(19)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局(12)發(fā)明專利(10)授權(quán)公告號(hào)CN112710393B(65)同一申請(qǐng)的已公布的文獻(xiàn)號(hào)申請(qǐng)公布號(hào)CN112710393A(43)申請(qǐng)公布日2021.04.27(30)優(yōu)先權(quán)數(shù)據(jù)US2019302083A1,2019.10.03審查員薛維琴(73)專利權(quán)人大塚電子株式會(huì)社地址日本大阪府(72)發(fā)明人新家俊輝井上展幸大川內(nèi)真岡本宗大川口史朗水口勉(74)專利代理機(jī)構(gòu)北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11277專利代理師劉新宇光學(xué)測(cè)定裝置、波長(zhǎng)校正方法以及標(biāo)準(zhǔn)試樣本發(fā)明通過(guò)一種光學(xué)測(cè)定裝置、波長(zhǎng)校正方法以及標(biāo)準(zhǔn)試樣。光學(xué)測(cè)定裝置包括以下單元：理論干涉譜獲取單元，其獲取基于標(biāo)準(zhǔn)試樣的已知的厚度、折射率以及消光系數(shù)進(jìn)行數(shù)學(xué)計(jì)算得出的、關(guān)于該標(biāo)準(zhǔn)試樣的反射率干涉譜或透過(guò)率干涉譜來(lái)作為理論干涉譜；實(shí)測(cè)干涉譜獲取單元，其獲取利用受光器經(jīng)由衍射光柵接收對(duì)標(biāo)準(zhǔn)試樣照射測(cè)定光而產(chǎn)生的反射光或透過(guò)光所生成的反射率干涉譜或透過(guò)率干涉譜來(lái)作為實(shí)測(cè)干涉譜；關(guān)聯(lián)信息獲取單元，其獲取用于決定理論干涉譜與實(shí)測(cè)干涉譜的關(guān)于波長(zhǎng)的關(guān)聯(lián)的關(guān)決定為使對(duì)實(shí)測(cè)干涉譜應(yīng)用波長(zhǎng)校正式所得到的結(jié)果與理論干涉譜一致。2衍射光柵，其被入射對(duì)試樣照射所述測(cè)定光而產(chǎn)生的反射光或透過(guò)光；受光器，其包括用于接收通過(guò)所述衍射光柵進(jìn)行波長(zhǎng)分離后的光的多個(gè)受光元件，所述多個(gè)受光元件排列配置；理論干涉譜獲取單元，其獲取基于標(biāo)準(zhǔn)試樣的已知的厚度、折射率以及消光系數(shù)進(jìn)行數(shù)學(xué)計(jì)算得出的、關(guān)于該標(biāo)準(zhǔn)試樣的反射率干涉譜或透過(guò)率干涉譜來(lái)作為理論干涉譜；實(shí)測(cè)干涉譜獲取單元，其獲取利用所述受光器經(jīng)由所述衍射光柵接收對(duì)所述標(biāo)準(zhǔn)試樣照射所述測(cè)定光而產(chǎn)生的反射光或透過(guò)光所生成的反射率干涉譜或透過(guò)率干涉譜來(lái)作為實(shí)測(cè)干涉譜；關(guān)聯(lián)信息獲取單元，其獲取用于決定所述理論干涉譜與所述實(shí)測(cè)干涉譜的關(guān)于波長(zhǎng)的波長(zhǎng)校正單元，其參照所述關(guān)聯(lián)信息將用于規(guī)定所述多個(gè)受光元件的波長(zhǎng)值的波長(zhǎng)校正式?jīng)Q定為使對(duì)所述實(shí)測(cè)干涉譜應(yīng)用所述波長(zhǎng)校正式所得到的結(jié)果與所述理論干涉譜一2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)測(cè)定裝置，其中，所述波長(zhǎng)校正單元基于給出所述理論干涉譜中包含的極值的位置與給所述實(shí)測(cè)干涉譜中包含的極值的位置的關(guān)聯(lián)，來(lái)評(píng)價(jià)所述理論干涉譜與所述實(shí)測(cè)干涉譜的一致度。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學(xué)測(cè)定裝置，其中，在關(guān)于所述標(biāo)準(zhǔn)試樣進(jìn)行數(shù)學(xué)計(jì)算得出的反射率干涉譜是所述理論干涉譜、從所述標(biāo)準(zhǔn)試樣獲取到的反射率干涉譜是所述實(shí)測(cè)干涉譜的情況下，所述波長(zhǎng)校正單元基于給出所述理論干涉譜中包含的極小值的位置與給出所述實(shí)測(cè)干涉譜中包含的極小值的位置的關(guān)聯(lián)，來(lái)評(píng)價(jià)所述理論干涉譜與所述實(shí)測(cè)干涉譜的一致度。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學(xué)測(cè)定裝置，其中，所述關(guān)聯(lián)信息獲取單元基于在通過(guò)利用所述受光器經(jīng)由所述衍射光柵接收亮線光源產(chǎn)生的包含已知的亮線波長(zhǎng)的光而獲取到的測(cè)定結(jié)果中出現(xiàn)的、關(guān)于所述亮線波長(zhǎng)的特5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學(xué)測(cè)定裝置，其中，所述波長(zhǎng)校正單元使用用于確定所述受光器中包括的各受光元件的元件編號(hào)，來(lái)決定給出所述實(shí)測(cè)干涉譜中包含的極值的元件編號(hào)。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光學(xué)測(cè)定裝置，其中，所述波長(zhǎng)校正單元根據(jù)給出所述理論干涉譜中包含的各極值的波長(zhǎng)和給出所述實(shí)測(cè)干涉譜中包含的各極值的元件編號(hào)，來(lái)決定所述波長(zhǎng)校正式。7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中的任一項(xiàng)所述的光學(xué)測(cè)定裝置，其中，所述波長(zhǎng)校正式包含與包括所述衍射光柵及所述受光器的光學(xué)系統(tǒng)相應(yīng)的關(guān)系式。8.根據(jù)權(quán)利要求1～6中的任一項(xiàng)所述的光學(xué)測(cè)定裝置，其中，所述波長(zhǎng)校正單元進(jìn)行以下處理：對(duì)所述實(shí)測(cè)干涉譜應(yīng)用已先決定出的波長(zhǎng)校正式；基于所述已先決定出的波長(zhǎng)校正式來(lái)更新所述理論干涉譜；3基于將對(duì)所述實(shí)測(cè)干涉譜應(yīng)用所述已先決定出的波長(zhǎng)校正式所得到的結(jié)果與更新后的所述理論干涉譜進(jìn)行比較后的結(jié)果來(lái)更新所述波長(zhǎng)校正式；以及重復(fù)進(jìn)行所述處理直到滿足規(guī)定條件為止。9.一種波長(zhǎng)校正方法，包括以下步驟：獲取基于標(biāo)準(zhǔn)試樣的已知的厚度、折射率以及消光系數(shù)進(jìn)行數(shù)學(xué)計(jì)算得出的、與該標(biāo)準(zhǔn)試樣有關(guān)的反射率干涉譜或透過(guò)率干涉譜來(lái)作為理論干涉譜；獲取利用受光器經(jīng)由衍射光柵接收對(duì)所述標(biāo)準(zhǔn)試樣照射光源產(chǎn)生的測(cè)定光而產(chǎn)生的反射光或透過(guò)光所生成的反射率干涉譜或透過(guò)率干涉譜來(lái)作為實(shí)測(cè)干涉譜，其中，所述受光器包括用于接收通過(guò)所述衍射光柵進(jìn)行波長(zhǎng)分離后的光的多個(gè)受光元件，所述多個(gè)受光元件排列配置；獲取用于決定所述理論干涉譜與所述實(shí)測(cè)干涉譜的關(guān)于波長(zhǎng)的關(guān)聯(lián)的關(guān)聯(lián)信息；以及參照所述關(guān)聯(lián)信息將用于規(guī)定所述多個(gè)受光元件的波長(zhǎng)值的波長(zhǎng)校正式?jīng)Q定為使對(duì)所述實(shí)測(cè)干涉譜應(yīng)用所述波長(zhǎng)校正式所得到的結(jié)果與所述理論干涉譜一致。10.一種標(biāo)準(zhǔn)試樣，在根據(jù)權(quán)利要求9所述的波長(zhǎng)校正方法中被使用，標(biāo)準(zhǔn)試樣的厚度、折射率以及消光系數(shù)是已知的。4技術(shù)領(lǐng)域[0001]本發(fā)明涉及一種能夠進(jìn)行波長(zhǎng)校正的光學(xué)測(cè)定裝置、光學(xué)測(cè)定裝置的波長(zhǎng)校正方法以及在該波長(zhǎng)校正方法中使用的標(biāo)準(zhǔn)試樣。背景技術(shù)[0002]一般情況下，分光測(cè)定裝置需要進(jìn)行波長(zhǎng)校正。在這樣的波長(zhǎng)校正中，大多使用水銀燈等基準(zhǔn)光源，該基準(zhǔn)光源產(chǎn)生包含作為國(guó)際計(jì)量委員會(huì)(CIPM)的建議值的已知的亮線[0003]日本特開(kāi)平04-106430號(hào)公報(bào)公開(kāi)以下方法：將從亮線放射源得到的特定波長(zhǎng)的多個(gè)亮線引導(dǎo)到分光測(cè)定裝置，預(yù)先根據(jù)分光測(cè)定裝置的線色散求出與針對(duì)各個(gè)亮線能得到最大的受電輸出的受光器陣列的元件的理論位置相當(dāng)?shù)牡刂?。[0004]日本特開(kāi)2011-117777號(hào)公報(bào)公開(kāi)以下方法：獲取入射光中包含的亮線的波長(zhǎng)、亮線在分光測(cè)定裝置的傳感器中的第一檢測(cè)位置以及亮線在傳感器中的第二檢測(cè)位置，由此進(jìn)行分光測(cè)定裝置的校正。[0005]日本特開(kāi)2014-098653號(hào)公報(bào)公開(kāi)以下方法：從校正用光源照射具有規(guī)定的亮線譜的光來(lái)進(jìn)行校正，該規(guī)定的亮線譜包含多條亮線來(lái)作為多個(gè)峰值。[0006]另外，也存在將一般使用的光源和濾光器組合來(lái)進(jìn)行波長(zhǎng)校正的情況。例如，日本特開(kāi)2013-253820號(hào)公報(bào)公開(kāi)一種用于進(jìn)行分光器的波長(zhǎng)校正的校正裝置，該分光器具備波長(zhǎng)色散元件和改變波長(zhǎng)色散元件的位置的驅(qū)動(dòng)裝置。[0007]如上述現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)所示的使用基準(zhǔn)光源所包含的基準(zhǔn)亮線來(lái)進(jìn)行波長(zhǎng)校正的方法有時(shí)難以應(yīng)用于測(cè)定波長(zhǎng)范圍窄的分光測(cè)定裝置。即，如果校正對(duì)象的分光測(cè)定裝置所具有的測(cè)定波長(zhǎng)范圍內(nèi)包含的基準(zhǔn)亮線的數(shù)量少，則無(wú)法維持充分的校正精度。另外，也存在難以準(zhǔn)備校正對(duì)象的分光測(cè)定裝置所具有的測(cè)定波長(zhǎng)范圍內(nèi)包含的基準(zhǔn)亮線。發(fā)明內(nèi)容[0008]本發(fā)明的一個(gè)目的在于提供一種即使在測(cè)定波長(zhǎng)范圍窄、無(wú)法在測(cè)定波長(zhǎng)范圍內(nèi)包含足夠數(shù)量的基準(zhǔn)亮線的情況下也能夠進(jìn)行波長(zhǎng)校正的新方法。[0009]本發(fā)明的一個(gè)方面的光學(xué)測(cè)定裝置包括：光源，其產(chǎn)生測(cè)定光；衍射光柵，其被入射對(duì)試樣照射測(cè)定光而產(chǎn)生的反射光或透過(guò)光；受光器，其包括用于接收通過(guò)衍射光柵進(jìn)行波長(zhǎng)分離后的光的多個(gè)受光元件，多個(gè)受光元件排列配置；理論干涉譜獲取單元，其獲取基于標(biāo)準(zhǔn)試樣的已知的厚度、折射率以及消光系數(shù)進(jìn)行數(shù)學(xué)計(jì)算得出的、關(guān)于該標(biāo)準(zhǔn)試樣的反射率干涉譜或透過(guò)率干涉譜來(lái)作為理論干涉譜；實(shí)測(cè)干涉譜獲取單元，其獲取利用受光器經(jīng)由衍射光柵接收對(duì)標(biāo)準(zhǔn)試樣照射測(cè)定光而產(chǎn)生的反射光或透過(guò)光所生成的反射率干涉譜或透過(guò)率干涉譜來(lái)作為實(shí)測(cè)干涉譜；關(guān)聯(lián)信息獲取單元，其獲取用于決定理論干涉譜與實(shí)測(cè)干涉譜的關(guān)于波長(zhǎng)的關(guān)聯(lián)的關(guān)聯(lián)信息；以及波長(zhǎng)校正單元，其參照關(guān)聯(lián)信息將用于規(guī)定多個(gè)受光元件的波長(zhǎng)值的波長(zhǎng)校正式?jīng)Q定為使對(duì)實(shí)測(cè)干涉譜應(yīng)用波長(zhǎng)校正式所得5到的結(jié)果與理論干涉譜一致。