ESD防靜電控制程序

1.目的：

為了避免靜電敏感元件在收貨，檢查，搬運(yùn)，加工及生產(chǎn)過(guò)程中被人體或臺(tái)面靜電所損

壞，特制定本防靜電程序。

2.適用范圍：

本程序適用于公司范圍內(nèi)的進(jìn)貨、檢查、搬運(yùn)、儲(chǔ)存、加工、安裝及生產(chǎn)過(guò)程中

對(duì)靜電敏感元件的防護(hù)要求。

3.職責(zé)：

3.1.各部門(mén)經(jīng)理負(fù)責(zé)本部門(mén)工作區(qū)域、生產(chǎn)制造過(guò)程中的靜電防護(hù)措施的執(zhí)行。

3.2.測(cè)試部?jī)?nèi)部計(jì)量員負(fù)責(zé)IQC、QA工作區(qū)域及倉(cāng)庫(kù)IC房的防靜電線的測(cè)試和記錄以及所有相

關(guān)記錄的保存。

3.3.各生產(chǎn)部負(fù)責(zé)本部門(mén)的防靜電線的測(cè)試及記錄。

3.4.設(shè)備部負(fù)責(zé)公司內(nèi)防靜電接地線的對(duì)地電阻值的測(cè)試及記錄。

3.5.ESD防靜電委員會(huì)負(fù)責(zé)制定公司的防靜電措施要求和標(biāo)準(zhǔn)及監(jiān)督執(zhí)行狀況。

4.靜電防護(hù)控制要求：

4.1.靜電敏感元件識(shí)別原則:

凡是外包裝上有ESD防護(hù)標(biāo)識(shí)的來(lái)料及內(nèi)部用防靜電材料包裝的

散料均視為靜電敏感材料要根據(jù)以下防靜電控制要求做相應(yīng)防護(hù)。

4.2進(jìn)出貨對(duì)防靜電的控制要求：

4.2.1.進(jìn)貨組在收到靜電敏感元件后，進(jìn)貨倉(cāng)管員在不拆開(kāi)靜電防護(hù)膠管的情況下點(diǎn)數(shù)及確認(rèn)型

號(hào)。

4.1.IQC檢查時(shí)對(duì)防靜電的控制要求：

4.1.1.IQC檢查靜電敏感元件時(shí)，應(yīng)在不拆開(kāi)靜電防護(hù)包裝的情況下檢查型號(hào)及其外觀，若需拆

開(kāi)防護(hù)包裝進(jìn)行檢查或測(cè)試時(shí)應(yīng)在防靜電區(qū)域進(jìn)行，檢驗(yàn)員必須穿靜電衣及戴可靠接地線

且測(cè)試合格的靜電環(huán)，與元件接觸的工作臺(tái)面應(yīng)有可靠接地的防靜電墊。

4.2.倉(cāng)庫(kù)對(duì)防靜電的控制要求：

4.2.1.倉(cāng)庫(kù)倉(cāng)管員應(yīng)將靜電敏感元件放置在專(zhuān)門(mén)的房間（溫度和濕度受控制），在不拆開(kāi)原包裝

及靜電防護(hù)膠管的情況下放置在貨架上。

4.2.2.倉(cāng)管員在發(fā)料時(shí)，遇到需發(fā)零星數(shù)量的靜電敏感元件時(shí)，應(yīng)穿靜電衣和佩戴靜電環(huán)，并可

靠接地，才能拿元件，且需用防靜電包裝袋或防靜電泡泡袋包裝。

4.2.3.在線倉(cāng)庫(kù)的倉(cāng)管員在貯存靜電敏感材料時(shí)，應(yīng)將其放置在有靜電防護(hù)的貨架上。此貨架應(yīng)

