耗散或?qū)щ姷模⒄_接地。不允許ESDS裝置在下列表面上處理:打蠟的涂漆的浸漆的聚乙烯制成的塑料的工作面電阻的測(cè)量值可接受范圍見4.13表1的規(guī)定。應(yīng)定期測(cè)量表面至公共接地端電阻和點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻,檢驗(yàn)對(duì)ESD控制程序的符合性。點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)量是使用兩個(gè)放置在工作面上至少相距25cm電極間進(jìn)行的。這些測(cè)量保證工作面沒有過度磨損、污垢或涂料影響其耗散電荷的能力。工作面應(yīng)提供從任何金屬接觸面以受控的速率散發(fā)電荷至地的接地途徑。指定EPA中的工作面應(yīng)按制造商建議定期清潔,清潔人員不能留下電氣絕緣殘留物在工作面上,通常家用清潔劑中含硅材料不適合EPA工作面的清潔。EPA中工作站的清潔程序和清潔工具必須經(jīng)ESD主管檢驗(yàn)確認(rèn),工作站的清潔必須僅當(dāng)沒有ESDS裝置在站內(nèi)時(shí)進(jìn)行。工作站的連接也應(yīng)在ESD控制程序?qū)徍藭r(shí)被檢查,確認(rèn)其結(jié)構(gòu)的(機(jī)械組成)完整性。EPA中新添置的工作站啟用前,ESD控制程序?qū)徍酥械臋z查點(diǎn)以及附帶有關(guān)工作站和工作面的電阻測(cè)量的符合性應(yīng)被驗(yàn)證。如果工作面不符合這些限定,那么ESDS裝置在放到工作面上前必須首先被存放到ESD防護(hù)包裝(ESD屏蔽袋)內(nèi),禁止在該工作站對(duì)不受保護(hù)的ESDS裝置操作。必須由ESD主管實(shí)施調(diào)查分析此問題,全面維修、更換(ESD防護(hù)形式)。椅子Chairs在帶ESD防護(hù)地面的EPA中,對(duì)坐著作業(yè)人員椅子是作為腕帶系統(tǒng)接地的補(bǔ)充使用。因此,EPA中ESD防護(hù)地面經(jīng)靜電耗散或?qū)щ姷妮喿?、鏈條或兩種的組合連接到地,當(dāng)與ESD靜電防護(hù)地面組合使用時(shí),椅子提供了一個(gè)將人體電荷釋放至地的通道。在指定EPA中使用的椅子與ESD防護(hù)地面不能由絕緣材料如木頭、聚乙烯或玻璃纖維制成。使用由這些材料制成的椅子或非ESD防護(hù)椅子時(shí),當(dāng)腕帶失效時(shí)會(huì)在人體身上產(chǎn)生明顯的電荷等級(jí)。通過定期測(cè)量接地電阻檢查椅子的ESD防護(hù)特性,其電阻值應(yīng)符合4.13表1的規(guī)定。如果椅子不符合這些規(guī)定,應(yīng)從EPA中搬出。因?yàn)椴环螮SD控制程序的要求。如果椅子用于不是具有ESD防護(hù)地面的EPA中,ESD主管必須對(duì)它們檢驗(yàn)。其結(jié)果必須保證入座人員使用規(guī)定的ESD預(yù)防措施后不會(huì)帶電至100V或更高。貨架ShelvingEPA中對(duì)ESDS裝置使用的貨架應(yīng)按ESD防護(hù)工作面處理,因此應(yīng)接地和標(biāo)注。用于ESDS裝置的貨架和存儲(chǔ)區(qū)域的所有表面由導(dǎo)電或靜電耗散型材料組成,并連接到公共參考接地點(diǎn),貨架必須避免那些在距離其表面2.54cm處能測(cè)量到場(chǎng)強(qiáng)大于800V/cm電場(chǎng)的不必要材料存在。