[0010]也可以是，波長(zhǎng)校正單元基于給出理論干涉譜中包含的極值的位置與給出實(shí)測(cè)干涉譜中包含的極值的位置的關(guān)聯(lián)，來(lái)評(píng)價(jià)理論干涉譜與實(shí)測(cè)干涉譜的一致度。[0011]也可以是，在關(guān)于標(biāo)準(zhǔn)試樣進(jìn)行數(shù)學(xué)計(jì)算得出的反射率干涉譜是理論干涉譜、從標(biāo)準(zhǔn)試樣獲取到的反射率干涉譜是實(shí)測(cè)干涉譜的情況下，波長(zhǎng)校正單元基于給出理論干涉譜中包含的極小值的位置與給出實(shí)測(cè)干涉譜中包含的極小值的位置的關(guān)聯(lián)，來(lái)評(píng)價(jià)理論干涉譜與實(shí)測(cè)干涉譜的一致度。[0012]也可以是，關(guān)聯(lián)信息獲取單元基于在通過(guò)利用受光器經(jīng)由衍射光柵接收亮線光源產(chǎn)生的包含已知的亮線波長(zhǎng)的光而獲取到的測(cè)定結(jié)果中出現(xiàn)的、關(guān)于亮線波長(zhǎng)的特征，來(lái)生成關(guān)聯(lián)信息。[0013]也可以是，波長(zhǎng)校正單元使用用于確定受光器中包括的各受光元件的元件編號(hào)，來(lái)決定給出實(shí)測(cè)干涉譜中包含的極值的元件編號(hào)。[0014]也可以是，波長(zhǎng)校正單元根據(jù)給出理論干涉譜中包含的各極值的波長(zhǎng)和給出實(shí)測(cè)干涉譜中包含的各極值的元件編號(hào)，來(lái)決定波長(zhǎng)校正式。[0015]也可以是，波長(zhǎng)校正式包含與包括衍射光柵及受光器的光學(xué)系統(tǒng)相應(yīng)的關(guān)系式。[0016]也可以是，波長(zhǎng)校正單元進(jìn)行以下處理：對(duì)實(shí)測(cè)干涉譜應(yīng)用已先決定出的波長(zhǎng)校正式；基于已先決定出的波長(zhǎng)校正式來(lái)更新理論干涉譜；基于將對(duì)實(shí)測(cè)干涉譜應(yīng)用已先決定出的波長(zhǎng)校正式所得到的結(jié)果與更新后的理論干涉譜進(jìn)行比較后的結(jié)果來(lái)更新波長(zhǎng)校正式；以及重復(fù)進(jìn)行處理直到滿足規(guī)定條件為止。[0017]本發(fā)明的另一個(gè)方面的波長(zhǎng)校正方法包括以下步驟：獲取基于標(biāo)準(zhǔn)試樣的已知的厚度、折射率以及消光系數(shù)進(jìn)行數(shù)學(xué)計(jì)算得出的、與該標(biāo)準(zhǔn)試樣有關(guān)的反射率干涉譜或透過(guò)率干涉譜來(lái)作為理論干涉譜；獲取利用受光器經(jīng)由衍射光柵接收對(duì)標(biāo)準(zhǔn)試樣照射光源產(chǎn)生的測(cè)定光而產(chǎn)生的反射光或透過(guò)光所生成的反射率干涉譜或透過(guò)率干涉譜來(lái)作為實(shí)測(cè)干涉譜。受光器包括用于接收通過(guò)衍射光柵進(jìn)行波長(zhǎng)分離后的光的多個(gè)受光元件，多個(gè)受光元件排列配置。波長(zhǎng)校正方法還包括以下步驟：獲取用于決定理論干涉譜與實(shí)測(cè)干涉譜的關(guān)于波長(zhǎng)的關(guān)聯(lián)的關(guān)聯(lián)信息；以及參照關(guān)聯(lián)信息將用于規(guī)定多個(gè)受光元件的波長(zhǎng)值的波長(zhǎng)校正式?jīng)Q定為使對(duì)實(shí)測(cè)干涉譜應(yīng)用波長(zhǎng)校正式所得到的結(jié)果與理論干涉譜一致。[0018]本發(fā)明的另一方面提供一種在上述波長(zhǎng)校正方法中被使用的標(biāo)準(zhǔn)試樣，該標(biāo)準(zhǔn)試樣的厚度、折射率以及消光系數(shù)是已知的。[0019]根據(jù)本發(fā)明的某個(gè)方面，即使在測(cè)定波長(zhǎng)范圍窄、無(wú)法在測(cè)定波長(zhǎng)范圍內(nèi)包含足夠數(shù)量的基準(zhǔn)亮線的情況下，也能夠進(jìn)行波長(zhǎng)校正。[0020]根據(jù)與所附附圖相關(guān)聯(lián)地理解的以下關(guān)于本發(fā)明的詳細(xì)說(shuō)明，本發(fā)明的上述目附圖說(shuō)明[0021]圖1是示出本實(shí)施方式的光學(xué)測(cè)定系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)例的示意圖。[0022]圖2是示出構(gòu)成本實(shí)施方式的光學(xué)測(cè)定系統(tǒng)的光學(xué)測(cè)定裝置的功能結(jié)構(gòu)例的示意[0023]圖3是示出本實(shí)施方式的光學(xué)測(cè)定裝置中包括的分光測(cè)定部的光學(xué)系統(tǒng)的一例的6示意圖。[0024]圖4是用于說(shuō)明本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法的概要的圖。[0025]圖5是用于說(shuō)明本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中的理論干涉譜與實(shí)測(cè)干涉譜的關(guān)聯(lián)的圖。[0026]圖6是示出本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法的概要過(guò)程的流程圖。[0027]圖7是用于說(shuō)明本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中的虛擬元件編號(hào)的計(jì)算方法的圖。[0028]圖8是用于說(shuō)明本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中的將亮線光源用作關(guān)聯(lián)信息的情況的圖。[0029]圖9是用于說(shuō)明本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中的利用來(lái)自亮線光源的關(guān)聯(lián)信息得到的理論谷值波長(zhǎng)與實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)的關(guān)聯(lián)的圖。[0030]圖10是示出本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中的理論谷值波長(zhǎng)與實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)的對(duì)應(yīng)關(guān)系的一例的圖。[0031]圖11是示出本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中的基于理論谷值波長(zhǎng)與實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)的對(duì)應(yīng)關(guān)系決定的波長(zhǎng)校正式的一例的圖。[0032]圖12是用于說(shuō)明本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中的波長(zhǎng)校正式的各項(xiàng)系數(shù)的校正處理的圖。[0033]圖13是示出本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中的波長(zhǎng)校正式的各項(xiàng)系數(shù)的校正處理(步驟S8)的詳細(xì)的處理過(guò)程的流程圖。[0034]圖14是示出本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中的與波長(zhǎng)校正式的各項(xiàng)系數(shù)有關(guān)的校正結(jié)果的一例的圖。[0035]圖15是示出通過(guò)本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中的波長(zhǎng)校正式的各項(xiàng)系數(shù)的校正而得到的效果的一例的圖。[0036]圖16是示出通過(guò)本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中的波長(zhǎng)校正式的各項(xiàng)系數(shù)的校正而得到的反射率干涉譜的一例的圖。[0037]圖17是示出使用通過(guò)本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法得到的波長(zhǎng)校正表進(jìn)行的膜厚測(cè)定的精度評(píng)價(jià)的一例的圖。[0038]圖18是示出使用通過(guò)本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法得到的波長(zhǎng)校正表而計(jì)算出的反射率干涉譜的一例(試樣A)的圖。[0039]圖19是示出使用通過(guò)本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法得到的波長(zhǎng)校正表而計(jì)算出的功率譜的一例(試樣A)的圖。[0040]圖20是示出使用通過(guò)本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法得到的波長(zhǎng)校正表而計(jì)算出的反射率干涉譜的另一例(試樣B)的圖。[0041]圖21是示出使用通過(guò)本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法得到的波長(zhǎng)校正表而計(jì)算出的功率譜的另一例(試樣B)的圖。[0042]圖22是示出使用通過(guò)本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法得到的波長(zhǎng)校正表而計(jì)算出的反射率干涉譜的又一例(試樣C)的圖。[0043]圖23是示出使用通過(guò)本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法得到的波長(zhǎng)校正表而計(jì)算出的功率譜的又一例(試樣C)的圖。[0044]圖24是示出本實(shí)施方式的光學(xué)測(cè)定系統(tǒng)所提供的功能結(jié)構(gòu)的一例的示意圖。7型光纖；41:第一分支光纖；42:第二分支光纖；43:光纖耦合器；50、180:波長(zhǎng)校正式；52、182:波長(zhǎng)校正表；60、62:實(shí)測(cè)干涉譜；70:理論干涉譜；100:光學(xué)測(cè)定裝置；110:測(cè)定用光測(cè)干涉譜獲取模塊；154:實(shí)測(cè)干涉譜極值提取模塊；156:關(guān)聯(lián)信息獲取模塊；160:波長(zhǎng)校正模塊；162:回歸分析模塊；164:理論干涉譜反映模塊；166:實(shí)測(cè)干涉譜反映模塊；168:擬合解析模塊；170:標(biāo)準(zhǔn)試樣信息；172:理論具體實(shí)施方式[0047]參照附圖來(lái)詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。此外，對(duì)圖中的相同或相當(dāng)?shù)牟糠謽?biāo)[0048]<A.光學(xué)測(cè)定系統(tǒng)>[0049]首先，對(duì)本實(shí)施方式的光學(xué)測(cè)定系統(tǒng)1(反射光觀測(cè)系統(tǒng))的結(jié)構(gòu)例進(jìn)行說(shuō)明。以下，作為典型例，說(shuō)明應(yīng)用于分光干涉式的膜厚測(cè)定裝置的結(jié)構(gòu)例，但不限于此，能夠應(yīng)用于任意的光學(xué)測(cè)定系統(tǒng)。特別地，在以下的說(shuō)明中例示對(duì)試樣照射光并觀測(cè)其反射光的光學(xué)系統(tǒng)(反射光觀測(cè)系統(tǒng)),但當(dāng)然也能夠應(yīng)用于對(duì)試樣照射光并觀測(cè)其透過(guò)光的光學(xué)系統(tǒng)(透過(guò)光觀測(cè)系統(tǒng))。