1.

產(chǎn)線異常情況1.異常描述5月9日，工藝更改提效工藝路線（制絨3#使用無(wú)粗拋工藝，擴(kuò)散4#&5#切換為txgy-59工藝，刻蝕5#&6#切換為提效工藝），使用紅色流程單定線下傳，10號(hào)白班開(kāi)始絲網(wǎng)反饋紅色流程單定線路徑有批量皮帶印降級(jí)，從此皮帶印降級(jí)比例呈上升趨勢(shì)。2.現(xiàn)場(chǎng)EL不良2.第一階段排查分析1.

皮帶印趨勢(shì)圖2.排查過(guò)程①10日白班根據(jù)生產(chǎn)反饋，紅色流程單對(duì)應(yīng)于刻蝕5#&6#，安排實(shí)驗(yàn)排查刻蝕5#&6#是否存在異常，取前道常規(guī)片源過(guò)刻蝕5#&6#，驗(yàn)證結(jié)果無(wú)異常。②13日夜班，對(duì)比制絨&擴(kuò)散提效工藝與常規(guī)工藝，實(shí)驗(yàn)結(jié)果可以看出制絨&擴(kuò)散不同工藝走相同刻蝕機(jī)臺(tái)，制絨&擴(kuò)散新工藝路徑皮帶印比例明顯高于正常工藝。③

15日夜班，再次進(jìn)行對(duì)比試驗(yàn)，試驗(yàn)結(jié)果相同。3.

第二階段排查分析1.異常情況5月15日夜班，工藝更改擴(kuò)散部分機(jī)臺(tái)爐管工藝（由切為txgy-59工藝切換為txgy-66工藝），并進(jìn)行批量生產(chǎn)，皮帶印降級(jí)比例沒(méi)有明顯改善，一周內(nèi)平均降級(jí)比例0.38%，高于正常水平。2.排查過(guò)程①機(jī)臺(tái)驗(yàn)證為驗(yàn)證是否因刻蝕下料皮帶造成批量皮帶印降級(jí)，5月16日-17日對(duì)刻蝕所有機(jī)臺(tái)使用擴(kuò)散常規(guī)工藝片源進(jìn)行試驗(yàn)驗(yàn)證。以上試驗(yàn)結(jié)果表明：刻蝕下料自動(dòng)化會(huì)產(chǎn)生少量皮帶印，但不會(huì)造成批量性皮帶印降級(jí)。②工藝對(duì)比驗(yàn)證5月19日，對(duì)擴(kuò)散兩種新工藝（txgy-59工藝&txgy-66工藝）及常規(guī)工藝進(jìn)行對(duì)比試驗(yàn)驗(yàn)證。此次對(duì)比試驗(yàn)表明：制絨&擴(kuò)散兩種新工藝路徑上均有不同程度批量皮帶印降級(jí)。4.

第三階段排查分析1.

測(cè)試新型皮帶為匹配提效工藝，降級(jí)皮帶印降級(jí)比例，刻蝕6#&瑪雅4#試用新材質(zhì)的全氟平皮帶。現(xiàn)使用的平皮帶為兩層結(jié)構(gòu)，上面為藍(lán)色PU層用于接觸硅片，下面為黑色橡膠層，用于傳送。而全氟平皮帶為三層結(jié)構(gòu)，最上層多了一層灰色的氟橡膠層，用于接觸硅片。2.實(shí)驗(yàn)跟蹤驗(yàn)證①5月20日白班，刻蝕6線下料自動(dòng)化與瑪雅4#上下料自動(dòng)化伸縮板皮帶全部更換為全氟平皮帶后，批量生產(chǎn)1天并多次跟蹤實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，發(fā)現(xiàn)皮帶印沒(méi)有改善，且比例偏高。②跟蹤試驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，前后路徑一致的情況下，對(duì)比瑪雅4#（新型全氟平皮帶）與瑪雅5#（原皮帶）的試驗(yàn)結(jié)果，走瑪雅4#的皮帶印降級(jí)比例在11%左右，走瑪雅5#的皮帶印降級(jí)比例在6%左右。實(shí)驗(yàn)結(jié)果：在瑪雅工序看，新型全氟平皮帶對(duì)皮帶印降級(jí)不僅沒(méi)有改善，反而加大了降級(jí)比例。③5月21日白班，瑪雅4#更換為原皮帶。④刻蝕6#更換為原PU皮帶后，對(duì)皮帶印降級(jí)情況進(jìn)行實(shí)驗(yàn)跟蹤，并對(duì)比提效工藝和常規(guī)工藝的進(jìn)行對(duì)比。實(shí)驗(yàn)結(jié)果：刻蝕走同一機(jī)臺(tái)，制絨&擴(kuò)散提效路徑上的皮帶印會(huì)出現(xiàn)批量降級(jí)，而常規(guī)工藝則不會(huì)。5.

