電子級(jí)多晶硅產(chǎn)業(yè)化技術(shù)研究項(xiàng)目可行性報(bào)告一、項(xiàng)目立項(xiàng)的背景和意義1、項(xiàng)目立項(xiàng)的背景11在人們消費(fèi)水平不斷提高以及對(duì)新能源產(chǎn)品不斷追求的新形勢(shì)下，應(yīng)用于眾多高科技產(chǎn)品中的一系列新材料的市場(chǎng)將十分廣闊。電子級(jí)多晶硅材料就是眾多高科技電子信息行業(yè)不可或缺的原料。電子級(jí)多晶硅不僅應(yīng)用于太陽(yáng)能光伏電池而且可以大量用于集成電路等半導(dǎo)體器件等產(chǎn)品中，具有不可替代的作用。而目前世界上制備電子級(jí)多晶硅的技術(shù)主要被美、日、德等跨國(guó)公司所壟斷。國(guó)內(nèi)還沒(méi)有能生產(chǎn)電子級(jí)硅材料的企業(yè)。12市場(chǎng)分析目前國(guó)內(nèi)市場(chǎng)直接使用電子級(jí)硅烷的消耗量大致為600700噸/年，隨著浙江正泰集團(tuán)非晶薄膜電池生產(chǎn)基地和河北廊坊太陽(yáng)能薄膜電池生產(chǎn)基地的上馬，未來(lái)三年，國(guó)內(nèi)對(duì)電子級(jí)多晶硅的需求將達(dá)到12001500噸/年。目前國(guó)內(nèi)多晶硅產(chǎn)品嚴(yán)重短缺，全部依賴(lài)進(jìn)口。因此在國(guó)內(nèi)開(kāi)發(fā)生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅及硅料具有相當(dāng)好的市場(chǎng)前景。就國(guó)際市場(chǎng)而已，多晶硅年需求量約為20000噸，中國(guó)約占三分之一，年需求量為6500噸左右，用于半導(dǎo)體集成電路和功率器件的生產(chǎn)，且每年呈30的速度增長(zhǎng)。開(kāi)發(fā)生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅不僅市場(chǎng)廣闊，而且意義重大，將會(huì)改寫(xiě)我國(guó)長(zhǎng)期以來(lái)依賴(lài)進(jìn)口的局面，填補(bǔ)我國(guó)規(guī)?；a(chǎn)電子級(jí)多晶硅的空白。13國(guó)家支持和鼓勵(lì)企業(yè)大力發(fā)展電子多晶硅的研發(fā)和生產(chǎn)目前，電子級(jí)硅材料產(chǎn)業(yè)也是一個(gè)十分敏感的戰(zhàn)略性工業(yè)，多晶硅的主要制造技術(shù)又只掌握在美、日、德等幾個(gè)發(fā)達(dá)國(guó)家手里，從國(guó)家安全的戰(zhàn)略高度來(lái)考慮，國(guó)家積極支持和扶植規(guī)模型的電子級(jí)多晶硅產(chǎn)業(yè)，否則一旦有什么風(fēng)吹草動(dòng)，國(guó)家戰(zhàn)略安全就將處于危險(xiǎn)的地位。我國(guó)是一個(gè)正在迅速崛起、經(jīng)濟(jì)快速增長(zhǎng)的發(fā)展中大國(guó)，我國(guó)的電子工業(yè)和光伏產(chǎn)業(yè)也正處在飛速發(fā)展的關(guān)鍵時(shí)期，很難想象隨著社會(huì)的進(jìn)步，對(duì)高科技產(chǎn)品需求的不斷加大，我國(guó)還要依靠進(jìn)口高純硅料來(lái)維持我國(guó)電子產(chǎn)品出口世界第一、光伏產(chǎn)品制造世界第一的地位。也就是說(shuō)，沒(méi)有國(guó)產(chǎn)高純多晶硅材料的供應(yīng)，要保持我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)和光伏產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展是不可能的。因此鑒于電子級(jí)多晶硅產(chǎn)業(yè)對(duì)發(fā)展我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)、光伏產(chǎn)業(yè)的重要作用和戰(zhàn)略地位，國(guó)家支持和鼓勵(lì)企業(yè)大力發(fā)展電子級(jí)多晶硅產(chǎn)品研發(fā)和生產(chǎn)。電子級(jí)多晶硅材料均列入和符合國(guó)家中長(zhǎng)期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要（20062020年）和國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策指導(dǎo)目錄中電子專(zhuān)用材料制造的產(chǎn)業(yè)政策。2、項(xiàng)目立項(xiàng)的意義21國(guó)內(nèi)電子級(jí)多晶硅市場(chǎng)發(fā)展?jié)摿薮箅S著我國(guó)電子半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展，對(duì)電子級(jí)多晶硅以及硅產(chǎn)品的消費(fèi)量將不斷增加，在我國(guó)具有很好的發(fā)展前景。22良好經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益電子級(jí)多晶硅工程建成投產(chǎn)，既為企業(yè)創(chuàng)造經(jīng)濟(jì)效益，又具有良好的社會(huì)效益。23符合國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策本項(xiàng)目的電子級(jí)多晶硅可應(yīng)用到多種高科技領(lǐng)域，對(duì)傳統(tǒng)能源的替代具有積極的作用，符合國(guó)家綠色環(huán)保、循環(huán)經(jīng)濟(jì)、可持續(xù)發(fā)展的產(chǎn)業(yè)政策。