[0050](a1:光學(xué)測(cè)定系統(tǒng)1的結(jié)構(gòu)例)[0051]圖1是示出本實(shí)施方式的光學(xué)測(cè)定系統(tǒng)1的結(jié)構(gòu)例的示意圖。參照?qǐng)D1,光學(xué)測(cè)定系統(tǒng)1包括光學(xué)測(cè)定裝置100以及與光學(xué)測(cè)定裝置100以光學(xué)方式連接的Y型光纖40。[0052]光學(xué)測(cè)定裝置100對(duì)試樣SMP照射測(cè)定用的光(以下也稱為“測(cè)定光”。),并且基于來(lái)自試樣SMP的反射光計(jì)算試樣SMP的光學(xué)特性。[0053]作為試樣SMP的代表例，除了裸Si基板以外，還能夠列舉具有特殊的表面形狀或細(xì)[0054]光學(xué)測(cè)定裝置100作為產(chǎn)生測(cè)定光的光源發(fā)揮功能，并且作為接收來(lái)自試樣SMP的反射光并輸出測(cè)定結(jié)果的受光器發(fā)揮功能。[0055]在光學(xué)測(cè)定裝置100上連接有Y型光纖40的通過(guò)光纖耦合器43而分支出的第一分支光纖41和第二分支光纖42。測(cè)定光經(jīng)由第一分支光纖41被引導(dǎo)到設(shè)置在Y型光纖40的另一端的光發(fā)射/接收探頭16。另外，來(lái)自試樣SMP的反射光被光發(fā)射/接收探頭16接收，并經(jīng)由第二分支光纖42被引導(dǎo)到光學(xué)測(cè)定裝置100。光發(fā)射/接收探頭16與Y型光纖40經(jīng)由連接器18連接。在光發(fā)射/接收探頭16的內(nèi)部，在連接器18與光發(fā)射/接收探頭16的光發(fā)射/接收開(kāi)口之間配置透鏡20。[0056]光學(xué)測(cè)定裝置100按照來(lái)自上級(jí)個(gè)人計(jì)算機(jī)(上級(jí)PC)的指令來(lái)執(zhí)行測(cè)定處理，并且將測(cè)定結(jié)果等發(fā)送到上級(jí)PC。[0057](a2:光學(xué)測(cè)定裝置100的結(jié)構(gòu)例)8[0058]接著，對(duì)構(gòu)成光學(xué)測(cè)定系統(tǒng)1的光學(xué)測(cè)定裝置100的結(jié)構(gòu)例進(jìn)行說(shuō)明。[0059]圖2是示出構(gòu)成本實(shí)施方式的光學(xué)測(cè)定系統(tǒng)1的光學(xué)測(cè)定裝置100的功能結(jié)構(gòu)例的示意圖。參照?qǐng)D2,光學(xué)測(cè)定裝置100包括測(cè)定用光源110、分光測(cè)定部120、運(yùn)算部130以及接[0060]測(cè)定用光源110產(chǎn)生測(cè)定光。典型地說(shuō)，測(cè)定用光源110所產(chǎn)生的測(cè)定光也可以在波長(zhǎng)范圍內(nèi)包含近紅外區(qū)域。作為產(chǎn)生在波長(zhǎng)范圍內(nèi)包含近紅外區(qū)域的測(cè)定光的測(cè)定用光源110,也可以采用ASE(AmplifiedSpontaneousEmission:放大自發(fā)輻射)光源。另外，測(cè)定用光源110優(yōu)選產(chǎn)生低相干光來(lái)作為測(cè)定光。測(cè)定用光源110與Y型光纖40的第一分支光纖41以光學(xué)方式連接，產(chǎn)生經(jīng)由第一分支光纖41被引導(dǎo)至試樣SMP的測(cè)定光。[0061]分光測(cè)定部120與Y型光纖40的第二分支光纖42以光學(xué)方式連接，用于接收來(lái)自試樣的反射光(即，測(cè)定光在試樣等處發(fā)生反射而產(chǎn)生的光),并將表示所接收到的光的每個(gè)波長(zhǎng)的強(qiáng)度的強(qiáng)度分布作為測(cè)定結(jié)果進(jìn)行輸出(詳細(xì)情況參照?qǐng)D3)。[0062]運(yùn)算部130基于從分光測(cè)定部120輸出的測(cè)定結(jié)果來(lái)計(jì)算試樣的光學(xué)特性。運(yùn)算部130既可以使用執(zhí)行程序的處理器來(lái)實(shí)現(xiàn)，也可以使用FPGA(field-programmablegatearray:現(xiàn)場(chǎng)可編程門(mén)陣列)、ASIC(applicationspecific電路)、SoC(systemonachip:片上系統(tǒng))等硬件設(shè)備(hard-wireddevice)來(lái)實(shí)現(xiàn)。[0063]接口140與未圖示的上級(jí)PC之間交換包含由運(yùn)算部130計(jì)算出的光學(xué)特性的測(cè)定結(jié)果等。作為接口140,能夠使用以太網(wǎng)(注冊(cè)商標(biāo))、無(wú)線LAN、USB(universalserialb通用串行總線)這樣的公知的傳輸介質(zhì)。[0064]在光學(xué)測(cè)定裝置100與上級(jí)PC之間，作為測(cè)定結(jié)果，除了交換計(jì)算出的試樣的光學(xué)特性以外，也可以交換在計(jì)算試樣的反射率干涉譜等的過(guò)程中使用的數(shù)據(jù)、測(cè)定時(shí)的屬性信息等。[0065]此外，也可以在光學(xué)測(cè)定裝置100的內(nèi)部或外部配置電源供給部。[0066](a3:分光測(cè)定部120的光學(xué)系統(tǒng))[0067]圖3是示出本實(shí)施方式的光學(xué)測(cè)定裝置100中包括的分光測(cè)定部120的光學(xué)系統(tǒng)的一例的示意圖。參照?qǐng)D3,分光測(cè)定部120是多色儀的一例，包括狹縫[0068]繼Y型光纖40的第二分支光纖42之后配置狹縫121,該狹縫121用于調(diào)整入射的光的光斑直徑。[0069]遮光器122構(gòu)成為能夠遮擋向多通道受光器127入射的光。遮光器122用以將多通道受光器127等重置。作為遮光器122,典型地采用通過(guò)電磁力進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的機(jī)械式的構(gòu)造。[0070]截止濾光器123限制向多通道受光器127入射的光中包含的測(cè)定波長(zhǎng)范圍外的波長(zhǎng)成分。截止濾光器123優(yōu)選盡可能地遮擋測(cè)定波長(zhǎng)范圍外的波長(zhǎng)成分。[0071]準(zhǔn)直鏡124將經(jīng)由狹縫121入射的光(擴(kuò)散光)反射后變換為平行光，并且使被變換為平行光的光朝向衍射光柵125傳播。[0072]衍射光柵125被入射對(duì)試樣SMP照射測(cè)定光而產(chǎn)生的反射光或透過(guò)光，并且在將所入射的光根據(jù)波長(zhǎng)進(jìn)行分離后引導(dǎo)向多通道受光器127。具體地說(shuō)，衍射光柵125是反射型衍射光柵，構(gòu)成為使每隔預(yù)定的波長(zhǎng)間隔的衍射波向?qū)?yīng)的各方向反射。當(dāng)光入射到具有這樣的結(jié)構(gòu)的衍射光柵125時(shí)，所包含的各波長(zhǎng)成分向?qū)?yīng)的方向反射，并入射到多通道受9光器127的對(duì)應(yīng)的受光元件。作為衍射光柵125,典型地采用閃耀全息平面光柵。[0073]聚焦鏡126使通過(guò)衍射光柵125被沿與波長(zhǎng)相應(yīng)的方向反射的光反射后在多通道受光器127的檢測(cè)面上成像。[0074]多通道受光器127接收通過(guò)衍射光柵125進(jìn)行波長(zhǎng)分離后的光。多通道受光器127具有排列配置的多個(gè)受光元件，用于輸出表示向各受光元件入射的光的強(qiáng)度的電信號(hào)。多通道受光器127輸出表示通過(guò)衍射光柵125分光后的光中包含的各波長(zhǎng)成分的強(qiáng)度的譜的電信號(hào)。多通道受光器127典型地采用將多個(gè)在近紅外區(qū)域具有靈敏度的受光元件直線狀地配置所得到的線性圖像傳感器的結(jié)構(gòu)。作為受光元件，典型地采用InGaAs(銦鎵砷)。[0075]作為分光測(cè)定部120的光學(xué)系統(tǒng)，可以典型地采用Czerny-Turner型或Fastie-Ebert型。與Czerny-Turner型相比，F(xiàn)astie-Ebert型能夠?qū)崿F(xiàn)光學(xué)系統(tǒng)的小型化和高靈敏[0076]既可以分別配置承擔(dān)準(zhǔn)直鏡和聚焦鏡的功能的相獨(dú)立的鏡子，也可以利用單個(gè)反射鏡承擔(dān)準(zhǔn)直鏡和聚焦鏡這雙方的功能。另外，不限于圖3所示的光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)，也可以將各個(gè)鏡子配置在不同的位置。還可以配置承擔(dān)準(zhǔn)直鏡的功能或聚焦鏡的功能的其它鏡[0077](a4:利用光學(xué)測(cè)定裝置100進(jìn)行的光學(xué)特性的測(cè)定處理)[0078]本實(shí)施方式的光學(xué)測(cè)定裝置100能夠測(cè)定作為試樣的光學(xué)特性的一例的光學(xué)膜厚、膜厚、從基準(zhǔn)位置到表面的距離等。此外，關(guān)于測(cè)定從基準(zhǔn)位置到表面的距離的詳細(xì)情況，例如參照日本專利第6402273號(hào)公報(bào)等。[0079]例如，光學(xué)測(cè)定裝置100接收對(duì)試樣照射測(cè)定光而產(chǎn)生的反射光，根據(jù)該反射光中包含的各波長(zhǎng)成分的強(qiáng)度分布來(lái)計(jì)算反射率譜，通過(guò)針對(duì)反射率譜進(jìn)行規(guī)定的波數(shù)變換來(lái)計(jì)算波數(shù)變換反射率譜，對(duì)波數(shù)變換反射率譜關(guān)于波數(shù)進(jìn)行傅立葉變換來(lái)計(jì)算功率譜，基于功率譜中出現(xiàn)的峰值的位置來(lái)測(cè)定光學(xué)膜厚、膜厚、距離中的一個(gè)以上的光學(xué)特性。此夠通過(guò)將計(jì)算出的光學(xué)膜厚除以試樣的折射率來(lái)計(jì)算試樣的膜厚。[0080]這樣，光學(xué)測(cè)定裝置100能夠執(zhí)行以下處理：基于測(cè)定光的反射光來(lái)計(jì)算試樣的反射率譜；通過(guò)針對(duì)反射率譜進(jìn)行規(guī)定的波數(shù)變換來(lái)計(jì)算波數(shù)變換反射率譜；對(duì)波數(shù)變換反射率譜關(guān)于波數(shù)進(jìn)行傅立葉變換來(lái)計(jì)算功率譜；以及基于功率譜中出現(xiàn)的峰值的位置來(lái)計(jì)算光學(xué)特性。[0081]并且，也可以考慮試樣的折射率的波長(zhǎng)依賴性來(lái)計(jì)算膜厚。在該情況下，在計(jì)算出表示每個(gè)波長(zhǎng)λ的反射率的反射率譜R(λ)之后，導(dǎo)入根據(jù)已知的每個(gè)波長(zhǎng)折射率n(λ)計(jì)算出的波數(shù)K(λ)=2πn(λ)/λ,并根據(jù)各波長(zhǎng)的反射率R分別計(jì)算波數(shù)變換反射率R’=R/(1-R)。通過(guò)對(duì)波數(shù)變換反射率譜R’(K)關(guān)于波數(shù)K進(jìn)行傅立葉變換來(lái)計(jì)算功率譜，該波數(shù)變換反射率譜R’(K)表示分別計(jì)算出的每個(gè)波長(zhǎng)的波數(shù)K與波數(shù)變換反射率R’的關(guān)系。基于計(jì)算出的功率譜中出現(xiàn)的峰值的位置來(lái)計(jì)算試樣的膜厚。通過(guò)考慮這樣的試樣的折射率的波長(zhǎng)依賴性來(lái)計(jì)算膜厚，能夠高精度地計(jì)算試樣的膜厚。另外，能夠基于功率譜中出現(xiàn)的多個(gè)峰值來(lái)計(jì)算試樣中包含的多層膜的各層的膜厚。[0082]關(guān)于計(jì)算處理的詳細(xì)情況，望參照例如日本專利第4834847號(hào)公報(bào)等。上述的光學(xué)特性的計(jì)算處理不僅能夠應(yīng)用于反射率譜，還能夠應(yīng)用于透過(guò)率譜。[0083]<B.背景和課題>[0084]接著，對(duì)分光測(cè)定裝置中的與波長(zhǎng)校正有關(guān)的背景以及課題進(jìn)行說(shuō)明。[0085]作為本實(shí)施方式的分光測(cè)定裝置的一例的分光干涉式的膜厚測(cè)定裝置在半導(dǎo)體晶圓的制造過(guò)程中用于進(jìn)行膜厚的In-Situ(原位)測(cè)定等。