鋪設(shè)接地良好的靜電墊，并要與非防靜電材料的貨架分開(kāi)。

4.3.生產(chǎn)線對(duì)防靜電的控制要求：

4.3.1.生產(chǎn)線在加工成型靜電敏感元件時(shí)，員工應(yīng)穿靜電衣和佩戴可靠接地且測(cè)試合格的靜電

環(huán)，與元件接觸的工作臺(tái)面上應(yīng)有可靠接地的防靜電墊。

4.3.2.加工成型好的靜電敏感元件應(yīng)用防靜電盒或防靜電包裝袋盛放及搬運(yùn)。

4.3.3.生產(chǎn)安裝過(guò)程中如插機(jī)，上波峰焊，過(guò)波峰焊后，補(bǔ)焊，檢查及包裝等，所有接觸到裝有

靜電敏感元件的PCB的操作人員都需穿靜電衣和佩戴可靠接地線且測(cè)試合格的靜電環(huán)，與

元件或產(chǎn)品接觸的工作臺(tái)面上應(yīng)有可靠接地的防靜電墊。對(duì)PCB’A階段的高壓測(cè)試工位基

于員工安全防護(hù)需要，可以允許不戴靜電環(huán)進(jìn)行操作，但必須戴防靜電手套或棉手套。

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4.4.IPQC&OQA對(duì)防靜電的控制要求：

4.4.1.所有IPQC在進(jìn)行生產(chǎn)線巡檢時(shí)，應(yīng)該按照相應(yīng)產(chǎn)品對(duì)防靜電的要求做好相應(yīng)的靜電防護(hù)

工作。

4.4.2.QA在檢查有靜電敏感元件的PCB時(shí)應(yīng)在防靜電區(qū)域操作，檢驗(yàn)員必須穿防靜電衣和佩戴

測(cè)試和格的靜電環(huán)，與產(chǎn)品接觸的工作臺(tái)面上應(yīng)有可靠接地的防靜電墊。

4.5.通用要求：

4.5.1.靜電環(huán)在佩戴使用前，需經(jīng)過(guò)測(cè)試且合格，并作好相應(yīng)的測(cè)試記錄。

4.5.2.對(duì)一些不便或無(wú)法使用防靜電墊及防靜電材料的工作臺(tái)面、搬運(yùn)工具及任何有可能接觸靜

電敏感元件的地方，各部門(mén)應(yīng)加以識(shí)別并定期噴灑防靜電劑測(cè)試并記錄其表面電阻率,確

保防靜電效果,噴灑防靜電劑的周期為每?jī)芍芤淮?。各相關(guān)部門(mén)應(yīng)做并保存相應(yīng)的記錄。

4.5.3.各相關(guān)部門(mén)應(yīng)明確劃分并標(biāo)識(shí)防靜電區(qū)域和非防靜電區(qū)域。對(duì)被確定為防靜電的區(qū)域，必

須嚴(yán)格按照防靜電的各項(xiàng)要求進(jìn)行操作；對(duì)非防靜電區(qū)域，可以不作特別防護(hù)措施；

4.5.4.當(dāng)靜電敏感材料或產(chǎn)品從防靜電區(qū)域搬離到非防靜電區(qū)域時(shí)，必須作好相應(yīng)的防護(hù)措施。

對(duì)靜電敏感材料的搬運(yùn)，必須使用有防靜電保護(hù)的小車(chē)。當(dāng)防靜電小車(chē)在停靠時(shí)，須將其

防靜電線接到最近的靜電接地線上。

4.5.5.原包裝標(biāo)識(shí)為靜電敏感的元件其散料必須使用防靜電材料盛放和包裝。

5.靜電防護(hù)環(huán)境控制要求：

5.1.對(duì)特殊的靜電敏感區(qū)域，為保證對(duì)產(chǎn)品、材料的有效防護(hù)，應(yīng)對(duì)其溫度、濕度做適當(dāng)控制。