24我國(guó)目前多晶硅生產(chǎn)技術(shù)落后，電子級(jí)多晶硅的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)將填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白國(guó)內(nèi)實(shí)驗(yàn)室制備多晶硅的方法為數(shù)也不少，但真正有實(shí)用價(jià)值并能夠投入大規(guī)模生產(chǎn)獲取商業(yè)利益的基本沒(méi)有。本項(xiàng)目研發(fā)電子級(jí)多晶硅和硅材料的產(chǎn)業(yè)化技術(shù)將填補(bǔ)國(guó)內(nèi)的規(guī)?；a(chǎn)的空白。25環(huán)保優(yōu)勢(shì)本項(xiàng)目在利用國(guó)外先進(jìn)多晶硅生產(chǎn)技術(shù)的基礎(chǔ)上，進(jìn)行電子級(jí)多晶硅的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。項(xiàng)目三廢排放量少，易于治理。針對(duì)本工藝生產(chǎn)的特點(diǎn)，本項(xiàng)目將建設(shè)切實(shí)可行的廢水處理裝置和廢氣處理設(shè)施，確保項(xiàng)目滿(mǎn)足清潔生產(chǎn)需要。綜上所述，投資電子級(jí)多晶硅項(xiàng)目，進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化升級(jí)和生產(chǎn)，可緩解我國(guó)電子級(jí)多晶硅產(chǎn)品供應(yīng)緊張矛盾，擺脫長(zhǎng)期依賴(lài)進(jìn)口的被動(dòng)局面，同時(shí)也填補(bǔ)了我國(guó)大量生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅材料的空白。不僅具有良好的經(jīng)濟(jì)效益，同時(shí)也具有良好的社會(huì)效益。因此，本項(xiàng)目的立項(xiàng)很有意義。二、國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì)1、國(guó)外工藝技術(shù)概況有關(guān)研究資料表明，實(shí)驗(yàn)室制備多晶硅的方法及專(zhuān)利為數(shù)不少。真正有實(shí)用價(jià)值并能夠獲取商業(yè)利益的方法主要有改良西門(mén)子法、硅烷法和流化床法。其中改良西門(mén)子工藝生產(chǎn)的多晶硅的產(chǎn)能約占世界總產(chǎn)能的80，短期內(nèi)產(chǎn)業(yè)化技術(shù)壟斷封鎖的局面不會(huì)改變,其中硅烷法的技術(shù)主要掌握在美國(guó)MEMC和REC兩家跨國(guó)公司里，已經(jīng)形成批量化的生產(chǎn)，并進(jìn)行技術(shù)封鎖。比較而言，硅烷法由于雜質(zhì)的汽液化點(diǎn)的溫度與硅烷本體有一定的距離，所以更容易提純，因而是開(kāi)發(fā)電子級(jí)多晶硅的理想方法。2、國(guó)內(nèi)工藝技術(shù)概況目前，國(guó)內(nèi)尚無(wú)規(guī)模化生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅方面的技術(shù)，僅有科研院所和大專(zhuān)院校在實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行一些研究，未能形成規(guī)模化生產(chǎn)和市場(chǎng)化效應(yīng)。本項(xiàng)目在國(guó)內(nèi)是第一家對(duì)電子級(jí)多晶硅產(chǎn)業(yè)化技術(shù)進(jìn)行系統(tǒng)性的開(kāi)發(fā)和研究，可為規(guī)模化生產(chǎn)創(chuàng)造條件。三、項(xiàng)目主要研究開(kāi)發(fā)內(nèi)容、技術(shù)關(guān)鍵及主要?jiǎng)?chuàng)新點(diǎn)1研究開(kāi)發(fā)內(nèi)容11工藝路線(xiàn)介紹本項(xiàng)目采用的是硅烷法制備多晶硅的工藝。即用硅烷進(jìn)行反應(yīng)生成多晶硅。硅烷法工藝與經(jīng)由三氯氫硅反應(yīng)的改良西門(mén)子法相比，該方法產(chǎn)品質(zhì)量更高及消耗總量更低。目前用硅烷熱分解法工藝的主要有兩家公司在采用，一是美國(guó)的MEMC公司，二是歐洲的REC公司。而美國(guó)的技術(shù)生產(chǎn)的產(chǎn)量更大，工藝技術(shù)更加成熟先進(jìn)，是當(dāng)前國(guó)際市場(chǎng)硅烷法生產(chǎn)的主流。此法在國(guó)際上屬于先進(jìn)技術(shù)。目前在中國(guó)尚無(wú)一個(gè)公司采用硅烷法生產(chǎn)多晶硅。硅烷法具有如下的幾大優(yōu)點(diǎn)，是三氯氫硅法所無(wú)法替代的A耗電低。硅烷的分解溫度為800，比三氯氫硅低300左右，所以用電僅為三氯氫硅法的1/2左右。B硅烷容易分解，材料利用率高。三氯氫硅法還原爐分解率僅為1015，硅烷法還原爐分解率為85以上，硅烷法還原爐未反應(yīng)物料循環(huán)量小于三氯氫硅法。材料利用率高。C環(huán)境友好。硅烷法的生產(chǎn)原料對(duì)設(shè)備腐蝕小，不含氯化物，生產(chǎn)過(guò)程不副產(chǎn)氯化氫，三廢排放少，排放可控，對(duì)環(huán)境影響小。D熱解爐尾氣容易處理。