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進階微機電元件實作進階微機電元件實作題目：膜片鉗制(Patch clamp) 報告大綱n膜片鉗制技術的起源n膜片鉗制與微機電技術之關係n製作流程n使用的機臺膜片鉗制技術的起源n1976年，建立了膜片鉗技術，一種以紀錄離子通道上的離子電流，來反應細胞膜上單一的或是多數(shù)的離子通道分子活動的技術 。膜片鉗制與微機電技術之關係n從2001年便開始有利用各種微加工方式要來取代傳統(tǒng)玻璃微電極的想法出現(xiàn)，到了2002年，製造出第一個以矽為基材的膜片鉗。n有了以上的相關訊息後，我有找篇有關Patch Clamp的論文（Characterization of a Micromachined Planar Patch Clamp for Cellular Electrophysiology）製作流程使用的機臺nPECVD or LPCVDnSpin CoaternSingle-Side Mask AlignernRIEnICP Thanks for your attention

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