第四階段排查分析1.

車(chē)間互切對(duì)比由于102車(chē)間使用相同制絨&擴(kuò)散提效工藝，皮帶印無(wú)異常，5月22日開(kāi)始對(duì)101車(chē)間和102車(chē)間進(jìn)行交叉對(duì)比實(shí)驗(yàn)。2.實(shí)驗(yàn)跟蹤①5月22日夜班，使用101車(chē)間制絨和擴(kuò)散提效工藝片，過(guò)102車(chē)間刻蝕8線提效工藝線及瑪雅14線后，驗(yàn)證結(jié)果：會(huì)出現(xiàn)批量皮帶印。②5月23號(hào)白班，從102車(chē)間瑪雅后取2000片，驗(yàn)證101車(chē)間PE和絲網(wǎng)，實(shí)驗(yàn)結(jié)果：101車(chē)間鍍膜2#或者絲網(wǎng)5A在提效工藝下皮帶印降級(jí)存在異常。③5月23日夜班，從102車(chē)間退火后取7000片，驗(yàn)證101車(chē)間瑪雅是否有異常，實(shí)驗(yàn)結(jié)果：101車(chē)間瑪雅工序皮帶印降級(jí)無(wú)明顯異常，絲網(wǎng)5A無(wú)異常：④5月24號(hào)白班，為精確定位異常機(jī)臺(tái)，同時(shí)進(jìn)行刻蝕、瑪雅和鍍膜的對(duì)比實(shí)驗(yàn)a.從102車(chē)間SE后取2000片，過(guò)刻蝕5#后回到102車(chē)間瑪雅和管P，最后回到絲網(wǎng)5A印刷，查看皮帶印情況；b.從102車(chē)間退火后取7000片，每1000片對(duì)應(yīng)101車(chē)間瑪雅1-7#，在102車(chē)間管P鍍膜，回到絲網(wǎng)5A印刷，驗(yàn)證瑪雅1#是否異常；c.從102車(chē)間瑪雅后取9000片，每1000片對(duì)應(yīng)101車(chē)間PE1-9#，在絲網(wǎng)5A印刷，驗(yàn)證PE機(jī)臺(tái)是否存在異常。d.實(shí)驗(yàn)結(jié)果:從實(shí)驗(yàn)結(jié)果可以看出，提效工序下，101車(chē)間瑪雅2線及PE1-9線均存在批量皮帶印降級(jí)現(xiàn)象，降級(jí)比例均超過(guò)1.5%。3.

更換傳輸皮帶①根據(jù)實(shí)驗(yàn)鎖定的異常機(jī)臺(tái)，檢查MAIA2#及PE自動(dòng)化皮帶，發(fā)現(xiàn)PE自動(dòng)化皮帶存在使用時(shí)間較長(zhǎng)，表面臟污的現(xiàn)象，部分皮帶有反面朝上安裝（因硅片在皮帶正面打滑）的現(xiàn)象。②5月24號(hào)夜班開(kāi)始更換MAIA2#及PE自動(dòng)化皮帶，并進(jìn)行實(shí)驗(yàn)跟蹤驗(yàn)證：實(shí)驗(yàn)結(jié)果：更換PE自動(dòng)化皮帶后皮帶印明顯得到改善，而且皮帶的更換方法也有至關(guān)重要的作用，更換方法不正確反而會(huì)增大皮帶印的比例。制定標(biāo)準(zhǔn)推廣：5月24號(hào)開(kāi)始更換PE自動(dòng)化皮帶后，皮帶印比例逐漸下降，30日左右恢復(fù)到正常水平。6.總結(jié)1.實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證總結(jié)通過(guò)多次的對(duì)比試驗(yàn)跟蹤，最終確定為一車(chē)間管P自動(dòng)化皮帶無(wú)法匹配提效工藝，造成了皮帶印持續(xù)的批量降級(jí)，通過(guò)更換所有管P自動(dòng)化皮帶，皮帶印異常得到解決。拓展：正常工藝下，管P自動(dòng)化皮帶不會(huì)產(chǎn)生皮帶印，（實(shí)驗(yàn)排查證明此點(diǎn)）導(dǎo)致排查過(guò)程較長(zhǎng)。2.傳輸皮帶總結(jié)①通過(guò)更換皮帶及實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證過(guò)程可以發(fā)現(xiàn)，皮帶使用時(shí)間過(guò)長(zhǎng)會(huì)造成皮帶印產(chǎn)生，更換方法不正確同樣會(huì)增大皮帶印比例。②為預(yù)防皮帶印批量產(chǎn)生，各工序（刻蝕、瑪雅、鍍膜、絲網(wǎng)）必須定期更換自動(dòng)化皮帶，并做好記錄。③更換皮帶的方法要規(guī)范。3.正確更換方法①新皮帶使用前