對(duì)指定EPA內(nèi)貨架單元測(cè)量的電阻的合格范圍見4.13表1的規(guī)定。如果存儲(chǔ)區(qū)域或貨架單元不符合這些規(guī)定,ESDS裝置必須在放置到貨架上前首先存放到ESD防護(hù)包裝內(nèi),禁止ESDS裝置直接與沒有接地的貨架或櫥柜接觸。推車Trolleys運(yùn)送未保護(hù)的ESDS裝置的推車僅允許在具有ESD防護(hù)地面的EPA內(nèi)使用,其表面必須是由導(dǎo)電的或靜電耗散型材料制成的。所有推車經(jīng)輪子、鏈條或它們的組合與大地連接。指定具有ESD防護(hù)地面的EPA內(nèi)使用的推車測(cè)量的電阻的合格范圍見4.13表1的規(guī)定,推車和所有可移動(dòng)設(shè)備均應(yīng)包含在規(guī)定的定期測(cè)量的ESD防護(hù)內(nèi)容中。如果選擇輪子接地的方法,進(jìn)行的測(cè)量應(yīng)保證輪子與貨架的框架之間具有導(dǎo)電連續(xù)性。如果推車不符合這些規(guī)定,ESDS裝置在放置到推車上前首先存放到具有ESD防護(hù)的包裝中。臨時(shí)使用后,推車應(yīng)從EPA中移出,因?yàn)椴环螮SD控制程序。使用鏈條系在推車上可以替代導(dǎo)電輪子,但這不是優(yōu)選方法,因?yàn)樗峁┑膶?duì)地連接不是可靠接地。濕度Humidity較高濕度會(huì)減小材料的摩擦電荷,這是因?yàn)闈駳馓峁┝藢?dǎo)電性幫助電荷的耗散,與潮濕的材料相比較干燥材料的接觸和分開會(huì)產(chǎn)生大量電荷。EPA濕度條件較低時(shí)甚至?xí)鼓承〦SD防護(hù)材料無效或使其變成靜電電荷源。EPA的相對(duì)濕度應(yīng)維持在40%以上,濕度低于40%時(shí)會(huì)增加絕緣體產(chǎn)生靜電電荷的風(fēng)險(xiǎn)。如果濕度不能維持在30%以上,應(yīng)停止工作直至滿足該條件。建議濕度上限為70%但不強(qiáng)制,這利于防止電子裝置和組件金屬部分的腐蝕效應(yīng)。相對(duì)濕度必須作為ESD控制程序?qū)徍吮槐O(jiān)視和檢查。包裝和存儲(chǔ)PackagingandStorage在所有生產(chǎn)制造階段,ESD防護(hù)包裝用于存儲(chǔ)、運(yùn)輸和保護(hù)ESDS裝置。ESD防護(hù)包裝有3個(gè)關(guān)鍵特性:抗靜電、有阻抗和屏蔽??轨o電或低電荷,材料降低電荷聚結(jié)量,因此能限制危害ESDS裝置的靜電電荷的量。電阻材料特性確定了包裝是否是導(dǎo)電的、靜電耗散或絕緣的,包裝絕緣較低提供了電荷從接地包裝耗散的通路,包裝根據(jù)表面電阻分級(jí)。靜電屏蔽特性能防止電場(chǎng),或防止靜電對(duì)保護(hù)的裝置放電。通常,保護(hù)ESDS裝置的屏蔽材料由導(dǎo)電和非導(dǎo)電材料組成。ESD防護(hù)包裝涵蓋了所有ESD包裝的3個(gè)關(guān)鍵特性,抗靜電ESD包裝由靜電耗散或?qū)щ姴牧现瞥桑峁╈o電屏蔽保護(hù)。用于ESDS裝置的包裝應(yīng)避免物理危害,如穿孔或磨損。專供ESD保護(hù)的任何包裝在EPA內(nèi)部連續(xù)使用的依據(jù)是被檢查確認(rèn)沒有失去其ESD防護(hù)特性,包裝失去其保護(hù)特性的典型實(shí)例是粉紅色抗靜電泡沫材料,有時(shí)被用于放入導(dǎo)電的箱子里存放獨(dú)立的電子電路板。紙、塑料和聚苯乙烯泡沫塑料(除非作為ESD安全特別標(biāo)識(shí))不允許與ESDS裝置一起存放在同一個(gè)容器內(nèi)?;谙M贓PA內(nèi)的移動(dòng),EPA內(nèi)所有類型的包裝和容器的使用必須經(jīng)ESD主管批準(zhǔn)。