[0086]近年來(lái)，半導(dǎo)體晶圓的薄片化工藝取得顯著進(jìn)步。通過(guò)使半導(dǎo)體晶圓薄片化，能夠?qū)崿F(xiàn)各種設(shè)備的高功能化。例如，能夠?qū)崿F(xiàn)IC芯片的薄型化、移動(dòng)設(shè)備中使用的SiP(SysteminPackage:系統(tǒng)級(jí)封裝)的多層集成化、CMOS圖像傳感器等攝像元件的高靈敏度化、功率設(shè)備的高效率化等。一點(diǎn)，在薄片化加工中不可缺少能夠高精度且高速地測(cè)定晶圓厚度的膜厚測(cè)定裝置。在薄片化工藝中，晶圓在暴露于磨削加工水的同時(shí)被磨石切削。因此，不得不以非接觸且無(wú)損的方式測(cè)定晶圓的厚度，應(yīng)用使用光進(jìn)行測(cè)定的測(cè)定法。[0088]以硅為首的半導(dǎo)體晶圓對(duì)于能量比該半導(dǎo)體的能帶間隙低的光而言是透明的，因此能夠利用在晶圓內(nèi)部發(fā)生的光干涉來(lái)測(cè)定厚度。特別地，作為測(cè)量對(duì)象的晶圓由于在薄片化加工中被磨削而不斷移動(dòng)，對(duì)于這樣的測(cè)量對(duì)象的移動(dòng)，要求強(qiáng)的測(cè)定法。關(guān)于這一點(diǎn)也是，由于晶圓內(nèi)部的光干涉僅依賴于該晶圓的厚度和折射率，因此不會(huì)受到測(cè)定對(duì)象的動(dòng)作的擾動(dòng)，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的測(cè)定。[0089]為了在對(duì)作為測(cè)量對(duì)象的晶圓進(jìn)行研磨的同時(shí)實(shí)時(shí)測(cè)定厚度，需要利用分光測(cè)定部120(參照?qǐng)D3)等高速的分光器來(lái)測(cè)定晶圓內(nèi)部的光干涉。一般的多色儀采用了將256~2048個(gè)Si基底的受光元件(CCD、NMOS、CMOS等)配置成陣列狀所得到的多通道受光器，以幾ms以下的響應(yīng)延遲輸出測(cè)定波長(zhǎng)范圍的譜。[0090]另一方面，為了測(cè)定幾百μm的晶圓的厚度，需要在視為晶圓足夠透明的波長(zhǎng)范圍內(nèi)進(jìn)行測(cè)定。更具體地說(shuō)，使用晶圓的消光系數(shù)足夠小(<10??)的近紅外區(qū)域的光(近紅外了測(cè)定近紅外光，不得不使用InGaAs等復(fù)合半導(dǎo)體基底的受光元件而不使用Si基底。然而，復(fù)合半導(dǎo)體基底的受光元件相比于一般的Si基底的受光元件而言難以集成化，且能夠構(gòu)成為多通道受光器的元件數(shù)最多被限制為512個(gè)左右。即，能夠在薄片化工藝中使用的多色儀與一般的多色儀相比，波長(zhǎng)分辨率受到限制。[0091]當(dāng)晶圓的厚度變大時(shí)，在晶圓內(nèi)部產(chǎn)生的干涉譜變密，形成一個(gè)干涉波形的數(shù)據(jù)點(diǎn)變少，因此希望盡可能地增多元件數(shù)，但構(gòu)成近紅外光用的多色儀的受光元件的元件數(shù)來(lái)使形成一個(gè)干涉波形的數(shù)據(jù)點(diǎn)增加。另一方面，由于使測(cè)定波長(zhǎng)范圍變窄，因此對(duì)厚度小的晶圓的測(cè)定變難。因此，以構(gòu)成多色儀的受光元件的元件數(shù)為基準(zhǔn)，根據(jù)測(cè)定對(duì)象的厚度范圍來(lái)設(shè)計(jì)測(cè)定波長(zhǎng)范圍。[0092]在此，由多色儀測(cè)定的厚度的精度(準(zhǔn)確度)單純地依賴于多色儀的波長(zhǎng)精度(準(zhǔn)確度)。因此，需要對(duì)多色儀進(jìn)行高精度的波長(zhǎng)校正?！安ㄩL(zhǎng)校正”是入射的光的波長(zhǎng)值。構(gòu)成多色儀的各個(gè)受光元件與測(cè)定波長(zhǎng)范圍相關(guān)聯(lián)，“波長(zhǎng)校正”包括決定各個(gè)受光元件與向各受光元件入射的測(cè)定波長(zhǎng)的關(guān)聯(lián)的情況。[0093]如上述的現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)所示，一般利用已知的基準(zhǔn)波長(zhǎng)進(jìn)行波長(zhǎng)校正。典型地說(shuō)，11使用作為國(guó)際計(jì)量委員會(huì)(CIPM)的建議值的水銀燈等的亮線波長(zhǎng)來(lái)進(jìn)行波長(zhǎng)校正。然而，關(guān)于將用于測(cè)定晶圓的厚度的近紅外區(qū)域作為測(cè)定波長(zhǎng)范圍的多色儀，根據(jù)測(cè)定對(duì)象的厚度范圍來(lái)選擇比較窄的近紅外區(qū)域的波長(zhǎng)范圍，因此很多情況下在測(cè)定波長(zhǎng)范圍不存在適當(dāng)?shù)幕鶞?zhǔn)亮線。另外，即使存在基準(zhǔn)亮線，很多情況下與該基準(zhǔn)亮線對(duì)應(yīng)的受光元件數(shù)只有2～3個(gè)。因此，例如即使應(yīng)用JISZ8725中規(guī)定的重心波長(zhǎng)的計(jì)算，也存在缺乏準(zhǔn)確性這樣的課題。[0094]特別地，以往也不存在測(cè)定幾百μm的晶圓的厚度這樣的需求，不存在準(zhǔn)確地進(jìn)行設(shè)定了比較窄的測(cè)定波長(zhǎng)范圍的多色儀的波長(zhǎng)校正的技術(shù)。[0095]本申請(qǐng)的發(fā)明人們針對(duì)如上所述的背景和課題進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)明了一種全新的波長(zhǎng)校正的方法。[0096]<C.解決方案的概要>[0097]接著，對(duì)本申請(qǐng)的發(fā)明人們發(fā)明出的波長(zhǎng)校正方法的概要進(jìn)行說(shuō)明。[0098]圖4是用于說(shuō)明本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法的概要的圖。在圖4的(A)中示出了以往的使用基準(zhǔn)亮線的波長(zhǎng)校正方法的概要。參照?qǐng)D4的(A),使用放射包含預(yù)先已知的基準(zhǔn)亮線的光的基準(zhǔn)光源STL來(lái)進(jìn)行波長(zhǎng)校正。將從基準(zhǔn)光源STL放射出的光引導(dǎo)至分光測(cè)定部120,并獲取從多通道受光器127輸出的每個(gè)受光元件的檢測(cè)結(jié)果。通過(guò)使獲取到的每個(gè)受光元件的檢測(cè)結(jié)果與基準(zhǔn)光源STL的已知的基準(zhǔn)亮線相關(guān)聯(lián)，來(lái)實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)校正。[0099]與此相對(duì)地，在圖4的(B)中示出了本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法的概要。參照?qǐng)D4的(B),在本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中，使用厚度和光學(xué)常數(shù)(折射率和消光系數(shù))已知的標(biāo)準(zhǔn)試樣ST。[0100]在本說(shuō)明書(shū)中，“標(biāo)準(zhǔn)試樣”是指能夠?qū)崿F(xiàn)本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法的精度、厚度以及光學(xué)常數(shù)(折射率和消光系數(shù))已知的物質(zhì)?！皹?biāo)準(zhǔn)試樣”優(yōu)選為可追溯到長(zhǎng)度的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的試樣，但并非始終要求是可追溯到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的試樣。即，標(biāo)準(zhǔn)試樣ST包含在本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中使用的厚度、折射率及消光系數(shù)已知的物質(zhì)。[0101]對(duì)標(biāo)準(zhǔn)試樣ST照射來(lái)自測(cè)定用光源110的測(cè)定光，并測(cè)定反射率干涉譜(或透過(guò)率干涉譜)。以下，將實(shí)際測(cè)定出的反射率干涉譜或透過(guò)率干涉譜也稱為情況下，從測(cè)定用光源110照射的測(cè)定光的光譜也可以未知。[0102]另外，基于標(biāo)準(zhǔn)試樣ST的已知的厚度和光學(xué)常數(shù)，在理論上計(jì)算出反射率干涉譜(或透過(guò)率干涉譜)。以下，將根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)試樣ST在理論上計(jì)算出的反射率干涉譜(或透過(guò)率干[0103]通過(guò)將根據(jù)多通道受光器127的每個(gè)受光元件的檢測(cè)結(jié)果計(jì)算出的實(shí)測(cè)干涉譜與根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)試樣ST在理論上計(jì)算出的理論干涉譜相關(guān)聯(lián)，來(lái)實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)校正。[0104]圖5是用于說(shuō)明本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中的理論干涉譜與實(shí)測(cè)干涉譜的關(guān)聯(lián)的圖。[0105]在圖5的(A)中示出使用光學(xué)測(cè)定裝置100測(cè)定出的實(shí)測(cè)干涉譜的一例。圖5的(A)所示的實(shí)測(cè)干涉譜示出從厚度為194.028μm的標(biāo)準(zhǔn)試樣ST測(cè)定出的反射率干涉譜的一例。圖5的(A)所示的實(shí)測(cè)干涉譜以構(gòu)成多通道受光器127的受光元件的元件編號(hào)為橫軸。[0106]在圖5的(B)中示出基于標(biāo)準(zhǔn)試樣ST的已知的厚度和光學(xué)常數(shù)在理論上導(dǎo)出的理論干涉譜的一例。對(duì)應(yīng)于從圖5的(A)所示的標(biāo)準(zhǔn)試樣ST測(cè)定出的反射率干涉譜，在圖5的(B)中示出從相同的標(biāo)準(zhǔn)試樣ST在理論上導(dǎo)出的反射率干涉譜的一例。圖5的(B)所示的理論干涉譜以波長(zhǎng)為橫軸。[0107]本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法將構(gòu)成多通道受光器127的各個(gè)受光元件對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值決定為使圖5的(A)所示的實(shí)測(cè)干涉譜與圖5的(B)所示的理論干涉譜相匹配。[0108]圖6是示出本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法的概要過(guò)程的流程圖。典型地說(shuō)，圖6所示的各步驟由光學(xué)測(cè)定裝置100的運(yùn)算部130(圖2)執(zhí)行。[0109]參照?qǐng)D6,光學(xué)測(cè)定裝置100基于標(biāo)準(zhǔn)試樣ST的已知的厚度和光學(xué)常數(shù)(折射率和消光系數(shù))來(lái)計(jì)算反射率干涉譜等理論干涉譜(步驟S1)。步驟S1是以下處理：獲取基于標(biāo)準(zhǔn)試樣ST的已知的厚度、折射率以及消光系數(shù)進(jìn)行數(shù)學(xué)計(jì)算得出的與標(biāo)準(zhǔn)試樣ST有關(guān)的反射率干涉譜或透過(guò)率干涉譜，來(lái)作為理論干涉譜。然后，光學(xué)測(cè)定裝置100決定給出理論干涉譜中包含的極值的位置(波長(zhǎng))(步驟S2)。[0110]另外，使用光學(xué)測(cè)定裝置100測(cè)定標(biāo)準(zhǔn)試樣ST,來(lái)獲取反射率干涉譜等實(shí)測(cè)干涉譜(步驟S3)。步驟S3是以下處理：獲取利用多通道受光器127經(jīng)由衍射光柵125接收對(duì)標(biāo)準(zhǔn)試樣ST照射測(cè)定用光源110產(chǎn)生的測(cè)定光而產(chǎn)生的反射光或透過(guò)光所生成的反射率干涉譜或透過(guò)率干涉譜來(lái)作為實(shí)測(cè)干涉譜。