硅烷法熱解爐內(nèi)氣體主要是氫氣和少量未反應(yīng)硅烷，分離出的氫氣經(jīng)過(guò)過(guò)濾，回到四氫化鈉鋁制備，分離出的硅粉、硅烷送回?zé)峤鉅t。E硅烷容易提純，是電子級(jí)多晶硅的理想原料采用硅烷法生產(chǎn)多晶硅有一個(gè)很大的好處在于因?yàn)楣柰橹懈黝?lèi)雜質(zhì)的氣化/液化點(diǎn)溫度與硅烷本體的氣化/液化點(diǎn)有相當(dāng)?shù)木嚯x，在精制時(shí)比較容易與硅烷分離，因此硅烷的純度可以做得很高。同時(shí)為了達(dá)到高純的目的，在原方案的基礎(chǔ)上，我們?cè)谠O(shè)計(jì)時(shí)，加大了硅烷氣體在精餾時(shí)的循環(huán)量，使硅烷的純度大大提高，特別是硼、磷等雜質(zhì)含量從原技術(shù)的110PPM降低到01015PPB,達(dá)到電子級(jí)多晶硅的要求。12研究開(kāi)發(fā)內(nèi)容項(xiàng)目公司根據(jù)國(guó)內(nèi)多晶硅生產(chǎn)的現(xiàn)狀，投資建設(shè)硅烷法多晶硅項(xiàng)目，采用的是引進(jìn)國(guó)外硅烷法多晶硅生產(chǎn)技術(shù)與國(guó)內(nèi)自行研發(fā)相結(jié)合的模式，在引進(jìn)技術(shù)的基礎(chǔ)上，開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅，并形成產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。經(jīng)過(guò)與國(guó)內(nèi)、外多家技術(shù)專(zhuān)利商交流以及同國(guó)內(nèi)著名院校專(zhuān)家的探討，決定引進(jìn)國(guó)外光伏級(jí)多晶硅的生產(chǎn)技術(shù)，在此基礎(chǔ)上，進(jìn)行電子級(jí)多晶硅的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化升級(jí)、生產(chǎn)，這樣在建設(shè)成本、生產(chǎn)成本和質(zhì)量控制上更加符合中國(guó)的國(guó)情和實(shí)際情況。擬采用的電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)裝置采用在生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行組裝和改造，使裝置運(yùn)行更加穩(wěn)定，產(chǎn)品質(zhì)量滿(mǎn)足國(guó)內(nèi)和國(guó)際市場(chǎng)的要求，使產(chǎn)品在市場(chǎng)上具有較強(qiáng)的競(jìng)爭(zhēng)力，完全替代電子級(jí)多晶硅和硅烷進(jìn)口，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅的空白。2007年公司與國(guó)外幾家多晶硅專(zhuān)利商和主要設(shè)備制造商進(jìn)行了技術(shù)交流。根據(jù)對(duì)各種技術(shù)的篩選比較，決定采用美國(guó)主流技術(shù)的硅烷法生產(chǎn)的太陽(yáng)能級(jí)多晶硅技術(shù)，并于2008年至2009年進(jìn)行了太陽(yáng)能級(jí)多晶硅項(xiàng)目的建設(shè)。目前生產(chǎn)線(xiàn)已經(jīng)安裝完成，進(jìn)入試生產(chǎn)階段，為進(jìn)一步開(kāi)發(fā)電子級(jí)多晶硅產(chǎn)品打下了基礎(chǔ)。2技術(shù)關(guān)鍵1如何使用通過(guò)使用石英砂、氫氟酸等廉價(jià)原料經(jīng)過(guò)反應(yīng)器，調(diào)節(jié)反應(yīng)溫度、壓力、流速等條件來(lái)制備出優(yōu)質(zhì)的四氟化硅氣體。2）如何控制硅烷氣體在提純裝置中的流速、循環(huán)時(shí)間調(diào)節(jié)硅烷的循環(huán)量以及尋找一種有效地吸附劑來(lái)大幅提高作為多晶硅原料的硅烷的純度。3）如何有效調(diào)節(jié)電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)裝置的壓力溫度平衡，硅烷、氫氣等物料進(jìn)樣配比、進(jìn)樣流速等條件，得到最優(yōu)化的電子級(jí)硅烷。3技術(shù)創(chuàng)新點(diǎn)1）使用硅烷法制備多晶硅項(xiàng)目承擔(dān)單位是國(guó)內(nèi)首家掌握硅烷法制備多晶硅工藝技術(shù)的公司。硅烷法制備多晶硅的工藝較其他制備多晶硅的工藝具有耗能低、原料易提純，材料利用率高、反應(yīng)環(huán)境友好、三廢排放少，尾氣易處理等優(yōu)點(diǎn)、2）國(guó)內(nèi)首創(chuàng)使用石英砂制備多晶硅的原料四氟化硅。硅烷法制備多晶硅需要大量的四氟化硅氣體來(lái)作為原料，產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)電子級(jí)的多晶硅對(duì)原料四氟化硅的純度要求、產(chǎn)量要求很高，一般的制備方法往往很難達(dá)到這樣的純度要求和產(chǎn)量要求。我們發(fā)明了一套使用二氧化硅粉末與高濃度硫酸、氫氟酸以一定比例反應(yīng)制取高純四氟化硅的裝置。此法在國(guó)內(nèi)甚至是全世界只有在實(shí)驗(yàn)室制備少量四氟化硅氣體中使用，將其運(yùn)用到產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)中還是國(guó)內(nèi)首創(chuàng)。