在EPA內(nèi)部InsideEPA在EPA內(nèi),用于ESDS裝置的包裝應(yīng)盡量小、抗靜電和由靜電耗散或?qū)щ姴牧现瞥伞H魏蝺?nèi)裝ESDS裝置的外包裝應(yīng)在指定的EPA外面打開和移出,直至ESD安全包裝被暴露。因?yàn)槟承┩獍b是由對(duì)EPA內(nèi)部的ESDS裝置有害的材料制成的。其余的包裝必須由可靠接地的人員在EPA工作站打開。ESDS裝置的容器或包裝應(yīng)先放在接地工作站的工作面上,讓已經(jīng)產(chǎn)生的電荷在裝入ESDS裝置以前耗散掉。在EPA外部OutsideEPA不管有何種原因不允許將沒有合適可靠ESD防護(hù)包裝的ESDS裝置移出EPA,在EPA外面ESDS裝置不允許從合適可靠的ESD保護(hù)包裝中取出。封閉導(dǎo)電的盒子和灰色金屬化的屏蔽袋是合適可靠ESD防護(hù)包裝之一。用于在EPA外面存儲(chǔ)ESDS裝置的導(dǎo)電盒必須用蓋子完全關(guān)閉,盒子起法拉第籠的作用,圍繞器件周圍有一個(gè)導(dǎo)電層。用蓋子蓋住盒子防止靜電電荷穿透到裝置內(nèi)部。器件卷筒不是合適的ESD防護(hù)包裝,木架或敞開的導(dǎo)電的盤也不是合適的ESD防護(hù)包裝。培訓(xùn)Training無論是固定的或臨時(shí)的,進(jìn)入和在EPA工作的所有人員和員工在進(jìn)入EPA之前都必須經(jīng)ESD控制程序的培訓(xùn),包括定崗人員、維修人員和清潔人員。培訓(xùn)記錄必須保存在ESD主管處,記錄應(yīng)列出參加培訓(xùn)人員的姓名、培訓(xùn)日期,包括客觀評(píng)價(jià)本期培訓(xùn)通過或未通過的標(biāo)準(zhǔn)。允許多種培訓(xùn)形式包括筆試、電子多選題或老師的問答形式。所有通過考試的人員的考試記錄保存在培訓(xùn)記錄中。如果評(píng)價(jià)未能通過考試,該受訓(xùn)人員將參加補(bǔ)充培訓(xùn)和重新參加筆試考試。允許根據(jù)受訓(xùn)人崗位,采用不同等級(jí)的培訓(xùn)。例如要求對(duì)MT固定員工全面培訓(xùn),結(jié)束時(shí)進(jìn)行正式考試。而對(duì)參觀者和臨時(shí)員工由ESD主管提供一個(gè)附帶說明的“可以做和不可以做”的簡易說明。再培訓(xùn)間隔:1至2年必須對(duì)所有接受過培訓(xùn)的人員和員工進(jìn)行再培訓(xùn)。在再培訓(xùn)時(shí)也可以根據(jù)反饋的建議、問題和行動(dòng)內(nèi)容改進(jìn)ESD控制程序。ESD防護(hù)設(shè)備測(cè)量ESDProtectiveEquipmentMeasurements下表給出各種ESD防護(hù)內(nèi)容其特性必須滿足的要求限值。表1:ESD防護(hù)設(shè)備要求的限值內(nèi)容要求限值描述最小檢查周期參考

