一種MEMS平面線圈電鍍方法_第1頁
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文檔簡介

一種MEMSME（微電子機械系統(tǒng)）常廣泛。其中，平面線圈是其中一個重要的組件。本論文介紹了一種基于電沉積的平面線圈制備方法，該方法使用化學藥品和電解質(zhì)進行電沉積，可以在基板上制造具有高性能的平面線圈，從而有效地解決了傳統(tǒng)的平面線圈制造方法存在的一些問題。實驗結(jié)果表明，使用該方法可以MES應用的進一步發(fā)展提供了重要的技術支持。在微電子機械系統(tǒng)（ME）中，平面線圈是非常重要的組件，常用于傳感器、控制器和執(zhí)行器等方面。傳統(tǒng)的平面線圈制造方法包括光刻、電子束光刻和微影技術等，雖然這些方法可以實現(xiàn)高精度的制造，但制ECF過程中，基板通過電解液接地，作為陽極。此外，涂有銅的ECF過程中，電解液中的銅離子會逐漸沉MEMS中，電沉積技術被用于增強微機電系統(tǒng)的電電解液：銅離子通過實驗，我們制造了一系列電沉積平面線圈樣品。實驗結(jié)果表明，使用該方法可以制造出具有高精度、高靈敏度和高穩(wěn)定性的平面線圈。MEMS應用的進一步發(fā)展提供了重要的技

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