此法中，未反應(yīng)完的殘?jiān)诔两捣蛛x槽沉降后，將上層的硫酸清液抽出至硫酸蒸發(fā)器進(jìn)行蒸發(fā)濃縮至一定的質(zhì)量百分比濃度，沉降下來(lái)的二氧化硅漿料用泵抽到二氧化硅硫酸混合槽，循環(huán)使用，降低生產(chǎn)成本，減少工業(yè)生產(chǎn)污染物的排放。此工藝與其他產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)四氟化硅的工藝相比較具有耗能低、原料價(jià)格低廉、排污量少和生產(chǎn)的四氟化硅純度高、產(chǎn)量大、連續(xù)性好等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)反復(fù)摸索、調(diào)試得到四氟化硅生產(chǎn)的最佳工藝條件，為后期制備高純電子級(jí)多晶硅大大降低了生產(chǎn)成本。3）增加一個(gè)硅烷反應(yīng)器，提高硅烷的轉(zhuǎn)化率美國(guó)原有技術(shù)是通過(guò)四氫化鋁鈉與四氟化硅在一個(gè)反應(yīng)器中進(jìn)行反應(yīng)，這樣的反應(yīng)所得硅烷只能達(dá)到90左右的轉(zhuǎn)化率。為了解決轉(zhuǎn)化率低的技術(shù)難題，我們?cè)O(shè)計(jì)了以下技術(shù)方案一種硅烷生產(chǎn)工藝，四氫化鋁鈉溶液一次經(jīng)過(guò)第一反應(yīng)器和第二反應(yīng)器。氣體四氟化硅一次經(jīng)過(guò)第二反應(yīng)器和第一反應(yīng)器，所述四氫化鋁鈉溶液為四氫化鋁鈉的二甘醇二甲醚溶液。這樣硅烷反應(yīng)所得的轉(zhuǎn)化率可達(dá)99以上。本技術(shù)所提供的硅烷生產(chǎn)工藝，利用四氫化鋁鈉溶液和四氟化硅直接反應(yīng)生成硅烷，四氫化鋁鈉和四氟化硅氣體為逆向進(jìn)料方式，在第一反應(yīng)器內(nèi)，四氫化鋁鈉的量大于四氟化硅的量，可以使四氟化硅完全反應(yīng)，在第二反應(yīng)器內(nèi)，四氟化硅的量大于四氫化鋁鈉的量，可以使得四氫化鋁鈉完全反應(yīng)。原料完全反應(yīng)，從而大大減少成品硅烷中四氟化硅氣體的含量，基本能達(dá)到99以上的轉(zhuǎn)化率，提高粗硅烷的純度，為后期精制電子級(jí)硅烷提供了必不可少的條件。4）增加一組電子級(jí)凈化裝置，有效降低多晶硅產(chǎn)品中硼、磷的含量。光伏級(jí)多晶硅對(duì)雜質(zhì)中硼、磷的含量要求比較低，在110PPM之內(nèi)就可以。但應(yīng)用于電子級(jí)多晶硅、非晶薄膜以及TFT液晶顯示屏等半導(dǎo)體器件中對(duì)硼、磷雜質(zhì)的要求就比較高，必須控制在01015PPB范圍之內(nèi)。經(jīng)過(guò)研究發(fā)現(xiàn)，我們?cè)黾拥囊唤M電子級(jí)凈化裝置主要用于除去硅烷中的硼、磷雜質(zhì)，在一定溫度壓力的調(diào)節(jié)下，能夠有效的將多晶硅中的硼、磷雜質(zhì)含量降低到01PPB以下，達(dá)到電子級(jí)多晶硅的標(biāo)準(zhǔn)。5采用有效地吸附劑及吸附裝置，提純合成多晶硅原料四氟化硅，使硅烷中的碳含量大幅降低，達(dá)到純化多晶硅產(chǎn)品的目的。四、項(xiàng)目預(yù)期效益目標(biāo)1項(xiàng)目總投入估算11項(xiàng)目研發(fā)總投入根據(jù)設(shè)計(jì)所列分析檢測(cè)儀器清單，具體如表1所示表1設(shè)備清單裝置名稱(chēng)數(shù)量（臺(tái)套）單價(jià)（萬(wàn)元）總價(jià)（萬(wàn)元）硅烷純度測(cè)試儀18484微量水測(cè)試儀15050氣相色譜儀16868氫中硅烷含量測(cè)量?jī)x24080在線(xiàn)氧分析儀12525鋼瓶清洗、試壓檢漏系統(tǒng)1100100可燃有毒氣體檢測(cè)系統(tǒng)11212低溫紅外光譜儀1330330ICPMS1170170粒徑儀15050碳氧分析儀15050合計(jì)10191）項(xiàng)目研發(fā)總投入根據(jù)表1的設(shè)備清單，本項(xiàng)目電子級(jí)硅烷研發(fā)檢測(cè)、儀器設(shè)備等總投入為1019萬(wàn)元，在此基礎(chǔ)上進(jìn)行電子級(jí)多晶硅項(xiàng)目的研發(fā)，因此項(xiàng)目的研發(fā)總投資估算如下所示（1）研發(fā)檢測(cè)儀器設(shè)備等固定資產(chǎn)投資1019萬(wàn)元；（2）研發(fā)經(jīng)費(fèi)投入估算項(xiàng)目設(shè)計(jì)等研發(fā)費(fèi)用195萬(wàn)元人員勞務(wù)費(fèi)用50萬(wàn)元項(xiàng)目試車(chē)材料費(fèi)用1200萬(wàn)元試車(chē)燃料動(dòng)力費(fèi)用300萬(wàn)元產(chǎn)品檢測(cè)費(fèi)用100萬(wàn)元專(zhuān)利申請(qǐng)費(fèi)用8萬(wàn)元項(xiàng)目人員出差等費(fèi)用15萬(wàn)元項(xiàng)目管理費(fèi)用20萬(wàn)元預(yù)備費(fèi)用10萬(wàn)元合計(jì)1898萬(wàn)元（3）項(xiàng)目研發(fā)總投入2917萬(wàn)元，其中檢測(cè)設(shè)備等固定費(fèi)用投入為1019萬(wàn)元，研發(fā)費(fèi)用為1898萬(wàn)元。2）項(xiàng)目期貸款利息本研發(fā)項(xiàng)目部分資金擬使用銀行貸款，貸款額為1000萬(wàn)元，借款年利率按照2008年10月09日中國(guó)人民銀行的規(guī)定，名義年利率按721計(jì)取。建設(shè)期貸款利息為721萬(wàn)元。