標(biāo)準(zhǔn)責(zé)任人外衣<100GΩ袖口到袖口每年[1],[6]部門ESD主管工作面1MΩ<R<1GΩ對(duì)地電阻每年[1],[2]部門ESD主管腕帶系統(tǒng)<35MΩ使用測(cè)試儀和記錄每天[1]使用人地板(地面)1MΩ<R<1GΩ對(duì)地電阻每年[2]HRESD主管地板-鞋系統(tǒng)<35MΩ使用測(cè)量儀器并記錄每天[1],[2]使用人推車和貨架<1GΩ對(duì)地電阻每年[1],[2]部門ESD主管椅子<1GΩ對(duì)地電阻每年[1],[2]部門ESD主管手提工具(包括電池供電和氣動(dòng)工具)<1TΩ對(duì)地電阻每年[2]部門ESD主管電動(dòng)工具<20Ω當(dāng)ESD主管提供烙鐵結(jié)構(gòu)證據(jù)證明烙鐵頭不會(huì)達(dá)到危險(xiǎn)電壓等級(jí)時(shí),允許烙鐵通過一個(gè)1M當(dāng)ESD主管提供烙鐵結(jié)構(gòu)證據(jù)證明烙鐵頭不會(huì)達(dá)到危險(xiǎn)電壓等級(jí)時(shí),允許烙鐵通過一個(gè)1M的電阻接地與ESDS觸及端對(duì)地每年[2]部門ESD主管離子中和<20s從1000V放電至100V的時(shí)間每年[7]部門ESD主管<±50V平衡電壓偏差每年[7]部門ESD主管ESD防護(hù)設(shè)備的測(cè)量應(yīng)按表1給出的時(shí)間周期最低要求定期進(jìn)行,測(cè)量電阻值的方法應(yīng)按ESDTR53-01-06[4]規(guī)定的試驗(yàn)方法進(jìn)行。測(cè)量結(jié)果的記錄應(yīng)保存在ESD主管處。如果某個(gè)項(xiàng)目不符合規(guī)定的值,應(yīng)將其移出并改進(jìn)、報(bào)廢或給出警示標(biāo)簽對(duì)該不符合項(xiàng)標(biāo)識(shí)。審核Audit過程監(jiān)視的系統(tǒng)審核對(duì)保證ESD控制的成功起關(guān)鍵作用,審核以本程序的規(guī)程和綱要為基礎(chǔ),審核將幫助追蹤趨勢(shì)、指出需要改進(jìn)的范圍。審核由記錄ESD控制程序文件不符合、整改落實(shí)和不符合改進(jìn)的驗(yàn)證組成。審核時(shí),立即改正違反ESD控制程序的內(nèi)容,任何遺留不符合項(xiàng)應(yīng)給予緊急關(guān)注,任何由審核員提出的改進(jìn)措施是對(duì)ESD主管的建議(如果不是同一個(gè)人),ESD主管采取必要的糾正措施來響應(yīng)。系統(tǒng)需要跟蹤和關(guān)閉由ESD控制程序?qū)徍税l(fā)出的行動(dòng)項(xiàng)目,并監(jiān)視員工違反ESD控制程序的行為。每項(xiàng)審核后,計(jì)算不符合數(shù)并按類別分開,跟蹤不符合傾向幫助確定會(huì)再發(fā)生的事件和幫助過程改進(jìn)。測(cè)量儀器MeasuringInstruments需要用某些測(cè)量儀器保證EPA中ESD保護(hù)的真實(shí)性,列在本章節(jié)的這些內(nèi)容是為了符合審核和測(cè)量ESD防護(hù)設(shè)備電阻是否符合本ESD控制導(dǎo)則的最小要求。EPA維護(hù)的公共測(cè)量中需要使用靜電場(chǎng)強(qiáng)儀,該儀器用于測(cè)量物體上靜電電荷的場(chǎng)強(qiáng)。靜電場(chǎng)強(qiáng)儀可以用于確定是否具有潛在ESD風(fēng)險(xiǎn)的項(xiàng)目或過程。在EPA中測(cè)量ESD防護(hù)項(xiàng)目時(shí)需要使用寬量程電阻表,這是為了保證檢測(cè)項(xiàng)電阻落在ESD國際標(biāo)準(zhǔn)建議中給出的范圍內(nèi)。電阻表的上限值至少必須達(dá)到1012Ω,電阻表的電阻范圍應(yīng)能適用于10V和100V電壓的被試材料,能用于點(diǎn)對(duì)點(diǎn)的電阻(表面電阻)測(cè)量和對(duì)地電阻的測(cè)量。