中華人民共和國國家計(jì)量檢定規(guī)程2007:-02-28發(fā)布2007-08-28實(shí)施-國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布o(jì)fAutocollimators1范圍 2引用文獻(xiàn) 3概述 4計(jì)量性能要求 4.1回程誤差 4.2光電瞄準(zhǔn)時(shí)靈敏度調(diào)節(jié)引起的指示表指零變化 4.3光電自準(zhǔn)直儀的示值漂移 4.4測量重復(fù)性(標(biāo)準(zhǔn)差) 4.5自準(zhǔn)直光束的平行度對示值的影響 4.6光電自準(zhǔn)直儀鑒別閾 4.7示值誤差 5通用技術(shù)要求 5.2各部分相互作用 6計(jì)量器具控制 6.1檢定條件 6.2檢定項(xiàng)目 6.3檢定方法 6.4檢定結(jié)果的處理 6.5檢定周期 附錄A自準(zhǔn)直儀鑒別閾的檢定記錄示例 附錄B2級自準(zhǔn)直儀示值誤差檢定結(jié)果處理示例 附錄C3級自準(zhǔn)直儀示值誤差檢定示例 附錄D3級平直度檢查儀示值誤差檢定結(jié)果處理示例 附錄E用激光小角度測量儀檢定1級自準(zhǔn)直儀示值誤差的檢定記錄示例 附錄F光電自準(zhǔn)直儀用光學(xué)角規(guī)檢定方法 附錄G檢定證書和檢定結(jié)果通知書(內(nèi)頁)格式 1自準(zhǔn)直儀檢定規(guī)程2引用文獻(xiàn)本規(guī)程引用下列文獻(xiàn)和數(shù)顯式，其外形如圖1、圖2所示，其視場如圖3所示。圖1光學(xué)自準(zhǔn)直儀6—俯仰高低調(diào)整鈕；7—測微鼓輪；8—左右水平調(diào)整鈕對于分度值以mm/m為單位表示的自準(zhǔn)直儀亦稱為平直度檢查儀，其外形結(jié)構(gòu)如圖4所示，其視場如圖5所示。按分度值將自準(zhǔn)直儀分為三級，1級的分度值為；0.005mm/mo21-瞄準(zhǔn)(定位)用刻線；2一讀數(shù)分劃板刻度；3—十字像2級自準(zhǔn)直儀的回程誤差不超過1個(gè)分度；3級不超過0.5個(gè)分度。2級指針式光電自準(zhǔn)直儀在整個(gè)靈敏度調(diào)節(jié)范圍內(nèi)引起的指示表指零變化不超過0.2”34.4測量重復(fù)性(標(biāo)準(zhǔn)差)3級自準(zhǔn)直儀的測量重復(fù)性不超過0.2個(gè)分度值。4.6光電自準(zhǔn)直儀鑒別閾2級自準(zhǔn)直儀：任意1測量范圍內(nèi)其示值誤差不超過0.5”,10'內(nèi)其示值誤差不超3級自準(zhǔn)直儀：不同規(guī)格的自準(zhǔn)直儀其要求不同，具體要求見表1。自準(zhǔn)直儀的示值誤差應(yīng)不超過表1的要求。儀器分度值類型1級2級3級0.01”0.5”、1”示值誤差0"~±10"0.1”—————0“~±20”0.2”任意1'0.5”1” 3”— ——任意100分度1.5(格)1.5(格)600分度————1000分度—5通用技術(shù)要求5.1外觀5.1.1新制儀器的鍍層不應(yīng)有脫落和斑點(diǎn)，漆面不應(yīng)有碰傷、劃痕及顯著的顏色不均45.1.4自準(zhǔn)直儀應(yīng)標(biāo)有分度值、制造廠名或廠標(biāo)、出廠編號，使用中和修理后的自準(zhǔn)5.2各部分相互作用儀器各活動部分的移動和轉(zhuǎn)動應(yīng)平穩(wěn)、工作可靠、不應(yīng)有卡住和突跳現(xiàn)象。自準(zhǔn)直儀分劃板指標(biāo)線與十字線像一條線的平行度不應(yīng)有目視可見的傾斜。6.1.1.2被檢儀器和檢定工具在檢定室內(nèi)平衡溫度的時(shí)間不小于4h。預(yù)熱30min后進(jìn)行檢測。