2資金籌措本研發(fā)項(xiàng)目資金來(lái)源按企業(yè)自籌、銀行貸款和政府重大專(zhuān)項(xiàng)支助的模式進(jìn)行資金籌措，其中企業(yè)自籌1517萬(wàn)元，銀行貸款1000萬(wàn)元，申請(qǐng)省科技專(zhuān)項(xiàng)（省財(cái)政撥款）資助資金300萬(wàn)元，地方部門(mén)配套經(jīng)費(fèi)100萬(wàn)。3經(jīng)濟(jì)效益1）成本項(xiàng)目投產(chǎn)后正常年份的多晶硅制造成本包括原料、動(dòng)力燃料、員工工資、設(shè)備折舊以及修理費(fèi)用等，按500T/A計(jì)算，制造成本為93515萬(wàn)元。2）利潤(rùn)根據(jù)成本核算數(shù)據(jù)，可計(jì)算出企業(yè)在項(xiàng)目建成達(dá)產(chǎn)后正常年份的利潤(rùn)數(shù)據(jù)，詳見(jiàn)表2。表2多晶硅利潤(rùn)表序號(hào)科目項(xiàng)目總額（500T/A（萬(wàn)元）備注1營(yíng)業(yè)收入450002減營(yíng)業(yè)成本935153管理費(fèi)用4504財(cái)務(wù)費(fèi)用43265銷(xiāo)售費(fèi)用4506稅金及附加22507營(yíng)業(yè)利潤(rùn)3206598減所得稅（按15計(jì)）48109凈利潤(rùn)272559綜上所述，營(yíng)業(yè)收入和利潤(rùn)是在項(xiàng)目研發(fā)成功后，反映了整個(gè)企業(yè)的經(jīng)營(yíng)情況，其中1500噸產(chǎn)量中，多晶硅為1000噸，電子級(jí)硅烷為500噸，按照目前的硅烷價(jià)格，比多晶硅價(jià)格高300，我們?cè)谀壳暗膬r(jià)格基礎(chǔ)上打了九折計(jì)算所得，總額為272559萬(wàn)元，可見(jiàn)規(guī)模化生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅產(chǎn)品的前景和效益非常好。4產(chǎn)業(yè)化前景41產(chǎn)品市場(chǎng)本項(xiàng)目所生產(chǎn)的多晶硅產(chǎn)品大部分被股東公司購(gòu)買(mǎi)使用，同時(shí)國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)對(duì)高純度的多晶硅產(chǎn)品需求量很大，銷(xiāo)路十分廣泛。42原料供應(yīng)主要原料合金粉、金屬中間體、砂粉等國(guó)內(nèi)供應(yīng)充足、質(zhì)量穩(wěn)定，其來(lái)源是有保障的。43工藝設(shè)備技術(shù)本項(xiàng)目的工藝技術(shù)在國(guó)外是比較先進(jìn)、成熟的，在國(guó)內(nèi)尚沒(méi)有廠家涉足，技術(shù)上有一定難度，需要借鑒國(guó)外經(jīng)驗(yàn)，消化吸收并大膽創(chuàng)新，我們相信是一定可以實(shí)現(xiàn)的，有一定風(fēng)險(xiǎn)，但不大，并可以完全克服。關(guān)鍵設(shè)備從國(guó)外引進(jìn)，使本裝置技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。44資金來(lái)源項(xiàng)目公司股東實(shí)力雄厚，企業(yè)知名度較大。銀行信譽(yù)較好，所以其中343申請(qǐng)銀行貸款支持，520由企業(yè)自籌解決，137申請(qǐng)國(guó)家專(zhuān)項(xiàng)資金資助。45工程建設(shè)原裝置建于高新技術(shù)企業(yè)園區(qū)，園區(qū)有較好的公用工程設(shè)施，水、電、氣等可直接引到本裝置界區(qū)，交通、運(yùn)輸?shù)仍O(shè)施也較完備，廠房及動(dòng)力配套原本留有發(fā)展余地，項(xiàng)目建設(shè)條件優(yōu)越。5社會(huì)效益51同時(shí)通過(guò)項(xiàng)目建設(shè)培養(yǎng)青年專(zhuān)家和技術(shù)骨干20余名，培養(yǎng)企業(yè)高層決策和管理人才2名。52解決200300名員工的就業(yè)問(wèn)題，為社會(huì)的和諧與穩(wěn)定做出貢獻(xiàn)。53獲取專(zhuān)利、知識(shí)產(chǎn)權(quán)情況項(xiàng)目完成后，通過(guò)消化吸收再創(chuàng)新，經(jīng)過(guò)實(shí)際運(yùn)行及工藝技術(shù)改進(jìn)，形成本公司自有的技術(shù)和知識(shí)產(chǎn)權(quán)，同時(shí)對(duì)再創(chuàng)新以后的技術(shù)進(jìn)行專(zhuān)利申報(bào)，其中發(fā)明專(zhuān)利12項(xiàng)。其他專(zhuān)利技術(shù)4項(xiàng)54爭(zhēng)取2011年申請(qǐng)國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)，為國(guó)家調(diào)整產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)作出貢獻(xiàn)。55產(chǎn)品替代進(jìn)口，為國(guó)家節(jié)約外匯，逐步出口，為國(guó)家創(chuàng)匯。五、項(xiàng)目實(shí)施方案和技術(shù)路線(xiàn)1項(xiàng)目規(guī)劃11產(chǎn)能設(shè)計(jì)本項(xiàng)目在前期光伏級(jí)多晶硅生產(chǎn)裝置的基礎(chǔ)上，進(jìn)行電子級(jí)多晶硅產(chǎn)業(yè)化升級(jí)改造和優(yōu)化，為達(dá)到規(guī)?