直流歐姆表用于檢定接地連接(接地連續(xù)性檢查),歐姆表應(yīng)能測(cè)量0.1Ω至1MΩ±20%的電阻,開路電壓至少等于1.5V,該儀器用于測(cè)量測(cè)試項(xiàng)接地點(diǎn)至公共接地點(diǎn)之間接地電纜的電阻,以及接地點(diǎn)至交流設(shè)備接地點(diǎn)電阻。該測(cè)量值應(yīng)小于1Ω(除非在接地電纜中有電阻器)。其次測(cè)量公共接地端至交流設(shè)備地,該值也應(yīng)小于1Ω。所有測(cè)量設(shè)備必須定期校準(zhǔn),超過校準(zhǔn)日期的測(cè)量儀器不應(yīng)用于任何測(cè)量,ESD主管有責(zé)任確保測(cè)量儀器在使用前已經(jīng)正確校準(zhǔn)。附錄Appendix縮略詞AbbreviationsAC: 交流電DC: 直流電EPA: 靜電放電防護(hù)區(qū)ESD: 靜電放電ESDS: 靜電放電敏感HBM: 人體模式MT: XXMTGE: METTLERTOLEDOGlobalElectronicsPCB: 印刷電路板Q&A: 問和答定義Definitions交流設(shè)備接地ACEquipmentGround: 接地點(diǎn)在連接在設(shè)備的接地導(dǎo)體上。在單相120VAC或230VAC供電系統(tǒng)設(shè)備端接地導(dǎo)體是第3個(gè)電纜接頭的安裝端??轨o電的(低電荷)Antistatic(LowCharging):材料特性阻止摩擦起電(見摩擦起點(diǎn)定義)。注:相對(duì)于電阻系數(shù)或電阻,材料的抗靜電特性不是必須的。輔助接地AuxiliaryGround: 用于其它通用設(shè)備接地提供的獨(dú)立的補(bǔ)充接地體。電荷衰減ChargeDecay: 凈靜電電荷的減小和(或)中和。公共接地點(diǎn)CommonPointGround: 已經(jīng)接地的裝置或安裝一個(gè)或多個(gè)接地(工作面、腕帶等)的地方。導(dǎo)電材料/導(dǎo)體ConductiveMaterial/Conductors:反映材料傳到電荷至地的能力,材料的表面電阻系數(shù)小于105/正方形或單位體積電阻系數(shù)小于104cm。靜電防護(hù)區(qū)域EPA: 一個(gè)指定的地方,必要的工具、材料和設(shè)備能控制靜電的等級(jí)至對(duì)ESDS的危害最小。ESD靜電放電: 由高的靜電場(chǎng)電荷快速轉(zhuǎn)移感應(yīng)。通常,電荷流動(dòng)是當(dāng)兩個(gè)帶不同靜電位物體相互靠近時(shí)產(chǎn)生火花。ESD防護(hù)材料: 材料具有下面一種或多種能力:減小靜電的產(chǎn)生,在其表面或體內(nèi)耗散靜電電荷,或提供避免ESD或靜電場(chǎng)的危害。ESD防護(hù)工作站: 由裝配了必要防護(hù)材料和設(shè)備組成的一個(gè)區(qū)域,在此區(qū)域能限制對(duì)ESDS裝置的危害。ESD防護(hù)包裝:。 具有該屬性的包裝如同一堵屏障或外殼限制電流的通路和減小來自靜電放電的電磁場(chǎng)影響。ESDS裝置: ESD敏感裝置,裝置對(duì)靜電放電敏感。裝置可以是任何型式的物體,如器件、組件、裝配件或最終產(chǎn)品。電場(chǎng)屏蔽材料ElectricFieldShieldingMaterials:材料表面電阻小于103Ω。靜電場(chǎng)ElectrostaticField: 因空間電荷的存在產(chǎn)生的吸引或排斥力。