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IntroductiontoMicroelectronicsThirdEdition《微電子概論》(第3版)郝躍賈新章史江一目錄1.pn結(jié)二極管結(jié)構(gòu)與特點(diǎn)
2.3.1平衡狀態(tài)下的pn結(jié)2.平衡狀態(tài)下pn結(jié)的特點(diǎn)4.pn結(jié)耗盡層寬度3.勢(shì)壘區(qū)兩側(cè)邊界處載流子濃度的關(guān)系大多數(shù)半導(dǎo)體器件(包括集成電路),都包含一個(gè)或者多個(gè)pn結(jié)(pnJunction)。這些器件的特性均與pn結(jié)密切相關(guān),因此深入理解并熟練掌握pn結(jié)原理是學(xué)習(xí)其他半導(dǎo)體器件理論的關(guān)鍵。
引言:1.pn結(jié)二極管結(jié)構(gòu)與特點(diǎn)(1)pn結(jié)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料一個(gè)區(qū)域?yàn)閜型,相鄰區(qū)域?yàn)閚型,則組成pn結(jié)。
p區(qū)與n區(qū)的交界面稱為冶金結(jié)。1.pn結(jié)二極管結(jié)構(gòu)與特點(diǎn)(1)pn結(jié)結(jié)構(gòu)平面工藝生成pn結(jié)的工藝:選擇性摻雜。
為便于分析,采用剖面圖并且旋轉(zhuǎn)90度,采用一維方式顯示雜質(zhì)分布。1.pn結(jié)二極管結(jié)構(gòu)與特點(diǎn)(1)pn結(jié)結(jié)構(gòu)只要p區(qū)與/或n區(qū)為非均勻摻雜,則稱為緩變結(jié)(GradedJunction)。
Xj為冶金結(jié)面與半導(dǎo)體表面之間的距離,稱為結(jié)深(JunctionDepth)。1.pn結(jié)二極管結(jié)構(gòu)與特點(diǎn)(1)pn結(jié)結(jié)構(gòu)說明:早期pn結(jié)采用“合金”工藝制備,其特點(diǎn)是摻雜為均勻分布。若p區(qū)與n區(qū)均為均勻摻雜,則稱為突變結(jié)(StepJunction)。1.pn結(jié)二極管結(jié)構(gòu)與特點(diǎn)(1)pn結(jié)結(jié)構(gòu)說明:為了突出物理過程,本節(jié)以突變結(jié)為對(duì)象介紹pn結(jié)基本工作原理。1.pn結(jié)二極管結(jié)構(gòu)與特點(diǎn)(2)pn結(jié)單向?qū)щ娦哉琕a>0,則I>0正向電流I隨Va增加急劇增加。Va絕對(duì)值增加,反向電流幾乎不變。反偏,Va<0,則I<0,電流反向流動(dòng)稱為反向飽和電流,記為I
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