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1、馬慧媛馬慧媛Date:2015/5/8無(wú)定形無(wú)定形TiO2TiO2薄膜保護(hù)層使光薄膜保護(hù)層使光電陽(yáng)極免受腐蝕電陽(yáng)極免受腐蝕Amorphous TiO2 coatings stabilize Si, GaAs, and GaP photoanodes for efficient water研究背景研究背景研究過(guò)程研究過(guò)程研究結(jié)果研究結(jié)果研究背景研究背景 利用光電化學(xué)的方法分解水得到氫氣燃料利用光電化學(xué)的方法分解水得到氫氣燃料 光電陽(yáng)極使用光電陽(yáng)極使用Si,、GaAs（砷化鎵）（砷化鎵） GaP（磷化鎵）（磷化鎵） 光吸收的材料（如硅、砷化鎵）很容易受光吸收的材料（如硅、砷化鎵）很容易受到水溶液的

2、腐蝕而喪失原有功能到水溶液的腐蝕而喪失原有功能 金屬防護(hù)層不穩(wěn)定；透明導(dǎo)電氧化物金屬防護(hù)層不穩(wěn)定；透明導(dǎo)電氧化物(TCO)涂料電壓低涂料電壓低研究過(guò)程研究過(guò)程原子沉積原子沉積加上鎳合加上鎳合金層金層考慮退貨考慮退貨與未退火與未退火100100小時(shí)小時(shí)后的效率后的效率使用使用EDSEDS、SIMSSIMS等等方法測(cè)試方法測(cè)試可延伸到可延伸到其他材料其他材料由由TiO2薄膜保薄膜保護(hù)的鎳氧化物島護(hù)的鎳氧化物島在硅上的掃描電在硅上的掃描電子顯微鏡（子顯微鏡（SEM）圖像圖像TEM和和EDS圖像圖像無(wú)定型無(wú)定型TiO2優(yōu)點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)漏電功能漏電功能半導(dǎo)體免半導(dǎo)體免受腐蝕受腐蝕傳遞光源傳遞光源薄膜薄膜TiO2TiO2透明 未退火原子電沉積 均勻無(wú)針孔 結(jié)論原子沉積的無(wú)定型原子沉積的無(wú)定型TiOTiO2 2是高效的防是高效的防護(hù)屏障，由于是護(hù)屏障，由于是“漏電漏電TiO2”TiO2”膜的膜的厚度在厚度在4-143 nm 4-143 nm 之間，它能夠在保之間，它能夠在保持透明的前提下，保持好的導(dǎo)電性，持透明的前提下，保持好的導(dǎo)電性

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