1、 剝離基板 放電引起的pattern破壞 現(xiàn)場中的不快感 環(huán)境方面的對策 應(yīng)用濕度達到65%以上幾乎就不發(fā)生靜電的物理現(xiàn)象，采取控制周圍環(huán)境的濕度的方式。這其實是控制環(huán)境本身， 所以裝置或設(shè)備體積就會變大。.除電器的使用方法 -1 除電brush ,ribbon方面的除電（自我放電式）除電brush, ribbon 直接接觸在earth,是利用對方的靜電能量來 除電。因為不需要電源，設(shè)置也簡單，是容易采取的對策。 除電 brush，ribbon的構(gòu)造除電brush,ribbon的除電原理除電brush, ribbon的優(yōu)點，缺點 除電brush, ribbon是即便宜又容易導(dǎo)入的除電器，但從原

2、理上除電能力受帶電物的電位的影響，所以只有對帶電量大的物體才會有效果。 具體說的話， 帶電量數(shù)十kV 的物體只能除去到數(shù)kV程度。 不能混入異物的工程上不能使用。這是因為這種維持有可能會中斷。 靜電 誘導(dǎo)是? 把導(dǎo)體放到帶電物體周邊時，導(dǎo)體內(nèi)部的電子就會移動，導(dǎo)致帶電量相反面的極性跟帶電物的極性會相反，這種現(xiàn)象叫“靜電誘導(dǎo)”。 corona 放電是? 是 像針的終端似的在物體的終端部分加高電壓時，發(fā)生的 現(xiàn)象，指的往地面放電的現(xiàn)象。 近距離用是用于 100mm以內(nèi)，中，長距離用是由于 300mm以上。 在100mm 300mm范圍內(nèi)是根據(jù)特征的重要項目為基準(zhǔn)來選擇。 采用I.C.C.制御，達到

3、以下兩種情況變?yōu)榱丝赡?。 高速除電高速除電 穩(wěn)定的離子穩(wěn)定的離子 balancebalance( (離子離子 balancebalance的自動制御的自動制御) ) 帶電量的 基準(zhǔn)為 綠色綠色 1kV 1kV以內(nèi)以內(nèi) 一個一個 黃色黃色 3kV 3kV以內(nèi)以內(nèi) 兩個黃色兩個黃色 5kV 5kV以內(nèi)以內(nèi) 朱黃色朱黃色 10kV10kV以內(nèi)以內(nèi) 紅色紅色 30kV30kV以內(nèi)以內(nèi)(但, 隨著與對象物的距離和對象物的大小會變化，只要把它把他當(dāng)基準(zhǔn)就好。) 現(xiàn)存 除電器的 情況 若是一般除電器， 如右圖 在電極針上施加高電壓，在電極針前端引發(fā)corona放電，而產(chǎn)生離子 。 這個離子的產(chǎn)生量根據(jù)施加

4、的電壓和周圍環(huán)境（主要 濕度）變化而變化。 隨之，像右圖一樣是單純的構(gòu)造時，就算施加了一定量的電壓，因為周圍環(huán)境的變化，也會導(dǎo)致所產(chǎn)生的離子量的變化，所以想維持離子 balance是比較困難的。 如右圖，在電極針上加-高電壓時，根據(jù) corona放電 會 產(chǎn)生 離子。 由于電子離子（電荷)的移動就是電流 ，運用 電流連續(xù)的法則，產(chǎn)生的相當(dāng)與 離子的 電荷從高壓電流 向earth。測這時的電流值，使施加 - 高電壓時的電流值維持一致，通過制御施加高 壓電的時間來保證產(chǎn)生的離子量 +, -一致， 也就是制御離 子balance使之維持 0V。 這就是離子 balance的mechanism. 電流

5、連續(xù)的法則 只看一個點的時候，流入這個點的電流總合與 流出的電流總合會相等這就是其法則。在電極針上施加 高電壓時 對象物帶 +時如右圖 在電極針上 加上 高電壓時，-離子周圍也會產(chǎn)生電場，與對象物的電場會變?yōu)橐恢隆?(每個電子力線都向同一個方向，所以電場就會增強）因此，一定電壓，一定時間內(nèi)的離子產(chǎn)生量跟沒有帶電物的情況比產(chǎn)生量多。總之，無帶電物和有帶電物時，在earth流的 電流值會不同。 如右圖在電極針上施加 +高電壓時會產(chǎn)生+離子 ，但在自己周圍也會產(chǎn)生電場跟一致的對象物的電場成伴發(fā)關(guān)系。(每個 電子力線方向相對立，所以電場會變?nèi)?) 因此，一定電壓，一定時間內(nèi)的離子產(chǎn)生量跟 沒有帶電物的情況比產(chǎn)生量少。 總之，無帶電物和有帶電物時，在earth流的 電流值會不同。 SJ系列的 前面有 帶+的對象物時，若施加-高電壓時的earth電流會增加，施加+高電壓時的earth電流會減少 。 從這時的電流值和，可