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112表8.2公制的無塵室等級的空氣傳播的微粒子數(shù)目（美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)USFederalStandard209E）

2表8.2公制的無塵室等級的空氣傳播的微粒子數(shù)目334圖8.1空氣淨(jìng)化系統(tǒng)

4圖8.1空氣淨(jìng)化系統(tǒng)5566778圖8.2

HEPA過濾器的概略圖8圖8.2HEPA過濾器的概略圖9910圖8.3以雷射測試ULPA過濾器的效率

10圖8.3以雷射測試ULPA過濾器的效率11圖8.4以凝縮核法測微粒子濃度的概略圖

11圖8.4以凝縮核法測微粒子濃度的概略圖12圖8.5粒子捕集的方法12圖8.5粒子捕集的方法13圖8.6空氣過濾器之捕集效率13圖8.6空氣過濾器之捕集效率141415圖8.7三種常用的過濾器構(gòu)造，(a)分離器式過濾器，(b)小型摺式過濾器，(c)無分離器式過濾器15圖8.7三種常用的過濾器構(gòu)造，(a)分離器式過濾器，(16(續(xù))圖8.7三種常用的過濾器構(gòu)造，(a)分離器式過濾器，(b)小型摺式過濾器，(c)無分離器式過濾器16(續(xù))圖8.7三種常用的過濾器構(gòu)造，(a)分離器式過濾17圖8.8真空泵的分類

17圖8.8真空泵的分類18圖8.9擴散泵

18圖8.9擴散泵19圖8.10路茲泵的概路圖

19圖8.10路茲泵的概路圖20圖8.11路茲泵的抽氣原理20圖8.11路茲泵的抽氣原理21圖8.12渦輪分子泵

21圖8.12渦輪分子泵22圖8.13冷凍式幫浦22圖8.13冷凍式幫浦23圖8.14氣體的平衡蒸氣壓

23圖8.14氣體的平衡蒸氣壓24圖8.15空氣壓縮機的概略圖

24圖8.15空氣壓縮機的概略圖2525262627圖8.16空氣乾燥機的概略圖

27圖8.16空氣乾燥機的概略圖282829圖8.17安全輸送系統(tǒng)

29圖8.17安全輸送系統(tǒng)30圖8.18

(a)西貝克效應(yīng)，(b)皮爾第效應(yīng)

30圖8.18(a)西貝克效應(yīng)，(b)皮爾第效應(yīng)31圖8.19機械式（壓縮式）冷凍系統(tǒng)之作用原理

31圖8.19機械式（壓縮

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