；?yīng)，進(jìn)行國(guó)產(chǎn)化替代，盡量滿(mǎn)足市場(chǎng)的需求，因此進(jìn)行最大化的產(chǎn)能設(shè)計(jì)。全廠生產(chǎn)時(shí)間按8000小時(shí)/年計(jì)，24小時(shí)/天循環(huán)生產(chǎn)，生產(chǎn)45噸/天電子級(jí)多晶硅，全年計(jì)總產(chǎn)能約1500噸。12產(chǎn)品規(guī)格按電子級(jí)多晶硅的規(guī)格進(jìn)行設(shè)計(jì)、生產(chǎn)，具體規(guī)格如下表3多晶硅產(chǎn)品質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)（GB/T129631996）序號(hào)指標(biāo)名稱(chēng)指標(biāo)分析方法備注1硼含量WT015PPB色譜法2磷含量WT015PPB色譜法3砷含量WT002PPB色譜法4銻含量WT002PPB色譜法5其它金屬含量WT5PPB色譜法2技術(shù)路線(xiàn)本項(xiàng)目具體工藝步驟如下圖所示其中圖1為光伏級(jí)多晶硅的技術(shù)路線(xiàn)，圖2為電子級(jí)多晶硅的技術(shù)路線(xiàn)。電子級(jí)多晶硅技術(shù)路線(xiàn)與光伏級(jí)多晶硅技術(shù)路線(xiàn)相比作了以下優(yōu)化（1）將二級(jí)凈化裝置放于過(guò)濾裝置之前。（2）在過(guò)濾裝置之后添加一套電子級(jí)硅烷凈化裝置（3）在硅烷循環(huán)管上添加一套硅烷計(jì)量裝置，調(diào)節(jié)硅烷精制的循環(huán)量。（4）在多晶硅還原工藝過(guò)程中，對(duì)還原爐進(jìn)行改進(jìn)，采用導(dǎo)熱油的熱量對(duì)硅芯進(jìn)行加熱，使多晶硅生長(zhǎng)時(shí)保持均勻，并提高多晶硅沉降密度，從而提高多晶硅的品質(zhì)，并達(dá)到省電，降低成本的目的。3項(xiàng)目實(shí)施方案31人員組織為更好地實(shí)施本項(xiàng)目，公司專(zhuān)門(mén)組織了項(xiàng)目組，由總經(jīng)理?yè)?dān)任項(xiàng)目的總負(fù)責(zé)人，參加人員有高層的技術(shù)精英，有中層的技術(shù)骨干和現(xiàn)場(chǎng)一線(xiàn)的工程技術(shù)人員共同組成，具體如下項(xiàng)目總負(fù)責(zé)人1名工藝工程師3名（有碩士、高級(jí)工程師、工程師）設(shè)備工程師2名（有高級(jí)工程師、工程師）儀表工程師2名（工程師）電器工程師2名（工程師）32確定技術(shù)路線(xiàn)聯(lián)合高校技術(shù)專(zhuān)家和國(guó)家級(jí)設(shè)計(jì)院一同完成此項(xiàng)目的工藝和工程化的設(shè)計(jì)，并確定項(xiàng)目的技術(shù)路線(xiàn)。本項(xiàng)目工藝選擇原則首先選擇處于世界領(lǐng)先水平的硅烷法生產(chǎn)技術(shù)，該技術(shù)生產(chǎn)的多晶硅裝置在國(guó)外運(yùn)行穩(wěn)定，產(chǎn)品質(zhì)量滿(mǎn)足國(guó)際市場(chǎng)要求。根據(jù)上述原則，從多晶硅材料生產(chǎn)的主要工藝技術(shù)現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì)來(lái)看，并經(jīng)過(guò)與國(guó)內(nèi)外多家技術(shù)專(zhuān)利協(xié)商交流以及對(duì)裝置現(xiàn)場(chǎng)的考察，本項(xiàng)目1500噸/年電子級(jí)多晶硅產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)的建設(shè)已在引進(jìn)的國(guó)外硅烷法技術(shù)的基礎(chǔ)上，對(duì)技術(shù)路線(xiàn)進(jìn)行合理有效的改進(jìn)和改造，并進(jìn)行大膽的技術(shù)創(chuàng)新，形成自有的知識(shí)產(chǎn)權(quán)。33進(jìn)行工程化設(shè)計(jì)確定工藝路線(xiàn)，只是實(shí)施項(xiàng)目的第一步，為進(jìn)一步開(kāi)展好項(xiàng)目，必須請(qǐng)有甲級(jí)資質(zhì)的設(shè)計(jì)院對(duì)該工藝路線(xiàn)進(jìn)行工程化設(shè)計(jì)。因此我們確定中國(guó)化學(xué)工程第二設(shè)計(jì)院寧波工程設(shè)計(jì)公司對(duì)項(xiàng)目進(jìn)行二次的施工圖設(shè)計(jì)。34采購(gòu)設(shè)備為保證項(xiàng)目實(shí)施的質(zhì)量和可靠性，同時(shí)降低項(xiàng)目的投入和建設(shè)成本，本項(xiàng)目采用進(jìn)口設(shè)備和國(guó)產(chǎn)設(shè)備相結(jié)合，在已有的光伏多晶硅生產(chǎn)線(xiàn)上進(jìn)行合理的配置和改造，形成自動(dòng)化流程控制的一體化生產(chǎn)裝置，從而生產(chǎn)出高質(zhì)量的電子級(jí)多晶硅，使產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)升級(jí)換代。本項(xiàng)目控制系統(tǒng)、硅烷壓縮機(jī)、還原裝置、和部分檢測(cè)設(shè)備采用國(guó)外引進(jìn)，部分電化學(xué)內(nèi)拋光不銹鋼管進(jìn)口。