見表2。平板1級平面反射鏡———小角度檢查儀量塊三等或0級激光小角度測量儀1級光學(xué)角規(guī)1等檢驗(yàn)平尺1級專用光鬧儀器檢定項(xiàng)目列于表3。表3檢定項(xiàng)目表序號使用中檢驗(yàn)外觀+十+2各部分相互作用+++3回程誤差十十4光電瞄準(zhǔn)時(shí)由于調(diào)節(jié)靈敏度引起指零的變化+5表3(續(xù))序號使用中檢驗(yàn)5光電自準(zhǔn)直儀示值的漂移+十6測量重復(fù)性+十+7光電自準(zhǔn)直儀鑒別閾十—8示值誤差十十9自準(zhǔn)直光束的平行性對示值的影響十注：表中“+”表示應(yīng)檢項(xiàng)目，“-”表示可不檢項(xiàng)目，6.3檢定方法6.3.1外觀6.3.2各部分的相互作用6.3.3(機(jī)械結(jié)構(gòu))回程誤差將被檢儀器放在1級平板上，在物鏡前放一平面反射鏡，調(diào)整儀器找到十字像后的平均值為回程誤差，結(jié)果應(yīng)符合4.1的要求，檢定應(yīng)在測微器鼓輪的始、中、末三個(gè)6.3.4用光電瞄準(zhǔn)時(shí)靈敏度調(diào)節(jié)引起指示表指零變化符合4.2的要求。6.3.5光電自準(zhǔn)直儀示值漂移將被檢儀器放在平板上，在距自準(zhǔn)直儀物鏡前不超過100mm處，放置不小于通光顯示值調(diào)整在零值附近，連續(xù)工作2h,觀察指示表指針偏移量或數(shù)字變化量即為光電自準(zhǔn)直儀示值漂移，結(jié)果應(yīng)符合4.3的要求。上讀取數(shù)值；對數(shù)顯式自準(zhǔn)直儀應(yīng)用一個(gè)擋光板檔一下光束，待數(shù)字穩(wěn)定后并讀取數(shù)值。重復(fù)測量10次，用貝塞爾公式計(jì)算出的實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)差，其結(jié)果應(yīng)符合4.4的要求。6.3.7自準(zhǔn)直光束的平行度對示值的影響將被檢儀器放在平板上，在物鏡前300mm處放置平面反射鏡，再在盡量靠近物鏡6數(shù)值，然后使此光闌孔中心偏離物鏡孔中心，其偏移量為10mm,測量工作應(yīng)使專用光闌孔中心相對物鏡孔中心向上、下、左、右四個(gè)位置分別進(jìn)行測量，瞄準(zhǔn)讀數(shù)作為測得值，將測得值與起始值之差絕對值的最大值作為檢定結(jié)果，結(jié)果應(yīng)符合4.5的要求。值為a?,同時(shí)記取小角度測量儀顯示值為s?,依序測量至α?,s4。按下列公式進(jìn)行a?-αo=b51-so=C?α?-α?=b?S?-s?=C?b?-c?=d?b?-c?=d?b?-c?=d?b?-c?=d?以上檢定應(yīng)在自準(zhǔn)直儀全程中的2個(gè)不同位置進(jìn)行。取最大差值為檢定結(jié)果，結(jié)果應(yīng)符合4.6的要求。檢定示例見附錄A。在小角度檢定儀上用3等或0級量塊檢定。用不確定度不低于光學(xué)計(jì)的指示計(jì)定位。首先將被檢儀器安置在小角度檢查儀的一側(cè)(但必須在同一基體上),同時(shí)，在相線方向(其結(jié)構(gòu)如圖6所示)。用3等或0級量塊的尺寸差產(chǎn)生標(biāo)準(zhǔn)角度。