[0111]然后，光學(xué)測(cè)定裝置100計(jì)算給出實(shí)測(cè)干涉譜中包含的極值的位置(元件編號(hào))(步驟S4)。這樣，光學(xué)測(cè)定裝置100使用用于確定多通道受光器127中包括的各受光元件的元件編號(hào)，來(lái)決定給出實(shí)測(cè)干涉譜中包含的各極值的元件編號(hào)。[0112]此外，步驟S1和步驟S2的處理以及步驟S3和步驟S4的處理既可以并行地執(zhí)行，也可以先執(zhí)行任一方。并且，關(guān)于步驟S1和步驟S2的處理，也可以不由光學(xué)測(cè)定裝置100執(zhí)行所有的處理，例如也可以從外部接收預(yù)先計(jì)算出的理論干涉譜。[0113]在本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中，可以采用給出在理論干涉譜和實(shí)測(cè)干涉譜中出現(xiàn)的極小值的位置以及給出極大值的位置中的任一位置，或者也可以采用給出極小值的位置和給出極大值的位置這兩個(gè)位置。但是，在根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)試樣ST的反射率干涉譜進(jìn)行波長(zhǎng)校正的情況下，考慮極值附近的譜形狀的尖銳度等，優(yōu)選采用給出極小值的位置。在以下的說(shuō)譜中給出極小值的元件編號(hào)也稱為“實(shí)測(cè)谷值[0114]接著，獲取用于決定理論干涉譜與實(shí)測(cè)干涉譜的關(guān)于波長(zhǎng)的關(guān)聯(lián)的關(guān)聯(lián)信息(步驟S5)。在將理論干涉譜與實(shí)測(cè)干涉譜關(guān)于波長(zhǎng)相關(guān)聯(lián)時(shí)，為了不產(chǎn)生關(guān)聯(lián)的偏差、即相位偏移而使用關(guān)聯(lián)信息。作為一例，也可以采用使用亮線光源得到的信息來(lái)作為關(guān)聯(lián)信息(詳細(xì)情況在后面敘述)。[0115]光學(xué)測(cè)定裝置100參照在步驟S5中獲取到的關(guān)聯(lián)信息，來(lái)決定表示給出理論干涉譜中包含的極值的波長(zhǎng)值與給出實(shí)測(cè)干涉譜中包含的極值的元件編號(hào)的關(guān)系的波長(zhǎng)校正式(步驟S6)。這樣，光學(xué)測(cè)定裝置100基于給出理論干涉譜中包含的極值的位置(波長(zhǎng))與給出實(shí)測(cè)干涉譜中包含的極值的位置(元件編號(hào))的關(guān)聯(lián)，來(lái)決定波長(zhǎng)校正式。換言之，光學(xué)測(cè)定裝置100基于在理論干涉譜中出現(xiàn)的拐點(diǎn)與在實(shí)測(cè)干涉譜中出現(xiàn)的拐點(diǎn)的關(guān)聯(lián)，來(lái)決定波長(zhǎng)校正式。[0116]光學(xué)測(cè)定裝置100基于在步驟S6中決定出的波長(zhǎng)校正式，來(lái)決定構(gòu)成多通道受光器127的各受光元件的波長(zhǎng)值(步驟S7)。在步驟S7中，針對(duì)多通道受光器127的波長(zhǎng)校正暫時(shí)完成。[0117]但是，也可以將在步驟S7中決定出的各受光元件的波長(zhǎng)值設(shè)為初始值，來(lái)追加地執(zhí)行用于進(jìn)一步提高精度(準(zhǔn)確度)的校正處理。[0118]更具體地說(shuō)，光學(xué)測(cè)定裝置100將在步驟S7中決定出的波長(zhǎng)校正式的各項(xiàng)系數(shù)設(shè)為初始值，來(lái)進(jìn)行理論干涉譜與實(shí)測(cè)干涉譜之間的擬合解析，由此對(duì)波長(zhǎng)校正式的各項(xiàng)系數(shù)進(jìn)行校正(微調(diào))(步驟S8)。[0119]步驟S6和S7的處理以及步驟S6～S8的處理相當(dāng)于以下處理：參照關(guān)聯(lián)信息將用于規(guī)定多通道受光器127中包括的多個(gè)受光元件的波長(zhǎng)值的波長(zhǎng)校正式?jīng)Q定為使對(duì)實(shí)測(cè)干涉譜應(yīng)用波長(zhǎng)校正式所得到的結(jié)果與理論干涉譜一致。[0120]最終，光學(xué)測(cè)定裝置100基于在步驟S8中校正了各項(xiàng)系數(shù)的波長(zhǎng)校正式，來(lái)決定構(gòu)成多通道受光器127的各受光元件的波長(zhǎng)值(步驟S9)。即，在步驟S9中，針對(duì)多通道受光器127的波長(zhǎng)校正完成。光學(xué)測(cè)定裝置100對(duì)表示在步驟S9中決定出的各受光元件的波長(zhǎng)值的參數(shù)進(jìn)行存儲(chǔ)(步驟S10)。然后，波長(zhǎng)校正完成。[0121]<D.理論干涉譜的計(jì)算(步驟S1)以及給出理論干涉譜中包含的極值的位置(波長(zhǎng))的決定(步驟S2)>[0122]接著，說(shuō)明圖6所示的波長(zhǎng)校正方法的處理過(guò)程中的理論干涉譜的計(jì)算(步驟S1)以及給出理論干涉譜中包含的極值的位置(波長(zhǎng))的決定(步驟S2)。[0123]在步驟S1中，基于標(biāo)準(zhǔn)試樣ST的已知的厚度d?和光學(xué)常數(shù)(折射率n?和消光系數(shù)k?)來(lái)計(jì)算理論干涉譜。作為理論干涉譜的一例的反射率干涉譜能夠如下那樣計(jì)算出。此外，雖然沒(méi)有記載詳細(xì)的說(shuō)明，但也能夠通過(guò)同樣的過(guò)程來(lái)計(jì)算透過(guò)率干涉譜。[0124]首先，假定在空氣(復(fù)折射率N。)中配置有標(biāo)準(zhǔn)試樣ST(復(fù)折射率N?)的狀態(tài)。能夠如以下的(1-1)式和(1-2)式那樣表示復(fù)折射率N?和復(fù)折射率N?。[0127]在此，n。(=1)是空氣的折射率，n?是標(biāo)準(zhǔn)試樣ST的折射率，k?是標(biāo)準(zhǔn)試樣ST的消光系數(shù)，j是虛數(shù)單位。[0128]考慮到在標(biāo)準(zhǔn)試樣ST內(nèi)部的多重反射，導(dǎo)入在標(biāo)準(zhǔn)試樣ST中產(chǎn)生的反射光(空氣→標(biāo)準(zhǔn)試樣ST→空氣)的振幅反射率r。?和相位因子β?。[0129]關(guān)于振幅反射率r?1,利用菲涅耳系數(shù)來(lái)計(jì)算s偏振光的振幅反射率和p偏振光的振幅反射率。在測(cè)定光相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)試樣ST垂直地入射的情況下，s偏振光與p偏振光的差異消失，因此均能夠作為同一振幅反射率r。來(lái)處理。似為消光系數(shù)k?≈0,則能夠得到如以下的(2)式那樣的近似式。此時(shí)，振幅反射率r??和相位因子β?均為實(shí)數(shù)。(2)式中的強(qiáng)度反射率R表示反射率干涉譜。[0134]關(guān)于強(qiáng)度反射率R,引發(fā)標(biāo)準(zhǔn)試樣ST表面的反射光與標(biāo)準(zhǔn)試樣ST背面的反射光相[0137]根據(jù)(3)式，能夠決定在理論干涉譜中給出極小值的波長(zhǎng)(理論谷值波長(zhǎng)λ)。在譜中包含的極值的波長(zhǎng)與給出實(shí)測(cè)干涉譜中包含的極值的元件編號(hào)相關(guān)聯(lián)的處理中所需[0141]<E.實(shí)測(cè)干涉譜的獲取(步驟S3)以及給出實(shí)測(cè)干涉譜中包含的極值的位置(元件情況下產(chǎn)生的光干涉并非僅包括標(biāo)準(zhǔn)試樣ST表面的一次反射光與標(biāo)準(zhǔn)試樣ST背面的一次干涉譜嚴(yán)格來(lái)說(shuō)并不是余弦波(cos2β?的一次式),而是在峰值側(cè)的極值附近成為寬闊的形[0147]此外，在測(cè)定透過(guò)率干涉譜的情況下，與反射率干涉譜相反，在峰值側(cè)的極值附近成為尖銳的形狀，在谷值側(cè)的極值附近成為寬闊的形狀。[0148]例如，在使用了包括Si的標(biāo)準(zhǔn)試樣ST的情況下，由于折射率n?≈3.5,因此標(biāo)準(zhǔn)試樣ST與空氣(折射率n?=1)之間的折射率差(嚴(yán)格地說(shuō)是復(fù)折射率差的絕對(duì)值)相對(duì)地變大。其結(jié)果，與1相比，振幅反射率r??的絕對(duì)值的平方值(Ir?112)不能忽視，顯著地出現(xiàn)如上述那樣的極值的形狀差。此外，在如玻璃(折射率n?≈1.4～1.5)那樣與空氣(折射率n?=1)之間的折射率差(復(fù)折射率差的絕對(duì)值)比較小的情況下，振幅反射率r??的絕對(duì)值的平方值(Ir??12)與1相比足夠小(Ir??I2<<1),因此如上述那樣的極值的形狀差變得平緩。[0149]考慮到以上情況，在計(jì)算給出反射率干涉譜(實(shí)測(cè)干涉譜)中包含的極值的元件編號(hào)的情況下，優(yōu)選以谷值側(cè)的極值為對(duì)象。與峰值側(cè)相比，谷值側(cè)側(cè)具有尖銳的譜形狀，能夠提高給出極值的元件位置的計(jì)算精度。即，在采用反射率干涉譜來(lái)作為理論干涉譜、采用從標(biāo)準(zhǔn)試樣ST獲取到的反射率干涉譜來(lái)作為實(shí)測(cè)干涉譜的情況下，也可以基于給出理論干涉譜中包含的極小值的位置(波長(zhǎng))和給出實(shí)測(cè)干涉譜中包含的極小值的位置(元件編號(hào)),來(lái)評(píng)價(jià)理論干涉譜與實(shí)測(cè)干涉譜的一致度。[0151]對(duì)給出反射率干涉譜(實(shí)測(cè)干涉譜)中包含的極值的元件編號(hào)進(jìn)行計(jì)算。在實(shí)測(cè)干涉譜的情況下，由于針對(duì)每個(gè)受光元件輸出表示反射率的值，因此表示反射率的數(shù)據(jù)變得[0152]在計(jì)算給出極值的元件編號(hào)時(shí)，也可以在實(shí)測(cè)干涉譜中包含的極值附近的離散的數(shù)據(jù)中決定給出最小值(或最大值)的元件編號(hào)(整數(shù)值)。[0153]為了提高校正精度，也可以采用基于每個(gè)受光元件的輸出值計(jì)算出的虛擬元件編號(hào)(非整數(shù)值)。作為虛擬元件編號(hào)的計(jì)算方法的一例，也可以將各受光元件的輸出值(或輸出值的變換值)作為權(quán)重來(lái)計(jì)算重心，并將計(jì)算出的重心決定為給出極值的元件編號(hào)。[0154]此外，在基于谷值側(cè)的極值來(lái)計(jì)算虛擬元件編號(hào)的情況下，由于越接近極值則受光元件的輸出值越小，因此優(yōu)選不直接使用輸出值，而通過(guò)規(guī)定的變換處理將輸出值變換為適于計(jì)算重心的值(權(quán)重)。[0155]圖7是用于說(shuō)明本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中的虛擬元件編號(hào)的計(jì)算方法的圖。參照?qǐng)D7的(A),在極小值(谷值)附近，輸出值(反射率值)最小，越遠(yuǎn)離極小值(谷值)則輸出值越大。因此，不是直接采用測(cè)定出的反射率的輸出值來(lái)作為用于計(jì)算重心的權(quán)重?cái)?shù)據(jù)，而是將該輸出值變換為適于計(jì)算重心的值(權(quán)重)。[0156]具體地說(shuō)，也可以采用以下處理(符號(hào)變換處理):使每個(gè)受光元件的輸出值的符號(hào)(增減)反轉(zhuǎn)，以越接近極值則越示出極大值(峰值)的方式進(jìn)行變更。另外，也可以采用以下處理(偏移處理):變換輸出值，以使在作為重心計(jì)算對(duì)象的區(qū)間(元件編號(hào)方向)的在端部附近的權(quán)重接近零。也可以在進(jìn)行了這樣的變換處理之后，如圖7的(B)所示那樣計(jì)算虛擬元件編號(hào)。[0157]在針對(duì)實(shí)測(cè)干涉譜中包含的各極值(谷值)計(jì)算虛擬元件編號(hào)(實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào))的情況下，也可以針對(duì)強(qiáng)度反射率R設(shè)定閾值R。(例如，R?=0.31),僅將各受光元件的強(qiáng)度反射率R(p)比該閾值R?小的元件編號(hào)組作為重心計(jì)算的對(duì)象。