其余的設(shè)備、管道、閥門(mén)國(guó)內(nèi)質(zhì)量已全部過(guò)關(guān)，均采用國(guó)產(chǎn)。其中電子級(jí)硅烷凈化裝置采用進(jìn)口和國(guó)內(nèi)設(shè)備裝置結(jié)合在現(xiàn)場(chǎng)組裝而成。35安裝調(diào)試多晶硅項(xiàng)目是化工和電子結(jié)合的建設(shè)項(xiàng)目，重要的原材料電子級(jí)硅烷又是一種易燃易爆的危險(xiǎn)物料，因此必須要求有甲級(jí)資質(zhì)的安裝單位進(jìn)行施工安裝，因此我們確定中化六建和中電二建兩家國(guó)家級(jí)的施工單位本項(xiàng)目的設(shè)備裝置、管道閥門(mén)的安裝調(diào)試工作。36廠房本項(xiàng)目是在原有的光伏級(jí)多晶硅生產(chǎn)線(xiàn)進(jìn)行技術(shù)升級(jí)和創(chuàng)新改造，利用原有的廠房和土地資源，不需新增和擴(kuò)建。37安全和環(huán)保安全和環(huán)評(píng)在原光伏級(jí)多晶硅項(xiàng)目建設(shè)時(shí)已做評(píng)估和審批，本項(xiàng)目無(wú)新的原料和排放增加，請(qǐng)?jiān)O(shè)計(jì)院做一個(gè)關(guān)于安全、環(huán)保和消防的設(shè)計(jì)說(shuō)明到有關(guān)政府職能部門(mén)備案審核即可。38試生產(chǎn)和規(guī)模化生產(chǎn)調(diào)試成功后，我們將按照試生產(chǎn)/檢測(cè)確認(rèn)/送交客戶(hù)/批量生產(chǎn)/設(shè)計(jì)產(chǎn)能驗(yàn)收/規(guī)模化生產(chǎn)這樣的過(guò)程和程序進(jìn)行操作，按項(xiàng)目實(shí)施的計(jì)劃時(shí)間表進(jìn)行項(xiàng)目建設(shè)。達(dá)到年產(chǎn)1500噸電子級(jí)多晶硅的規(guī)模產(chǎn)能。六、計(jì)劃進(jìn)度安排根據(jù)設(shè)計(jì)和建設(shè)工期的需要，本項(xiàng)目的實(shí)施期限為兩年，具體計(jì)劃進(jìn)度安排如下2010年6月12月工藝路線(xiàn)和工程化設(shè)計(jì)，實(shí)驗(yàn)室試驗(yàn)2011年1月3月電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)線(xiàn)研發(fā)項(xiàng)目的設(shè)備、儀器、管道閥門(mén)訂購(gòu)2011年4月6月安裝調(diào)試2011年7月12月試生產(chǎn)，中試，問(wèn)題反饋，問(wèn)題解決，循環(huán)試車(chē)2012年1月3月客戶(hù)認(rèn)定、提出問(wèn)題，解決問(wèn)題，認(rèn)定通過(guò)2012年4月6月規(guī)模生產(chǎn)，項(xiàng)目驗(yàn)收七、現(xiàn)有工作基礎(chǔ)和條件1、股東條件公司的大股東均是太陽(yáng)能和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)內(nèi)的知名企業(yè)，是我國(guó)最早生產(chǎn)太陽(yáng)能電池組件和太陽(yáng)能硅片的企業(yè)之一，產(chǎn)品遍及全國(guó)，并遠(yuǎn)銷(xiāo)到歐美、非洲及東南亞地區(qū)。目前綜合年產(chǎn)能達(dá)到500MW。2、企業(yè)現(xiàn)有條件企業(yè)注冊(cè)資金4億元。是浙江省山海協(xié)作最大單體項(xiàng)目，也是本市重點(diǎn)的招商引資企業(yè)。公司計(jì)劃斥資約46億元人民幣、規(guī)劃用地870畝分三期建造年產(chǎn)4500噸太陽(yáng)能級(jí)多晶硅項(xiàng)目，打造成我國(guó)擁有電子級(jí)多晶硅和電子級(jí)硅烷生產(chǎn)能力且擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的生產(chǎn)基地。公司一期投資約15億元人民幣，計(jì)劃年產(chǎn)多晶硅1500噸。引進(jìn)當(dāng)今國(guó)際上先進(jìn)的硅烷法工藝生產(chǎn)多晶硅，同時(shí)融入了世界上先進(jìn)的工藝及裝備。3、合作院校條件目前，該項(xiàng)目已得到浙江大學(xué)、武漢理工大學(xué)等著名高等院校的技術(shù)支持并建立了長(zhǎng)期合作的關(guān)系，為研發(fā)、生產(chǎn)過(guò)程中遇到的問(wèn)題提供技術(shù)上的支持。4、人才條件公司現(xiàn)有員工300余人，擁有各種學(xué)歷和碩士研究生學(xué)歷的有80余人。其中10以上是從事多晶硅行業(yè)多年的工程技術(shù)人員。本項(xiàng)目的負(fù)責(zé)人，是國(guó)內(nèi)著名大學(xué)的研究生畢業(yè)，高級(jí)工程師，專(zhuān)業(yè)研究方向是半導(dǎo)體材料，對(duì)硅材料領(lǐng)域相當(dāng)熟悉，具備扎實(shí)的理論研究能力和生產(chǎn)實(shí)踐能力。本項(xiàng)目的技術(shù)參與人員，即其他副總經(jīng)理及高級(jí)管理人員也均是化工、半導(dǎo)體專(zhuān)業(yè)背景，從事過(guò)多年的太陽(yáng)能及半導(dǎo)體行業(yè)的研究和企業(yè)管理者。項(xiàng)目研發(fā)組成員共有6名，其中4名是研究生，2名本科生。