先在一指示7表B4中自準(zhǔn)直儀在3'26.3“這一點(diǎn)“各點(diǎn)對零點(diǎn)的讀數(shù)差”為3'26.5”,這一點(diǎn)的兩個(gè)數(shù)據(jù)差為0.3”,將0.3”平差到零點(diǎn)以后的10個(gè)點(diǎn)，每一點(diǎn)為0.03”,由于示值誤差檢定是誤差累積的過程，第一點(diǎn)“各點(diǎn)對零點(diǎn)的讀數(shù)差”為20.6”,加上0.03”,數(shù)據(jù)為20.63”,保留小數(shù)點(diǎn)后一位數(shù)字，平差后的數(shù)據(jù)為20.6”,第二點(diǎn)“各點(diǎn)對零點(diǎn)的讀數(shù)差”為41.2”,加上兩倍的0.03”,數(shù)據(jù)為41.26”,保留小數(shù)點(diǎn)后一位數(shù)字，平差后的數(shù)據(jù)為41.3”,對第三點(diǎn)的數(shù)據(jù)應(yīng)加上三倍的0.03”,依次類推，到最后一點(diǎn)的平差后檢定工作應(yīng)在整個(gè)測量范圍內(nèi)進(jìn)行。按被檢儀器分度值及測量范圍的不同，得到不同組的測量值(分度值為0.2”的自準(zhǔn)直儀需用平差方法處理結(jié)果數(shù)值),把前組誤差加入后組內(nèi)，得到對零位的累積誤差。自準(zhǔn)直儀的示值誤差是以最大與最小值之差確定，結(jié)果應(yīng)符合4.7的要求。檢定間隔為20”(或20分度)。使用量塊尺寸(mm):1.00(二塊),1.05,1.101.15,1.20,1.25,1.30,1.35,1.40,1.45,1.50共12塊。標(biāo)準(zhǔn)小角度按下式計(jì)算：(弧度)式中：△H——為所用量塊尺寸與對零量塊尺寸的差值。如：用1.05及1.00量塊，則：(弧度)2級自準(zhǔn)直儀示值誤差檢定結(jié)果處理示例見附錄B。3級自準(zhǔn)直儀示值誤差檢定結(jié)果處理示例見附錄C。3級平直度檢查儀示值誤差檢定結(jié)果處理示例見附錄D。6.3.9.21級自準(zhǔn)直儀示值誤差的檢定檢定裝置為激光小角度測量儀，其檢定示意圖如圖7所示。首先，將激光小角度測量裝置(以下簡稱小角度測量儀)調(diào)整到工作狀態(tài)，其中回轉(zhuǎn)JJG202—20078β?=(a-a?)-(S-s?)96.5檢定周期檢定周期為1年。小角度測量儀結(jié)果自準(zhǔn)直儀被測位置(")相鄰間隔差小角度測量儀讀數(shù)值()相鄰間隔差相鄰間隔差被測值—標(biāo)準(zhǔn)值359.99995359.999930.00002+0.03359.999880.00005-0.08359.999850.00003+0.01359.999830.00002+0.01359.99774359.997720.00002+0.03359.997670.00005-0.08359.997650.00002+0.03359.997610.00004-0.02附錄B量塊尺寸按自準(zhǔn)直儀讀數(shù)各點(diǎn)對零點(diǎn)的讀數(shù)差平差后標(biāo)準(zhǔn)角度誤差累積誤差正反平均0.5”0.6”0.6”0.0”0.0”0.0”0.0”0.0”21.2”20.6”20.6”20.6”0.0”41.7”41.8”41.8”41.2”41.3”0.0”0.0”1'2.5”1'1.8”0.0”1'23.1”1'22.6”1'22.7”+0.2”+0.2”1'43.6”1'43.6”1'43.0”1'43.2”+0.1”2'4.4”2'4.4”2'3.8”2'3.8”+0.2”+0.2”2'25.1”2'25.0”2'24.4”2*24.4”+0.2”2'45.6”2'45.5”2'45.6”+0.2”+0.2”36.2”3'6.2”3'5.6”3'5.9”3'5.6”+0.3”+0.3“3'26.9”3'26.8”3'26.8”3'26.2”3'26.5”3'26.3”+0.2”量塊尺寸按自準(zhǔn)直儀讀數(shù)各點(diǎn)對零點(diǎn)的讀數(shù)差平差后標(biāo)準(zhǔn)角度誤差累積誤差正反平均3'6.8”3'26.7”3'26.8”0.0”0.0