在該情況下，也可以應(yīng)用符號(hào)變換處理和偏移處理這兩種處理，根據(jù)各受光元件的強(qiáng)度反射率R(p)來(lái)計(jì)算變換值R'(p)(=R?-R(p)),并將計(jì)算出的變換值R(p)用作權(quán)重來(lái)計(jì)算虛擬元件編號(hào)(參照?qǐng)D7的[0158]具體地說(shuō)，各極值(谷值)的虛擬元件編號(hào)(實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)p)能夠如以下的于不一定需要高精度地計(jì)算元件編號(hào)，因此也可以將整(給出相鄰極大值的波長(zhǎng)間隔或給出相鄰的極小值的波長(zhǎng)間隔)內(nèi)即可，可以使用任何光涉譜中包含的極值(峰值和谷值)的數(shù)量變[0169]圖8是用于說(shuō)明本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中的將亮線光源30用作關(guān)聯(lián)信息的情況的圖。參照?qǐng)D8,將從任意的亮線光源30照射出的光引導(dǎo)至光學(xué)測(cè)定裝置100的分光測(cè)定[0170]圖9是用于說(shuō)明本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中的利用來(lái)自亮線光源30的關(guān)聯(lián)信息[0171]以下，對(duì)使疊加于理論干涉譜的理論谷值波長(zhǎng)與疊加于實(shí)測(cè)干涉譜的實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)相關(guān)聯(lián)的方法進(jìn)行說(shuō)明。[0172]亮線光源30的亮線波長(zhǎng)λB作為理論值是已知的。另外，根據(jù)利用分光測(cè)定部120測(cè)定從亮線光源30照射出的光所得到的亮線光源譜，也能夠計(jì)算亮線所入射的受光元件的位夠決定與各個(gè)實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)對(duì)應(yīng)的干涉次數(shù)指數(shù)m。[0173]在理論干涉譜中，由于與各個(gè)干涉次數(shù)指數(shù)m對(duì)應(yīng)的理論谷值波長(zhǎng)λ是已知的，因此通過(guò)決定與各個(gè)實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)對(duì)應(yīng)的干涉次數(shù)指數(shù)m,能夠使理論干涉譜中包含的理論谷值波長(zhǎng)λ與實(shí)測(cè)干涉譜中包含的實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)p相關(guān)聯(lián)。[0174]更具體地說(shuō)，關(guān)于理夠唯一地決定目標(biāo)干涉次數(shù)指數(shù)m。[0175]另一方面，關(guān)于實(shí)測(cè)干涉譜，獲取與測(cè)定出的亮線元件編號(hào)pBL相鄰的兩個(gè)實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)。由于所獲取到的兩個(gè)實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)與關(guān)于理論干涉譜決定出的整數(shù)值m及整數(shù)值m+1分別對(duì)應(yīng)，因此利用該對(duì)應(yīng)關(guān)系來(lái)決定與各個(gè)實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)對(duì)應(yīng)的干涉次數(shù)指數(shù)。[0176]如上述的(4)式所示，由于理論谷值波長(zhǎng)λ隨著干涉次數(shù)指數(shù)m的增加而減少，因此將與同亮線元件編號(hào)pBL相鄰的兩個(gè)實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)分別關(guān)聯(lián)的整數(shù)值m及整數(shù)值m+1[0177]即，元件編號(hào)比亮線元件編號(hào)pB小(即，相當(dāng)于短波長(zhǎng)側(cè))的受光元件對(duì)應(yīng)于干涉次數(shù)指數(shù)m+1(實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)pm+1),元件編號(hào)比亮線元件編號(hào)p?大(即，相當(dāng)于長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè))的受光元件對(duì)應(yīng)于干涉次數(shù)指數(shù)m(實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)p)。[0178]關(guān)于除此以外的實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)，以實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)p或?qū)崪y(cè)谷值元件編號(hào)[0179]當(dāng)以數(shù)學(xué)方式說(shuō)明上述的處理時(shí)，關(guān)于亮線光源30的亮線波長(zhǎng)λB,導(dǎo)入亮線指數(shù)mBL(非整數(shù)值),從而能夠規(guī)定與上述(4)式相同形式的以下的(6)式。[0181]決定使上述的(6)式成立那樣的亮線指數(shù)mBL。與決定出的亮線指數(shù)mBL相鄰的兩個(gè)整數(shù)是上述的整數(shù)值m和整數(shù)值m+1。[0182]使用決定出的整數(shù)值m和整數(shù)值m+1,在實(shí)測(cè)干涉譜中將與亮線元件編號(hào)pBL相鄰的兩個(gè)實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)中的元件編號(hào)小的一方(即，短波長(zhǎng)側(cè))決定為與干涉次數(shù)指數(shù)m+1對(duì)應(yīng)的元件編號(hào)pm+1,將元件編號(hào)大的一方(即，長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè))決定為與干涉次數(shù)指數(shù)m對(duì)應(yīng)的元件編號(hào)p。[0183]根據(jù)這樣的處理過(guò)程，能夠通過(guò)利用亮線光源30的亮線元件編號(hào)pBL和亮線波長(zhǎng)λB來(lái)決定與各個(gè)實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)對(duì)應(yīng)的干涉次數(shù)指數(shù)m(整數(shù)值)。即，能夠?qū)⒗碚摴戎挡ㄩL(zhǎng)λ與實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)p相關(guān)聯(lián)。[0184]如上所述，能夠通過(guò)利用亮線譜中的亮線峰值的出現(xiàn)位置和亮線波長(zhǎng)來(lái)決定實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)與理論谷值波長(zhǎng)之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。這樣，也可以基于在通過(guò)利用多通道受光器127經(jīng)由衍射光柵125接收亮線光源30產(chǎn)生的包含已知的亮線波長(zhǎng)的光而獲取到的測(cè)定結(jié)果中出現(xiàn)的關(guān)于亮線波長(zhǎng)的特征，來(lái)生成關(guān)聯(lián)信息。[0185]<G.波長(zhǎng)校正式的決定(步驟S6)以及各受光元件的波長(zhǎng)值的決定(步驟S7)>[0186]接著，說(shuō)明圖6所示的波長(zhǎng)校正方法的處理過(guò)程中的波長(zhǎng)校正式的決定(步驟S6)以及各受光元件的波長(zhǎng)值的決定(步驟S7)。[0187]如上所述，通過(guò)執(zhí)行步驟S1和步驟S2來(lái)決定在理論干涉譜中給出各個(gè)極值的位置(波長(zhǎng))。另外，通過(guò)執(zhí)行步驟S3和步驟S4來(lái)決定在實(shí)測(cè)干涉譜中給出各個(gè)極值的位置(元件編號(hào))。在此基礎(chǔ)上，基于給出理論干涉譜中包含的極值的位置(波長(zhǎng))和給出實(shí)測(cè)干涉譜中包含的極值的位置(元件編號(hào)),來(lái)評(píng)價(jià)理論干涉譜與實(shí)測(cè)干涉譜的一致度，由此決定波長(zhǎng)校正式。[0188]如上所述，作為優(yōu)選的方式，也可以著眼于給出理論干涉譜和實(shí)測(cè)干涉譜中包含的極小值的位置。在該情況下，基于給出理論干涉譜中包含的極小值的理論谷值波長(zhǎng)與給出實(shí)測(cè)干涉譜中包含的極小值的實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)的對(duì)應(yīng)關(guān)系，來(lái)評(píng)價(jià)理論干涉譜與實(shí)測(cè)干涉譜的一致度。[0190]圖10是示出本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中的理論谷值波長(zhǎng)與實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)的對(duì)應(yīng)關(guān)系的一例的圖。在圖10中示出針對(duì)厚度為194.028μm的標(biāo)準(zhǔn)試樣ST得到的對(duì)應(yīng)關(guān)系的一例。[0191]在圖10中，谷值編號(hào)是對(duì)谷值側(cè)的各極值依次分配的識(shí)別編號(hào)，干涉次數(shù)指數(shù)m(整數(shù)值)是事后計(jì)算在上述的(3)式中包含的干涉次數(shù)指數(shù)m所得到的值。[0192]也可以使用理論谷值波長(zhǎng)λ與實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)p的對(duì)應(yīng)關(guān)系來(lái)決定波長(zhǎng)校正[0193]圖11是示出本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中的基于理論谷值波長(zhǎng)與實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)的對(duì)應(yīng)關(guān)系決定的波長(zhǎng)校正式的一例的圖。參照?qǐng)D11,也可以對(duì)理論谷值波長(zhǎng)相對(duì)于實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)的變化應(yīng)用回歸分析來(lái)決定波長(zhǎng)校正式。[0194]波長(zhǎng)校正式也可以包含與包括衍射光柵125和多通道受光器127的光學(xué)系統(tǒng)相應(yīng)波長(zhǎng)范圍窄的分光測(cè)定裝置中，由于能夠?qū)⒃幪?hào)與波長(zhǎng)值的關(guān)系大致視為線性，因此即使考慮校正項(xiàng)，也能夠用三次函數(shù)進(jìn)行精度足夠高的近似。但是，也可以使用更高次的波[0195]例如，也可以通過(guò)決定如以下所示那樣的(7)式的參數(shù)來(lái)求出波長(zhǎng)校正式。[0197]通過(guò)使用上述的(7)式，能夠用元件編號(hào)p的三次函數(shù)表示波長(zhǎng)λ來(lái)進(jìn)行回歸分析。能夠使用如圖11所示的理論谷值波長(zhǎng)λ與實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)p的對(duì)應(yīng)關(guān)系來(lái)決定規(guī)定(7)定用于規(guī)定(7)式的各項(xiàng)系數(shù)的值。[0198]即，通過(guò)應(yīng)用最小平方法或非線性最小平方法等，來(lái)搜索并決定使理論干涉譜與對(duì)實(shí)測(cè)干涉譜應(yīng)用波長(zhǎng)校正式所得到的結(jié)果的一致度最大(即，使偏差最小)的各項(xiàng)系數(shù)。[0199]在圖11中示出按照這樣的過(guò)程決定出的波長(zhǎng)校正式的一例。