成電半導(dǎo)體物理期末考試試卷A及參考答案_第1頁(yè)
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1、成電半導(dǎo)體物理期末考試試卷A及參考答案選擇填空(22分)1、在硅和錯(cuò)的能帶結(jié)構(gòu)中,在布里淵中心存在兩個(gè)極大值重合的價(jià)帶,外面的能帶(對(duì)應(yīng)的有效質(zhì)量(C),稱該能帶中的空穴為 (E)。4 / 7A.曲率大;B.曲率小;C.大;D.?。籈.重空穴;F.輕空穴2、如果雜質(zhì)既有施主的作用又有受主的作用,則這種雜質(zhì)稱為(F)。A.施主B.受主C.復(fù)合中心D.陷阱F.兩性雜質(zhì)3、在通常情況下,GaN呈(A)型結(jié)構(gòu),具有(C),它是(F)半導(dǎo)體材料。A.纖鋅礦型;B.閃鋅礦型;C.六方對(duì)稱性;D.立方對(duì)稱性;E.間接帶隙;F.直接帶隙。4、同一種施主雜質(zhì)摻入甲、乙兩種半導(dǎo)體,如果甲的相對(duì)介電常數(shù)&是

2、乙的3/4,mn*/m。值是乙的2倍,那么用類氫模型計(jì)算結(jié)果是5、A.甲的施主雜質(zhì)電離能是乙的B.甲的施主雜質(zhì)電離能是乙的C.甲的施主雜質(zhì)電離能是乙的D.甲的施主雜質(zhì)電離能是乙的8/3,弱束純電子基態(tài)軌道半徑為乙的3/2,弱束純電子基態(tài)軌道半徑為乙的16/3,弱束純電子基態(tài)軌道半徑為乙的32/9,的弱束縛電子基態(tài)軌道半徑為乙的.一塊半導(dǎo)體壽命 二15的,光照在材料中會(huì)產(chǎn)生非平衡載流子,光照突然停止流子將衰減到原來(lái)的(A.1/4 ;B.1/e ;3/432/98/3C.1/e 2 ;3/830出后,其中非平衡載d.1/2/ND-NA/時(shí),半導(dǎo)體具有(B )半導(dǎo)體的導(dǎo)電特性。A.非本征B.本征ni

3、 >>6、對(duì)于同時(shí)存在一種施主雜質(zhì)和一種受主雜質(zhì)的均勻摻雜的非簡(jiǎn)弁半導(dǎo)體,在溫度足夠高、7、在室溫下,非簡(jiǎn)弁Si中電子擴(kuò)散系數(shù)Dn與nd有如下圖(C)所示的最恰當(dāng)?shù)囊蕾囮P(guān)系:費(fèi)米能級(jí)向(8、在純的半導(dǎo)體硅中摻入硼,在一定的溫度下,當(dāng)摻入的濃度增加時(shí),雜濃度一定時(shí),溫度從室溫逐步增加,費(fèi)米能級(jí)向(C)DnDNd移動(dòng)。A.Ev;B.Ec;C.Ei;D.A)移動(dòng);當(dāng)摻Ef9、把磷化錢在氮?dú)夥罩型嘶?,?huì)有氮取代部分的磷,這會(huì)在磷化錢中出現(xiàn)(A.改變禁帶寬度;B.產(chǎn)生復(fù)合中心;C.產(chǎn)生空穴陷阱;D.產(chǎn)生等電子陷阱。10、對(duì)于大注入下的直接復(fù)合,非平衡載流子的壽命不再是個(gè)常數(shù),它與(C)。A.

4、非平衡載流子濃度成正比;B.平衡載流子濃度成正比;C.非平衡載流子濃度成反比;D.平衡載流子濃度成反比。11、雜質(zhì)半導(dǎo)體中的載流子輸運(yùn)過(guò)程的散射機(jī)構(gòu)中,當(dāng)溫度升高時(shí),電離雜質(zhì)散射的概率和晶格振動(dòng)聲子的散射概率的變化分別是(B)。A.變大,變小;B.變小,變大;C.變小,變?。籇.變大,變大。12、如在半導(dǎo)體的禁帶中有一個(gè)深雜質(zhì)能級(jí)位于禁帶中央,則它對(duì)電子的俘獲率(B)空穴的俘獲率,它是(D)。A.大于;B.等于;C.小于;D.有效的復(fù)合中心;E.有效陷阱。13、在磷摻雜濃度為2X1016cB的硅襯底(功函數(shù)約為4.25eV)上要做出歐姆接觸,下面四種金屬最適合的是(A)。A.In(Wm=3.8