”0.0”+0.2”3'7.4”3'47.4”3'47.4”20.6”+0.2”4'7.9”4'8.0”4'8.0”41.2”41.2”-0.1”4'28.6”4'28.5”4'28.6”1'1.8”1'1.8”-0.1”4'49.1"4'49.2”4'49.2”1'22.4”1'22.5”-0.1”5'9.7”5'9.6”5'9.6”1'42.8”1'42.8”-0.3”-0.1”5'30.4”5'30.4”2'3.6”2'3.8”-0.1”5'51.0”5'51.0”2'24.2”-0.1”6'11.4”6'11.3”6'11.4”2'45.0”-0.3“”6'32.0”6'32.1”3'5.2”3'5.6”-0.3”-0.1”6'52.6”6'52.7”3'25.8”326.3”-0.4”量塊尺寸按自準(zhǔn)直儀讀數(shù)各點(diǎn)對零點(diǎn)的讀數(shù)差平差后標(biāo)準(zhǔn)角度誤差累積誤差正反平均6'52.5”6'52.6”6'52.6”0.0”0.0”0.0”0.0”-0.2”7'13.1”7'13.0”7'13.0”20.4”20.4°20.6”-0.2”-0.4”7'33.7”7'33.6”7'33.6”41.0”41.0"41.3”-0.3”-0.5”7'54.3”7'54.4”7'54.4”1'1.8”1'1.9”-0.1”-0.3"8'14.9”8'14.8”8'14.8”1'22.2”1'22.2”1'22.5”-0.3”-0.5”8'35.4”8'35.5”8'35.4”1'42.8”1'42.8”1'43.1”-0.3”-0.5”8'46.0”8'46.1”8'46.0”2'3.4”2'3.3*2'3.8”-0.5”-0.7”9'16.6”9'16.8”9'16.7”2'24.1”2'24.0*2'24.4”-0.4”-0.6”9'37.3”9'37.4”9'37.4*2'44.8”2'44.7”2'45.0”-0.3"-0.5”9'57.8”9'57.7”9'57.8"3'5.3”3'5.2”3'5.6”-0.4”-0.6”量塊尺寸按自準(zhǔn)直儀讀數(shù)對零點(diǎn)的讀數(shù)差兩相鄰差讀數(shù)標(biāo)準(zhǔn)角度累積誤差正反正反平均0.1”0.2”0.1”0.1”0.0”0.0”3'26.6*3'26.5”3'26.5”3'26.6”3'26.6”3'26.5”3'26.5”3'26.3”+0.2*6'52.4”6'52.5”6'52.5”6'52.5”6'52.5”6'52.4”3'25.9”6'52.5°-0.2”9'57.7"9'57.7”9'57.5”9'57.7”9'57.7”9'57.6”3'5.2"9'58.2-0.6”從表中可得0～10'內(nèi)的示值誤差為：|+0.3”|+|-0.7”]=1.0附錄C量塊尺寸按自準(zhǔn)直儀讀數(shù)各點(diǎn)對零點(diǎn)的讀數(shù)差標(biāo)準(zhǔn)角度誤差累積誤差正反平均0.2”0.4”0.3”0.0”0.0”0.0”20.4”20.9”20.6”20.2”20.6”-0.4”-0.4”41.5”42.0”41.8”41.5”+0.2”+0.2”1'1.6”1'1.8”1'1.9”-0.4”-0.4”1'22.6”1'23.0”1'22.8”1'22.5”1'43.4”1'43.8”1'43.6”1'43.3”+0.2”+0.2”2'4.5”+0.6”+0.6”2'25.1”2'25.5”2'25.3”2'25.0”2'24.4”+0.6”245.4”2'45.8”2'45.6”2'45.3”+0.3”3'6.2”3'6.4”3'5.6”+0.5”+0.5”3'26.7”3'27.2”3'27.0”3'26.7”3'26.3”+0.4”+0.4”量塊尺寸按自準(zhǔn)直儀讀數(shù