5.2.對(duì)溫度、濕度做監(jiān)測(cè)的石英溫濕度儀，必須放置在水平穩(wěn)定的平面上。

5.3.溫度、濕度控制范圍分別為溫度不高于30℃，濕度在30%-70%。

5.4.有溫濕度測(cè)量?jī)x的場(chǎng)所應(yīng)由專(zhuān)人定期檢查石英溫、濕度自動(dòng)儀測(cè)試狀況，并記錄該時(shí)間段的

最高和最低值。

5.5.遇有休息、節(jié)假日等特殊情況，在上班后的第一時(shí)間內(nèi)要檢查石英溫、濕度自動(dòng)記錄儀的記

錄情況。

5.6.發(fā)現(xiàn)溫度、濕度有超標(biāo)應(yīng)立即采取有效措施予以改善并確認(rèn)超標(biāo)情況是否有對(duì)產(chǎn)品或材料造

成損壞，采取的改善措施應(yīng)予以記錄。

5.7.每月的溫濕度儀記錄的測(cè)試結(jié)果由測(cè)試部歸類(lèi)保存。

6.靜電防護(hù)材料的測(cè)試：

6.1.靜電環(huán)的測(cè)試：

6.1.1.各分廠將靜電環(huán)測(cè)試儀放在廠房入口處，員工每天上班進(jìn)入車(chē)間時(shí)自行測(cè)試及做記錄，各

分廠指定責(zé)任人監(jiān)督、檢查測(cè)試結(jié)果并在測(cè)試表的檢查人項(xiàng)目欄簽名確認(rèn)。品質(zhì)部QA檢

查員的靜電環(huán)測(cè)試及記錄在相應(yīng)分廠完成，倉(cāng)庫(kù)及IQC員工的靜電環(huán)測(cè)試及記錄在自動(dòng)化

部完成。

6.1.2.員工進(jìn)入車(chē)間前應(yīng)首先佩戴好靜電環(huán)，然后將靜電環(huán)上的鍔魚(yú)夾夾住靜電測(cè)試儀的測(cè)試

端，用手按下測(cè)試儀上的PUSHON開(kāi)關(guān)，如靜電環(huán)正常，則OK指示燈亮(中間的LED

亮)；如靜電環(huán)阻值太低，則LO指示燈亮(左邊的LED亮)，如靜電環(huán)阻值太高，則HI指

示燈亮(右邊的LED亮)。測(cè)試合格者，由佩戴者在靜電環(huán)測(cè)試記錄表上當(dāng)日的編號(hào)處畫(huà)

“”；反之，畫(huà)“”。分廠責(zé)任人應(yīng)維持測(cè)試秩序并監(jiān)督每位員工的測(cè)試過(guò)程。

6.1.3.如有測(cè)試不良的靜電環(huán)，值班責(zé)任人必須對(duì)此靜電環(huán)重新確認(rèn)；如經(jīng)過(guò)確認(rèn)后再合格的可

正常使用，仍不合格的必須收回更換。記錄表上有不合格的記錄必須有改善行為。測(cè)試記

錄由測(cè)試部保存。

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6.1.4.各線管理人員應(yīng)確保本線員工在需要的崗位都正確佩戴好靜電環(huán)，不能松脫，更不能戴在

襪子或袖子上。

6.1.5.PE部?jī)?nèi)部計(jì)量員每月對(duì)靜電環(huán)測(cè)試儀校準(zhǔn)一次,并在測(cè)試儀上貼計(jì)量標(biāo)簽,同時(shí)做好記錄。

6.2.靜電墊的測(cè)試：

6.2.1.公司內(nèi)所有的生產(chǎn)、測(cè)試中使用的防靜電墊應(yīng)定期進(jìn)行測(cè)試，確保防靜電的效果。

6.2.2.步驟：

(1)靜電墊連接線電阻的測(cè)試。

a)檢查靜電墊與接地線連接完好。

b)置萬(wàn)用表檔位到歐姆檔，一只表筆接靜電線鱷魚(yú)夾，另一只表筆接靜電墊線扣，電

表顯示值為靜電墊連接線電阻，規(guī)格為1Mohm10％(0.9Mohm-1.1Mohm)