5、eV);B.Cr(Wn=4.6eV);C.Au(Wn=4.8eV);D.Al(Wm=4.2eV)o14、在硅基MOS件中,硅襯底和SiO2界面處的固定電荷是(B),它的存在使得半導(dǎo)體表面的能帶(C)彎曲,在C-V曲線上造成平帶電壓(F)偏移。A.鈉離子;B.過(guò)剩的硅離子;C.向下;D.向上;E.向正向電壓方向;F.向負(fù)向電壓方向、簡(jiǎn)答題:(5+4+6=15分)1、用能帶圖分別描述直接復(fù)合、間接復(fù)合過(guò)(4分)Ec 95 分)(躍遷過(guò)程1 (0.5分)-彳Et (或:雜質(zhì)或缺陷能級(jí))(0.5分)卜躍遷過(guò)程2 (0.5分)Ec (0.5 分)2、對(duì)于摻雜的元素半導(dǎo)體 Si、Ge中,一般情形下對(duì)載流子

6、的主要散射機(jī)構(gòu)是什么?寫出其主要散射機(jī)構(gòu)所決定的散射幾率和溫度的關(guān)系。(4分)答:對(duì)摻雜的元素半導(dǎo)體材料Si、Ge,其主要的散射機(jī)構(gòu)為長(zhǎng)聲學(xué)波散射(1分)和電離雜質(zhì)散射其散射幾率和溫度的關(guān)系為:聲學(xué)波散射:ps T 3/2 ,電離雜質(zhì)散射:pi3、如金屬和一 n型半導(dǎo)體形成金屬-半導(dǎo)體接觸, 接觸,說(shuō)明半導(dǎo)體表面的能帶情況,弁畫出對(duì)應(yīng)的答:在金屬和n型半導(dǎo)體接觸時(shí),如金屬的功函數(shù)為3/2NT (根據(jù)題意,未含 Ni也請(qǐng)簡(jiǎn)述在什么條件下,形成的哪兩種不同電學(xué)特性的I-V曲線。(忽略表面態(tài)的影響)(6分)W半導(dǎo)體的功函數(shù)為W。當(dāng)wm>w時(shí),在半導(dǎo)體表面形成阻擋層接觸,是個(gè)高阻區(qū),能帶向上彎曲

7、;(2分)當(dāng)wm<w時(shí),在半導(dǎo)體表面形成反阻擋層接觸,是個(gè)高電導(dǎo)區(qū),能帶向下彎曲;(2分)對(duì)應(yīng)的i-v曲線分別為:(1分)(1分)三、在300 K時(shí),某Si器件顯示出如下的能帶圖(6+4+4=14 分)5 / 70xi L/3 X2 2L/3LX(1)平衡條件成立嗎?試證明之。(6分)答:成立。(4分)因?yàn)橘M(fèi)米能級(jí)處處相等的半導(dǎo)體處于熱平衡態(tài)(即dEF- 0 )(2 分)dx或EFn=EFp=EF(2分)或np=ni2(2分)或J=0(2分)(2)在何處附近半導(dǎo)體是簡(jiǎn)弁的?(4分)答:在靠近*二L附近(4分)或分為三個(gè)區(qū)域,每個(gè)區(qū)各為2分或2L/3<x<L(半對(duì))2分(3)試

8、推導(dǎo)流過(guò)x=Xi處的電子的電流密度表達(dá)式?(4分)依dndb0答:JnqnEqDndxdx四、一束恒定光源照在n型硅單晶樣品上,具平衡載流子濃度no=i014cm3,且每微秒產(chǎn)生電子一空穴為(5分)1013cm3。如伯二產(chǎn)2科s,試求光照后少數(shù)載流子濃度。(已知本征載流子濃度ni=9.65X109cm3)解:在光照前:光照后:五、在一個(gè)均勻的PopGpGno139.31 105 2 10 6101 10 6132 10 cmn型半導(dǎo)體的表面的一點(diǎn)注入少數(shù)載流子空穴。在樣品上施加一個(gè)50V/cm的電場(chǎng),在電場(chǎng)力的作用下這些少數(shù)載流子在100 ds的時(shí)間內(nèi)移動(dòng)了 1cm,求少數(shù)載流子的漂移速率、遷