在圖11所示的波長(zhǎng)校正式中決定為，系數(shù)A=3.520090×10-10,系數(shù)B=-7.769740×10??,[0200]由決定出的系數(shù)規(guī)定的波長(zhǎng)校正式的相關(guān)系數(shù)為R2=1.000000(小數(shù)點(diǎn)以后第六位為止為0),可知能夠以足夠高的精度對(duì)理論谷值波長(zhǎng)λ與實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)p的對(duì)應(yīng)關(guān)系進(jìn)行近似。[0201]也可以代替如上述(7)式所示那樣的高次的波長(zhǎng)校正式，而采用考慮了分光測(cè)定部120的光學(xué)系統(tǒng)(包括衍射光柵125和多通道受光器127)的波長(zhǎng)校正式。更具體地說(shuō)，能夠采用如以下所示的依賴于與光學(xué)系統(tǒng)有關(guān)的Grating方程式的波長(zhǎng)校正式。[0202]例如，在采用Czerny-Turner型的光學(xué)系統(tǒng)來(lái)作為分光測(cè)定部120的光學(xué)系統(tǒng)的情況下，能夠采用如以下的(8)式那樣的波長(zhǎng)校正式。衍射光柵與多通道受光器127的幾何配置關(guān)系以及多通道受光器127中的受光元件的配置間隔決定的已知的函數(shù)，a+△(p)相當(dāng)于衍射角。[0205]通過(guò)非線性最小平方法來(lái)決定用于規(guī)定(8)式的入射角a和調(diào)整系數(shù)γ的值。[0206]另外，在采用Fastie-Ebert型的光學(xué)系統(tǒng)來(lái)作為分光測(cè)定部120的光學(xué)系統(tǒng)的情況下，能夠采用如以下的(9)式那樣的波長(zhǎng)校正式。△(p)是由衍射光柵與多通道受光器127的幾何配置關(guān)系以及多通道受光器127中的受光元件的配置間隔決定的已知的函數(shù)，a+△(p)相當(dāng)于衍射角。[0209]在此，對(duì)在Fastie-Ebert型的光學(xué)系統(tǒng)中存在源自仰角w。的項(xiàng)的理由進(jìn)行說(shuō)明。首先，關(guān)于入射光(或衍射光)的傳播方向，考慮在衍射光柵刻線方向和衍射光柵法線方向延展出的平面上的投影。當(dāng)關(guān)于入射光(或衍射光)的傳播方向考慮在到該平面上投影后的成分時(shí)，在Czerny-Turner型的光學(xué)系統(tǒng)中，入射光(或衍射光)的在衍射光柵刻線方向上的成分為零，與此相對(duì)地，在Fastie-Ebert型的光學(xué)系統(tǒng)中，入射光(或衍射光)的在衍射光柵刻線方向上的成分不為零。即，將入射光(或衍射光)的傳播方向在該平面上投影后的方向與衍射光柵法線方向所成的角度以仰角w。(?≠0)的形式存在。因此，在Fastie-Ebert型的光學(xué)系統(tǒng)中，存在因仰角w?產(chǎn)生的校正項(xiàng)即cosy?[0210]通過(guò)非線性最小平方法來(lái)決定用于規(guī)定(9)式的入射角a和調(diào)整系數(shù)γ的值。[0211]并且，關(guān)于波長(zhǎng)校正式，也可以通過(guò)拉格朗日插值等決定為嚴(yán)格地通過(guò)各點(diǎn)的曲線，來(lái)代替如上述的(7)式～(9)式所示那樣使用一個(gè)函數(shù)對(duì)所有點(diǎn)進(jìn)行近似的方法。[0212]決定這樣的波長(zhǎng)校正式的項(xiàng)系數(shù)的處理是指以下處理：將用于規(guī)定多通道受光器127中包括的多個(gè)受光元件的波長(zhǎng)值的波長(zhǎng)校正式?jīng)Q定為使對(duì)實(shí)測(cè)干涉譜應(yīng)用波長(zhǎng)校正式所得到的結(jié)果與理論干涉譜一致。[0213](g2:受光元件的波長(zhǎng)值)[0214]通過(guò)將各元件編號(hào)p代入如上所述那樣決定出的波長(zhǎng)校正式，能夠決定構(gòu)成多通道受光器127的各受光元件的波長(zhǎng)值。例如，在采用了512個(gè)通道的多通道受光器127的情況的波長(zhǎng)值。決定出的各受光元件的波長(zhǎng)值被存儲(chǔ)到光學(xué)測(cè)定裝置100。[0215]通過(guò)以上的處理，針對(duì)多通道受光器127的波長(zhǎng)校正暫時(shí)完成。[0216]<H.波長(zhǎng)校正式的各項(xiàng)系數(shù)的校正(步驟S8)>[0217]接著，說(shuō)明圖6所示的波長(zhǎng)校正方法的處理過(guò)程中的波長(zhǎng)校正式的各項(xiàng)系數(shù)的校正(步驟S8)。[0218]將根據(jù)按照上述處理過(guò)程決定出的波長(zhǎng)校正式(λ(p))生成的波長(zhǎng)校正表(規(guī)定與每個(gè)元件編號(hào)對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)的表)反映到實(shí)測(cè)干涉譜和理論干涉譜中，基于反映結(jié)果之間的比較結(jié)果對(duì)波長(zhǎng)校正式進(jìn)行校正(微調(diào))。通過(guò)重復(fù)進(jìn)行這種波長(zhǎng)校正表的反映以及波長(zhǎng)校正式的校正，能夠決定精度高的波長(zhǎng)校正式。[0219]圖12是用于說(shuō)明本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中的對(duì)波長(zhǎng)校正式的各項(xiàng)系數(shù)的校正處理的圖。參照?qǐng)D12,根據(jù)已先決定出的波長(zhǎng)校正式50生成波長(zhǎng)校正表52((1)生成)。[0220]接著，將所生成的波長(zhǎng)校正表52反映到實(shí)測(cè)干涉譜和理論干涉譜中。[0221]具體地說(shuō)，通過(guò)對(duì)從標(biāo)準(zhǔn)試樣ST測(cè)定出的實(shí)測(cè)干涉譜60(以元件編號(hào)為橫軸的譜)分配在波長(zhǎng)校正表52中規(guī)定的與各受光元件對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值，來(lái)更新實(shí)測(cè)干涉譜62(以波長(zhǎng)為橫軸的譜)((2)反映)。[0222]另外，基于所生成的波長(zhǎng)校正表52來(lái)更新理論干涉譜70((3)反映(重新生成))。更具體地說(shuō)，如果將上述(2)式所示的振幅反射率r?1和相位因子β?代入強(qiáng)度反射率R,則使強(qiáng)編號(hào)p為變量的波長(zhǎng)校正式給出。更新理論干涉譜70。[0224]將實(shí)測(cè)干涉譜62與理論干涉譜70進(jìn)行比較((4)比較)。基于比較結(jié)果來(lái)更新波長(zhǎng)校正式的各項(xiàng)系數(shù)((5)系數(shù)更新)。此外，在該比較以及系數(shù)更新中，也可以使用最小平方法擬合解析等。[0225]重復(fù)執(zhí)行圖12所示的(1)～(5)的處理，直到波長(zhǎng)校正式表示出充分的精度為止。[0226]圖13是示出本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中的對(duì)波長(zhǎng)校正式的各項(xiàng)系數(shù)的校正處理(步驟S8)的詳細(xì)的處理過(guò)程的流程圖。典型地，光學(xué)測(cè)定裝置100的運(yùn)算部130(圖2)執(zhí)行圖13所示的各步驟。[0227]參照?qǐng)D13,光學(xué)測(cè)定裝置100根據(jù)已先決定出的波長(zhǎng)校正式來(lái)生成波長(zhǎng)校正表(與各受光元件對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值的定義)(步驟S81)。[0228]接著，光學(xué)測(cè)定裝置100將在步驟S81中生成的波長(zhǎng)校正表或在步驟S86中更新后的波長(zhǎng)校正表反映到實(shí)測(cè)干涉譜中(步驟S82)。更具體地說(shuō)，通過(guò)對(duì)從標(biāo)準(zhǔn)試樣ST測(cè)定出的實(shí)測(cè)干涉譜60(以元件編號(hào)為橫軸的譜)分配與在波長(zhǎng)校正表中規(guī)定的各受光元件對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值，來(lái)更新實(shí)測(cè)干涉譜62(以波長(zhǎng)為橫軸的譜)。[0229]另外，光學(xué)測(cè)定裝置100將在步驟S81中生成的波長(zhǎng)校正表或在步驟S86中更新后的波長(zhǎng)校正表反映到理論干涉譜中(步驟S83)。更具體地說(shuō)，基于生成或更新后的波長(zhǎng)校正表，來(lái)更新與多通道受光器127的各受光元件對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值。重新計(jì)算與更新后的各受光元件對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值的光學(xué)常數(shù)(折射率n?和消光系數(shù)k?)。并且，基于標(biāo)準(zhǔn)試樣ST的厚度(已知)以及與重新計(jì)算出的各波長(zhǎng)值有關(guān)的光學(xué)常數(shù)(折射率n?和消光系數(shù)k?),來(lái)重新計(jì)算與各受光元件對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值下的強(qiáng)度反射率的理論值。最后，將與各個(gè)受光元件對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值下的強(qiáng)度反射率的理論值集合起來(lái)進(jìn)行理論干涉譜的更新。[0230]此外，步驟S82的處理和步驟S83的處理既可以并行地執(zhí)行，也可以先執(zhí)行任一方。[0231]接著，光學(xué)測(cè)定裝置100將在步驟S82中被更新后的實(shí)測(cè)干涉譜與在步驟S83中被更新后的理論干涉譜進(jìn)行比較(步驟S84)。更具體地說(shuō)，光學(xué)測(cè)定裝置100針對(duì)每個(gè)受光元件計(jì)算在步驟S82中被更新后的實(shí)測(cè)干涉譜(實(shí)測(cè)波形)與在步驟S83中被更新后的理論干涉譜(理論波形)的殘差的平方值，并計(jì)算將關(guān)于所有受光元件進(jìn)行殘差的平方值的合計(jì)所得到的殘差平方和。[0232]然后，光學(xué)測(cè)定裝置100基于步驟S84中的比較結(jié)果來(lái)校正波長(zhǎng)校正式的各項(xiàng)系數(shù)正，使得在步驟S84中計(jì)算出的殘差平方和最小化。[0233]然后，光學(xué)測(cè)定裝置100基于在步驟S84中被校正后的各項(xiàng)系數(shù)(A'、B'、C、D'),來(lái)更新波長(zhǎng)校正表(步驟S86)。[0234]然后，光學(xué)測(cè)定裝置100判斷用于使校正波長(zhǎng)校正式的各項(xiàng)系數(shù)的處理結(jié)束的條件是否成立(步驟S87)。如果條件不成立(在步驟S87中為“否”),則重復(fù)進(jìn)行步驟S82以后的處理。[0235]與此相對(duì)地，如果條件成立(在步驟S87中為“是”),則光學(xué)測(cè)定裝置100將在步驟S86中被更新后的波長(zhǎng)校正表決定為最終結(jié)果(步驟S88)。然后，處理返回。[0236]這樣，光學(xué)測(cè)定裝置100逐次更新波長(zhǎng)校正表，并且進(jìn)行(非線性)最小平方法擬合解析。[0237]此外，Si的消光系數(shù)k?≈10??~10??,與折射率n?≈3～4相比是足夠小的值，但在最終決定波長(zhǎng)校正式的擬合解析中，也可以使用將消光系數(shù)k?考慮在內(nèi)的更嚴(yán)密的理論波形。通過(guò)使用這樣的嚴(yán)密的理論波形，能夠提高擬合精度和膜厚的測(cè)定精度。[0238]以下，對(duì)通過(guò)如上述那樣校正波長(zhǎng)校正式的各項(xiàng)系數(shù)(步驟S8)而得到的效果的一例進(jìn)行說(shuō)明。[0239]圖14是示出本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中的關(guān)于波長(zhǎng)校正式的各項(xiàng)系數(shù)的校正結(jié)果的一例的圖。