)各點(diǎn)對零點(diǎn)的讀數(shù)差標(biāo)準(zhǔn)角度誤差累積誤差正反平均3'27.2"3'27.6”3'27.4”0.0”0.0”0.0”+0.4”3'47.7”3'48.2"3'48.0”20.6”20.6”+0.4”4'8.5”4'9.0”4'8.8”41.4”41.3”+0.1”+0.5”4'29.8”4'30.0”4'29.9”1'2.5”+0.6”+1.0”4'50.5”4'50.8”4'50.6”1'23.2”+0.7”+1.1"5'11.2”5'11.2”5'11.2"1'43.8”+0.7”+1.1"5'32.4”5'32.2”5'32.3"2'4.9"2'3.8"+1.1”+1.5”5'52.8”5'52.6”5'52.7”2'25.3”2'24.4*+0.9”+1.3"6'13.7”6'13.5”6'13.6”2'46.2”2'45.0”+1.2”+1.6”6'34.4”6'34.2"6'34.3”3'6.9”3'5.8”+1.1"+1.5”6'55.0~6'54.4"6'54.7"3'27.3”3'26.3”+1.0”+1.4”量塊尺寸按自準(zhǔn)直儀讀數(shù)各點(diǎn)對零點(diǎn)的讀數(shù)差標(biāo)準(zhǔn)角度誤差累積誤差正反平均6'55.5”0.0”0.0”0.0”7'16.0”7'16.0”20.6”20.6”0.0”7'37.0”7'37.1”41.7”41.3”+0.4”+1.8”7'57.6”7'57.8”1'2.4”8'18.6”1'23.1”1'22.5”+0.6”+2.0”8'39.2”8'39.6”8'39.4”1'44.0”1'43.1”8'59.8”8'59.9”2'4.4”+0.6”9'20.8”9'20.4”9'20.6”2'24.4”+0.8”9'41.6”9'41.2”9'41.4”2'46.0”2'45.0”+1.0”+2.4”102.1”3'5.6”+1.1”+2.5”從表中可得0～10'內(nèi)的示值誤差為：2.5"-(-0.4")=2.9量塊尺寸按自準(zhǔn)直儀讀數(shù)(格)各點(diǎn)對零點(diǎn)的讀數(shù)差(格)標(biāo)準(zhǔn)角度(格)誤差(格)累積誤差(格)正反平均500.5500.2500.3520.7520.0520.4540.7541.0540.840.540.0+0.5+0.5560.3561.0560.660.360.0+0.3+0.3580.2580.5580.480.180.0+0.1+0.1599.8600.4600.199.8-0.2-0.2620.0620.0620.0-0.3640.0640.3640.2-0.1-0.1659.8660.5660.2-0.1-0.1680.0680.5680.2-0.1-0.1699.8200.0-0.3-0.3量塊尺寸按自準(zhǔn)直儀讀數(shù)(格)各點(diǎn)對零點(diǎn)的讀數(shù)差(格)標(biāo)準(zhǔn)角度(格)誤差(格)累積誤差(格)正反平均量塊尺寸按自準(zhǔn)直儀讀數(shù)(格)各點(diǎn)對零點(diǎn)的讀數(shù)差(格)標(biāo)準(zhǔn)角度(格)誤差(格)累積誤差(格)正反平均900.2900.0900.1-0.3920.9920.2920.6940.5940.3940.440.340.0960.6960.0960.3-0.1980.2980.4980.3-0.1999.5999.9-0.2-0.5-0.1-0.1-0.1200.3200.0表D.40.005mm/m平直度檢查儀示值誤差檢定記錄量塊尺寸按自準(zhǔn)直儀讀數(shù)各點(diǎn)對零點(diǎn)的讀數(shù)差(格)標(biāo)準(zhǔn)角度(格)誤差(格)累積誤差(格)正反平均表D