(2)表面電阻的測(cè)試。

a)取下靜電測(cè)試儀的接地線；

b)將測(cè)試儀的探頭（接觸面水平放置在待測(cè)靜電墊表面，按下TEST按鍵并保持，當(dāng)

2

LED穩(wěn)定后測(cè)試儀的顯示值即為表面電阻率（單位：ohm/m），大塊靜電墊測(cè)試3

個(gè)位置（兩邊和中間）。小塊靜電墊只測(cè)試中間位置。

c)靜電墊的表面電阻率的要求介于103~1011ohm/m2。

(3)表面電阻率和連接線電阻在正確范圍內(nèi)寫(xiě)OK，否則寫(xiě)NG并必須對(duì)其維修或更換。

并在表格中記錄此塊靜電墊所處位置和維修狀況。

(3)靜電墊連接線電阻和表面電阻的測(cè)試，每月進(jìn)行一次；各生產(chǎn)部技工負(fù)責(zé)測(cè)量本樓層

（含QA）的靜電墊，并作記錄；計(jì)量員測(cè)量IQC，倉(cāng)庫(kù)的靜電墊，并作記錄；所有

記錄送測(cè)試部保存。

6.3靜電放電接地體和防靜電線的檢測(cè)：

6.3.1接地體：是指地下部分及其引出端，其對(duì)地電阻必須小于10ohm.防靜電線：是指接地體的延伸部分，與接地體之間的電阻只是線阻，其值應(yīng)小于50ohm.

6.3.2設(shè)備部技工負(fù)責(zé)接地體的檢測(cè)和記錄，其電阻值控制在10ohm以?xún)?nèi)，每月檢測(cè)一次，并將

記錄交由測(cè)試部保存。各生產(chǎn)部技工負(fù)責(zé)各自生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)(含QA)的防靜電線的檢測(cè)和記

錄，對(duì)接地體之間的電阻應(yīng)控制在10ohm以?xún)?nèi)，每周檢測(cè)一次，記錄交由測(cè)試部保存。

內(nèi)部計(jì)量員負(fù)責(zé)IQC和倉(cāng)庫(kù)等區(qū)域內(nèi)的防靜電線的檢測(cè)和記錄，對(duì)接地體之間的電阻應(yīng)控

制在10ohm以?xún)?nèi)，每周檢測(cè)一次，記錄交由測(cè)試部保存。

6.3.3在檢測(cè)過(guò)程中發(fā)現(xiàn)阻值超標(biāo)應(yīng)立即采取措施，以恢復(fù)其正常，過(guò)程要有書(shū)面記錄。

6.4防靜電烙鐵的檢測(cè)：

6.4.1測(cè)試部技工負(fù)責(zé)通過(guò)測(cè)試防靜電烙鐵的漏電流和接地電阻以監(jiān)控其防靜電效果。具體要求

參考:設(shè)備內(nèi)部校準(zhǔn)規(guī)范Q-OP-PE-003

6.5流水線傳送帶靜電電壓的檢測(cè)：

6.5.1傳送帶靜電電壓用靜電場(chǎng)表檢測(cè)；

6.5.1.1步驟：

(1)靜電場(chǎng)表調(diào)零：將靜電場(chǎng)表的夾子夾在地線上，再將表的頭部對(duì)準(zhǔn)接地的金屬板，并

距金屬板1英寸的位置（這時(shí)表的頭部的兩只燈光為同心園），調(diào)整調(diào)零旋扭，使讀

數(shù)為零；

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(2)靜電場(chǎng)表讀數(shù)：將靜電場(chǎng)表的夾子夾在地線上，再將表的頭部對(duì)準(zhǔn)流水線傳送帶表面