9、移率和解:在電場(chǎng)下少子的漂移速率為:擴(kuò)散系數(shù)。(kT=0.026eV)(6分)v 產(chǎn)100 s104 cm/ s遷移率為:10 -cm2E 50/ V gs一一,_ kT擴(kuò)散系數(shù)為:Dp_2_20.026 200cm /s 5.2cm /s六、摻雜濃度為 N=1016cm3的n型單晶硅材料和金屬Au接觸,忽略表面態(tài)的影響,已知:WAu=5.20eV,¥=4.0eV,Nc=1019cm3,ln103=6.9在室溫下kT=0.026eV,半導(dǎo)體介電常數(shù)卡12,0=8.854x10-12F/m,q=1.6X10-19庫(kù),試計(jì)算:(4+4+4=12分)半導(dǎo)體的功函數(shù);(4分)在零偏壓時(shí),半導(dǎo)

10、體表面的勢(shì)壘高度,弁說(shuō)明是哪種形式的金半接觸,半導(dǎo)體表面能帶的狀態(tài);半導(dǎo)體表面的勢(shì)壘寬度。(4分)EcE斛:由NDn。Ncexp()得:(1分)kTNc1019EcEfkTln0.026ln布0.18eVND1016(1分)Wss(EcEf)4.18eV在零偏壓下,半導(dǎo)體表面的勢(shì)壘高度為:qVDWmWs5.204.181.02eV對(duì)n型半導(dǎo)體,因?yàn)閃m>W撕以此時(shí)的金半接觸是阻擋層(或整流)接觸(1分),半導(dǎo)體表面能帶向上彎曲(或:直接用能帶圖正確表示出能帶彎曲情況)(1分)。12 / 7勢(shì)壘的寬度為:d(2roV)"2(2分)qND_14_2128.85101.021/2(y

11、r-"197716)1.610103.7105(cm)Si-SiO 2(5+5+5+5+6=26七、T=300K下,理想MOSfe容,其能帶圖如下圖所示。所施加的柵極偏壓使得能帶彎曲,在界面EF=E%Si的電子親合勢(shì)為4.0eV,Nc=1019cmi3。利用耗盡近似,回答下列問(wèn)題:(1.5分)(1.5分)1.半導(dǎo)體中達(dá)到了平衡嗎?為什么?(5分)答:達(dá)到了平衡。因?yàn)榘雽?dǎo)體中Ef處處相等(或EFn=EFp=EF,或np=ni2,或J=0)2.求出半導(dǎo)體Si-SiO2界面EE處的電子濃度?同時(shí)繪出與該能帶圖對(duì)應(yīng)的定性電荷塊圖0.59n Ne kT 1019e 0.0261.38 10 9

12、 cm 3(1分)(0.5分)(0.5分)QEfsE103nsni1.510cm電荷塊圖見上圖(評(píng)分標(biāo)準(zhǔn)在電荷塊圖下方)3.求出ND?(5分)EcE3NDNCekTcNCeEg(EfsEv)kT1019e1.18(0.290.59)00269.681013cm34.寫出Vg詳細(xì)表達(dá)式?(5分)kTND或 VGVo VBVGVOVbVOln如果兩個(gè)n型半導(dǎo)體構(gòu)成的MOS吉構(gòu)除了器件1是Al柵,器件2是Au柵,其它參數(shù)都相同,將導(dǎo)致這兩個(gè)MOS吉構(gòu)的高、低頻C-V特性曲線發(fā)生什么定性變化?試?yán)L出定性高、低頻C-V特性曲線。已知WAi=4.25eV,W=4.75eV。(6分)(1)Vfb(A1)<0,Vfb(Au)>0或:直接在C-V圖中Vg坐標(biāo)上明確標(biāo)出Vfb

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