設(shè)備接地體EquipmentGroundingConductor:導(dǎo)體,用于連接設(shè)備非載流金屬部件、通道和其它外殼至主設(shè)備接地總線。接地Ground: 電路或設(shè)備與大地間的導(dǎo)電連接,位置或部分電流位于零的地電位。接地點(diǎn)GroundablePoint: 指定的連接位置或集合,用于從ESD防護(hù)項(xiàng)至電氣接地的電氣連接。硬接地HardGround: 通過電線或其它導(dǎo)體連接至地,對(duì)地具有很小或幾乎沒有電阻(阻抗)。絕緣材料/絕緣體InsulativeMaterial/Insulators:材料的表面電阻系數(shù)大于1012/正方單位或體電阻系數(shù)大于1011Ωcm,與導(dǎo)體相反阻止電子流動(dòng),接地的絕緣材料不會(huì)允許丟失電荷。離子Ionization: 通過處理中性原子或分子得到正的或負(fù)的空氣離子。人體接地裝置PersonnelGroundingDevice: ESD防護(hù)裝置設(shè)計(jì)成將在人體上聚結(jié)任何靜電電荷放接地。注:人體接地裝置的接地電阻必須足夠大,避免引起觸電危險(xiǎn)。RTGResistanceToGround: 接地電阻,對(duì)地之間測(cè)量的電阻。RTTPointtopointresistance: 點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻,兩點(diǎn)間穿過表面的電阻。靜電控制StaticControl: 采取措施減小ESD影響的專業(yè)術(shù)語。靜電耗散材料StaticDissipativeMaterial: 反映材料傳導(dǎo)電荷至地的能力,材料表面電阻系數(shù)在105到1012Ω/正方單位之間,或體電阻系數(shù)在104到1011Ωcm之間。表面電阻SurfaceResistance: 直流電壓與流經(jīng)兩個(gè)規(guī)定結(jié)構(gòu)電極電流的比值,電極與材料的同一邊相觸及。該測(cè)量值以Ω表示。表面電阻系數(shù)SurfaceResistivity: 對(duì)流過表面的電流,每單位長度直流電壓下降與表面電流的單位寬度的比值。事實(shí)上,表面電阻系數(shù)是正方形兩個(gè)對(duì)邊之間的電阻,與正方形大小或它的量綱單位無關(guān);表面電阻系數(shù)用Ω/正方單位表示。摩擦起電Triboelectriccharging: 當(dāng)兩個(gè)材料接觸或相互摩擦然后分開就會(huì)產(chǎn)生靜電電荷。體電阻系數(shù)Volumeresistivity: 每單位厚度直流電壓與通過材料每單位面積的電流量的比值,體電阻系數(shù)用Ωcm表示。相關(guān)文件清單ListofRelatedDocuments下面的文件不是該準(zhǔn)則的內(nèi)容,但能幫助ESD控制程序的制訂。[1]ANSI/ESDS20.20-2007ESDAssociationStandardfortheDevelopmentofanESDControlProgramfor–ProtectionofElectricalandElectronicParts,AssembliesandEquipment(ExcludingElectricallyInitiatedExplosiveDevices)[2]ANSI/ESDTR20.20ASDAssociationTechnicalReportfortheDevelo

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