參照?qǐng)D14可知，通過(guò)校正波長(zhǎng)校正式的各項(xiàng)系數(shù)，實(shí)測(cè)干涉譜(實(shí)測(cè)波形)與理論干涉譜(理論波形)之間的殘差平方和減少，并且相關(guān)系數(shù)(R2)也成為更接近1的值。即，可知通過(guò)執(zhí)行對(duì)波長(zhǎng)校正式的各項(xiàng)系數(shù)的校正(步驟S8),能夠?qū)崿F(xiàn)更準(zhǔn)確的波長(zhǎng)校正。[0240]圖15是示出通過(guò)本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中的對(duì)波長(zhǎng)校正式的各項(xiàng)系數(shù)的校正而得到的效果的一例的圖。圖15所示的評(píng)價(jià)結(jié)果是將根據(jù)實(shí)測(cè)干涉譜求出的實(shí)測(cè)谷值元件編號(hào)p代入被校正了各項(xiàng)系數(shù)后的波長(zhǎng)校正式λ(p)來(lái)計(jì)算對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值(實(shí)測(cè)谷值波長(zhǎng)λ(p))所得到的。在此基礎(chǔ)上，評(píng)價(jià)了實(shí)測(cè)谷值波長(zhǎng)λ(p)相對(duì)于所對(duì)應(yīng)的理論谷值波長(zhǎng)λ[0241]如圖15所示，可知校正各項(xiàng)系數(shù)后的理論谷值波長(zhǎng)與實(shí)測(cè)谷值波長(zhǎng)之間的波長(zhǎng)偏差△λ收斂為1/1000[nm]的級(jí)別，實(shí)現(xiàn)了較高的波長(zhǎng)校正精度。[0242]圖16是示出通過(guò)本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中的對(duì)波長(zhǎng)校正式的各項(xiàng)系數(shù)的校正而得到的反射率干涉譜的一例的圖。在圖16中，在同一坐標(biāo)系中描繪了反映了校正各項(xiàng)系數(shù)后的波長(zhǎng)校正表的實(shí)測(cè)干涉譜(反射率干涉譜)和理論干涉譜(反射率干涉譜)。[0243]如圖16所示，可知在校正各項(xiàng)系數(shù)后，實(shí)測(cè)干涉譜與理論干涉譜大致重合，另外，理論干涉譜的理論谷值波長(zhǎng)和實(shí)測(cè)干涉譜的實(shí)測(cè)谷值波長(zhǎng)也存在于相同的位置。[0244]接著，利用使用包括(A)厚度194.028μm的Si的標(biāo)準(zhǔn)試樣ST決定出的波長(zhǎng)校正表厚度610.107μm的各試樣實(shí)際測(cè)量出的波形進(jìn)行FFT解析來(lái)計(jì)算膜厚所得到的評(píng)價(jià)結(jié)果。[0245]圖17是示出使用了通過(guò)本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法得到的波長(zhǎng)校正表的膜厚測(cè)定的精度評(píng)價(jià)的一例的圖。在圖17的(A)中示出進(jìn)行了上述的校正波長(zhǎng)校正式的各項(xiàng)系數(shù)的處理(步驟S8)的情況下的精度評(píng)價(jià)的一例，在圖17的(B)中示出以往的使用了通過(guò)使用基準(zhǔn)光源的基準(zhǔn)亮線而得到的波長(zhǎng)校正表的情況下的精度評(píng)價(jià)的一例以供比較。即，在圖17的(A)和圖17的(B)之間，F(xiàn)FT解析條件完全相同，僅波長(zhǎng)表不同。[0246]在圖17中，“校正值”是指計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)綜合中心(NMIJ)針對(duì)各個(gè)試樣給定的厚度值，“FFT膜厚值”是指由本實(shí)施方式的光學(xué)測(cè)定裝置100測(cè)定出的厚度。[0247]將圖17的(A)所示的評(píng)價(jià)結(jié)果與圖17的(B)所示的評(píng)價(jià)結(jié)果進(jìn)行比較可知，通過(guò)采用本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法，光學(xué)測(cè)定裝置100能夠測(cè)定出接近原來(lái)的值的值、即能夠?qū)峓0248]圖18是示出使用通過(guò)本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法得到的波長(zhǎng)校正表計(jì)算出的反射率干涉譜的一例(試樣A)的圖。圖19是示出使用通過(guò)本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法得到的波長(zhǎng)校正表計(jì)算出的功率譜的一例(試樣A)的圖。[0249]圖20是示出使用通過(guò)本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法得到的波長(zhǎng)校正表計(jì)算出的反射率干涉譜的另一例(試樣B)的圖。圖21是示出使用通過(guò)本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法得到的波長(zhǎng)校正表計(jì)算出的功率譜的另一例(試樣B)的圖。[0250]圖22是示出使用通過(guò)本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法得到的波長(zhǎng)校正表計(jì)算出的反射率干涉譜的又一例(試樣C)的圖。圖23是示出使用通過(guò)本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法得到的波長(zhǎng)校正表計(jì)算出的功率譜的又一例(試樣C)的圖。[0251]無(wú)論在哪一個(gè)功率譜中，都在表示對(duì)應(yīng)的試樣的厚度的位置處產(chǎn)生峰值，意味著能夠通過(guò)FFT解析適當(dāng)?shù)販y(cè)定厚度。[0252]<I.標(biāo)準(zhǔn)試樣>[0253]在本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法中，需要準(zhǔn)確地獲取標(biāo)準(zhǔn)試樣ST的光學(xué)常數(shù)(折射率和消光系數(shù))。例如，在所使用的標(biāo)準(zhǔn)試樣ST的實(shí)際的光學(xué)常數(shù)與用于計(jì)算理論干涉譜的光學(xué)常數(shù)(例如，基于文獻(xiàn)值)之間存在偏差的情況下，波長(zhǎng)校正結(jié)果和所測(cè)定的膜厚值的不確定性也可能變大。[0254]然而，如果考慮用于波長(zhǎng)校正的標(biāo)準(zhǔn)試樣ST的物質(zhì)與作為測(cè)定對(duì)象的試樣的物質(zhì)同為Si、測(cè)定波長(zhǎng)范圍窄的近紅外區(qū)域中的光學(xué)常數(shù)能夠比較明確地決定、Si中摻雜的材質(zhì)的影響小等，則認(rèn)為不會(huì)成為使不確定性增大的主要原因。[0255]另外，通過(guò)隨時(shí)擴(kuò)充反映了用于波長(zhǎng)校正的標(biāo)準(zhǔn)試樣ST的物質(zhì)的屬性的光學(xué)常數(shù)[0256]這樣，本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法比較容易準(zhǔn)備可追溯到長(zhǎng)度的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的、關(guān)于厚度能夠確保充分的精度的標(biāo)準(zhǔn)試樣ST,另外，本實(shí)施方式的波長(zhǎng)校正方法與以往的利用了亮線譜的波長(zhǎng)校正方法相比，理論背景明確，因此能夠提高波長(zhǎng)校正的可靠性和測(cè)定出的膜厚值的可靠性。[0257]此外，具有已知的厚度的Si的標(biāo)準(zhǔn)試樣ST例如能夠從計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)綜合中心(NMIJ)等接受提供。[0258]特別地，通過(guò)在標(biāo)準(zhǔn)試樣ST中采用裸Si,能夠得到如下的優(yōu)點(diǎn)。[0259](1)由于在反射率干涉譜中谷值附近的形狀表現(xiàn)得尖銳(此外，在透過(guò)率干涉譜中峰值附近的形狀表現(xiàn)得尖銳),因此能夠更容易地決定極值。[0260](2)由于作為本實(shí)施方式的光學(xué)測(cè)定系統(tǒng)1的測(cè)定對(duì)象的試樣也大多包括Si,因此能夠維持高測(cè)定精度。[0262]圖24是示出本實(shí)施方式的光學(xué)測(cè)定系統(tǒng)1所提供的功能結(jié)構(gòu)的一例的示意圖。典型地說(shuō)，既可以通過(guò)由光學(xué)測(cè)定裝置100的運(yùn)算部130所包括的處理器執(zhí)行程序來(lái)實(shí)現(xiàn)圖24所示的各功能，也可以通過(guò)構(gòu)成運(yùn)算部130的硬件設(shè)備來(lái)實(shí)現(xiàn)圖24所示的各功能。此外，關(guān)于實(shí)現(xiàn)圖24所示的功能結(jié)構(gòu)的硬件，根據(jù)各時(shí)代選擇適當(dāng)?shù)挠布?。[0263]參照?qǐng)D24,光學(xué)測(cè)定裝置100的運(yùn)算部130包括理論干涉譜生成模塊150、實(shí)測(cè)干涉譜獲取模塊152、實(shí)測(cè)干涉譜極值提取模塊154、關(guān)聯(lián)信息獲取模塊156以及波長(zhǎng)校正模塊160,來(lái)作為功能結(jié)構(gòu)。[0264]理論干涉譜生成模塊150參照包含標(biāo)準(zhǔn)試樣ST的厚度、折射率以及消光系數(shù)的信息的標(biāo)準(zhǔn)試樣信息170,對(duì)關(guān)于標(biāo)準(zhǔn)試樣ST的反射率干涉譜或透過(guò)率干涉譜進(jìn)行數(shù)學(xué)計(jì)算，來(lái)生成理論干涉譜。理論干涉譜生成模塊150還生成用于確定在所生成的理論干涉譜中包含的極值的極值信息。[0265]這樣，理論干涉譜生成模塊150輸出具有理論干涉譜以及理論干涉譜中包含的極值信息的理論干涉譜信息172。[0266]實(shí)測(cè)干涉譜獲取模塊152獲取通過(guò)利用多通道受光器127經(jīng)由衍射光柵125接收對(duì)標(biāo)準(zhǔn)試樣ST照射測(cè)定光而產(chǎn)生的反射光或透過(guò)光所生成的反射率干涉譜或透過(guò)率干涉譜，來(lái)作為實(shí)測(cè)干涉譜。[0267]實(shí)測(cè)干涉譜極值提取模塊154搜索由實(shí)測(cè)干涉譜獲取模塊152獲取到的實(shí)測(cè)干涉譜中包含的極值，并提取該極值來(lái)作為極值信息。[0268]最后，輸出具有由實(shí)測(cè)干涉譜獲取模塊152獲取到的實(shí)測(cè)干涉譜和由實(shí)測(cè)干涉譜極值提取模塊154提取出的極值信息的實(shí)測(cè)干涉譜信息174。[0269]關(guān)聯(lián)信息獲取模塊156根據(jù)通過(guò)將來(lái)自亮線光源30的光導(dǎo)向分光測(cè)定部120并由多通道受光器127接收而生成的檢測(cè)結(jié)果，來(lái)獲取用于決定理論干涉譜與實(shí)測(cè)干涉譜的關(guān)于波長(zhǎng)的關(guān)聯(lián)的關(guān)聯(lián)信息176。[0270]波長(zhǎng)校正模塊160參照理論干涉譜信息172和實(shí)測(cè)干涉譜信息174來(lái)決定波長(zhǎng)校正式180和波長(zhǎng)校正表182。更具體地說(shuō)，波長(zhǎng)校正模塊160將用于規(guī)定多通道受光器127的多個(gè)受光元件的波長(zhǎng)值的波長(zhǎng)校正式180決定為使對(duì)實(shí)測(cè)干涉譜應(yīng)用波長(zhǎng)校正式180所得到的結(jié)果與理論干涉譜一致。[0271]波長(zhǎng)校正模塊160包括回歸分析模塊162、理論干涉譜反映模塊164、實(shí)測(cè)干涉譜反映模塊166以及擬合解析模塊168。[0272]回歸分析模塊162參照關(guān)聯(lián)信息