5、技術(shù)條件為配合項(xiàng)目試車(chē)，公司已于2010年1月起陸續(xù)配置了高級(jí)技術(shù)人員和專(zhuān)家、管理人員進(jìn)行技術(shù)消化、工藝研發(fā)和技術(shù)創(chuàng)新，并編寫(xiě)了各個(gè)單元的操作指導(dǎo)書(shū)，具備了項(xiàng)目實(shí)施的技術(shù)條件。6、研發(fā)條件光伏級(jí)硅烷法多晶硅生產(chǎn)項(xiàng)目經(jīng)過(guò)兩年來(lái)的建設(shè)，已經(jīng)形成了試車(chē)和生產(chǎn)的硬件條件，在建設(shè)過(guò)程中，經(jīng)過(guò)大量的技術(shù)創(chuàng)新，例如電子級(jí)硅烷的提純方法，循環(huán)氫氣回用、余熱利用等，融合在設(shè)計(jì)和施工過(guò)程中，使硅烷法多晶硅的生產(chǎn)技術(shù)更加成熟，可靠，更加節(jié)能。目前生產(chǎn)光伏級(jí)多晶硅的設(shè)備、工藝管道等已經(jīng)安裝完畢，為下一步進(jìn)行電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)設(shè)備、管路的設(shè)置安裝打下了扎實(shí)的基礎(chǔ)。綜上所述，本項(xiàng)目已具備了市場(chǎng)、技術(shù)人才、研發(fā)條件和技術(shù)條件，為項(xiàng)目的開(kāi)展打下了良好的工作基礎(chǔ)。我們認(rèn)為電子級(jí)多晶硅產(chǎn)業(yè)化研究項(xiàng)目可行，敬請(qǐng)上級(jí)主管部門(mén)審核批準(zhǔn)。附表省級(jí)科技計(jì)劃項(xiàng)目經(jīng)費(fèi)概算表項(xiàng)目名稱(chēng)電子級(jí)多晶硅產(chǎn)業(yè)化技術(shù)研究項(xiàng)目金額單位萬(wàn)元概算科目名稱(chēng)合計(jì)省財(cái)政撥款經(jīng)費(fèi)地方部門(mén)配套經(jīng)費(fèi)自籌經(jīng)費(fèi)序號(hào)（1）（2）（3）（4）（5）1一、經(jīng)費(fèi)支出（合計(jì)）2917300100251721、設(shè)備費(fèi)10190010193（1）購(gòu)置設(shè)備費(fèi)00004（2）試制設(shè)備費(fèi)10190010195（3）設(shè)備租賃費(fèi)000062、材料費(fèi)1200180100100073、測(cè)試化驗(yàn)加工費(fèi)1002008084、燃料動(dòng)力費(fèi)300100020095、差旅費(fèi)150015106、會(huì)議費(fèi)200020117、合作、協(xié)作研究與交流費(fèi)550055128、出版/文獻(xiàn)/信息傳播/知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)費(fèi)8008139、人員勞務(wù)費(fèi)5000501410、專(zhuān)家咨詢(xún)費(fèi)120001201511、管理費(fèi)2000201612、其他開(kāi)支1000101二、經(jīng)費(fèi)來(lái)源（合計(jì)）2917300100251721、申請(qǐng)省財(cái)政經(jīng)費(fèi)3003000032、地方、部門(mén)配套撥款1000100043、自籌經(jīng)費(fèi)25170025175（1）單位自有貨幣資2）其他資金銀行貸款1000001000省財(cái)政科技經(jīng)費(fèi)撥付進(jìn)度申請(qǐng)第1年第2年第3年金額1501500比例（）50500注支出概算按照經(jīng)費(fèi)開(kāi)支范圍確定的支出科目和不同經(jīng)費(fèi)來(lái)源編列，同一支出科目一般不同時(shí)在財(cái)政撥款經(jīng)費(fèi)和自籌經(jīng)費(fèi)中概算。經(jīng)費(fèi)概算說(shuō)明1經(jīng)費(fèi)來(lái)源說(shuō)明本項(xiàng)目研發(fā)總投資為2917萬(wàn)元，來(lái)源分為四部分1企業(yè)自有資金1517萬(wàn)元；2）銀行貸款1000萬(wàn)元；3）爭(zhēng)取省科技專(zhuān)項(xiàng)資助資金300萬(wàn)元；4）地方部門(mén)配套撥款100萬(wàn)元。如果專(zhuān)項(xiàng)資金補(bǔ)助不足的部分，則由企業(yè)自有資金解決。2經(jīng)費(fèi)概算說(shuō)明1）設(shè)備費(fèi)1019萬(wàn)元。主要用于購(gòu)買(mǎi)電子級(jí)多晶硅產(chǎn)業(yè)化研究活動(dòng)中的裝置、設(shè)備和檢測(cè)儀器。詳見(jiàn)表1表1設(shè)備清單裝置名稱(chēng)數(shù)量（臺(tái)套）單價(jià)（萬(wàn)元）總價(jià)（萬(wàn)元）硅烷純度測(cè)試儀18484微量水測(cè)試儀15050氣相色譜儀16868氫中硅烷含量測(cè)量?jī)x24080在線(xiàn)氧分析儀12525鋼瓶清洗、試壓檢漏系統(tǒng)1100100可燃有毒氣體檢測(cè)系統(tǒng)11212低溫紅外光譜儀1330330ICPMS1170170粒徑儀15050碳氧分析儀15050合計(jì)10192）材料費(fèi)1200萬(wàn)元。（申請(qǐng)省科技經(jīng)費(fèi)資助）主要用于采購(gòu)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)過(guò)程中所需要的試車(chē)材料如鋁粉、金屬鈉、砂石粉、填料以及試車(chē)過(guò)程中的各類(lèi)消耗品等。具體數(shù)據(jù)如表1所示。表1多晶硅制造