（該傳送帶應(yīng)正在運(yùn)動(dòng)），并距傳送帶1英寸的位置（這時(shí)表的頭部的兩只燈光為同心

圓），讀取此時(shí)的讀數(shù)，正確值為小于0.1kv/inch，每個(gè)傳送帶測(cè)10個(gè)數(shù)據(jù)。

(3)內(nèi)部計(jì)量員負(fù)責(zé)檢測(cè)和記錄，每月一次，并保存記錄。

(4)若在檢測(cè)過(guò)程中發(fā)現(xiàn)阻值超標(biāo)者,立即采取措施,以恢復(fù)其正常，過(guò)程要有書(shū)面記錄.

6.5.2設(shè)備部技工每周應(yīng)對(duì)生產(chǎn)線所有的防靜電金屬桌面進(jìn)行檢測(cè)。測(cè)試金屬板與ESD接地線之

間是否有1Moh10％電阻；測(cè)試金屬板與設(shè)備接地。所有測(cè)試記錄須由測(cè)試部保存。

6.6防靜電工具設(shè)備的靜電電壓的檢測(cè)：

6.6.1防靜電工具設(shè)備包括防靜電衣、防靜電手套、防靜電架、防靜電墊，防靜電箱，防靜電踏

板等?？尚袝r(shí),原則上要求采購(gòu)回來(lái)的防靜電工具及材料要有防靜電標(biāo)識(shí)。

6.6.2防靜電衣的檢測(cè)和維護(hù)：

6.6.2.1設(shè)備部在收到新的防靜電衣時(shí)，通知內(nèi)部計(jì)量員用靜電場(chǎng)表對(duì)防靜電衣的靜電電壓進(jìn)行檢

測(cè)。檢測(cè)數(shù)量為抽樣來(lái)料的5％；若抽樣數(shù)低于2件，則抽取2件。檢測(cè)方法為：用防靜

電衣的塑料包裝袋快速連續(xù)磨擦防靜電衣的同一部位4～5秒，然后用靜電場(chǎng)表測(cè)試被磨

擦部位的靜電電壓，數(shù)值小于等于0.1kv/inch為合格，否則為不合格。如果該批防靜電衣

有一件測(cè)試不合格，則拒收。除上述方法外，被抽測(cè)的靜電衣還應(yīng)被洗4小時(shí)后再做以上

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測(cè)試。如果靜電衣的表面電阻率仍在10-10ohm之間且經(jīng)磨擦后的靜電電壓仍小于等于

0.1kv/inch，則為合格，否則為不合格。

6.6.2.2內(nèi)部計(jì)量員對(duì)新的檢測(cè)合格的防靜電衣除了作靜電電壓測(cè)試值的記錄外，還應(yīng)對(duì)生產(chǎn)線的

已使用的防靜電衣作日常測(cè)量。檢測(cè)安排為：每年的1、2、3月檢測(cè)自動(dòng)化部，4、5月檢

測(cè)第一生產(chǎn)部，6月檢測(cè)第二生產(chǎn)部；7、8、9月檢測(cè)自動(dòng)化部，10、11月檢測(cè)第一生產(chǎn)

部，12月檢測(cè)第二生產(chǎn)部。每年以此類(lèi)推。檢測(cè)部位為防靜電衣的肘部、前胸和后背。若

被測(cè)試的防靜電衣的肘部、前胸和后背這三處的靜電壓均大于0.1kv/inch，則必須回收并

返還給供應(yīng)商作處理；若這三處的靜電電壓不是全部大于0.1kv/inch，則可以繼續(xù)使用。

所有的檢測(cè)和處理都必須作記錄！

6.6.2.3員工在穿防靜電衣時(shí)，應(yīng)盡量做到以下措施：

a)禁止在防靜電衣上附加或佩帶任何金屬物件；

b)防靜電衣必須在更衣室更換，不允許在ESD區(qū)域穿或脫防靜電衣。

c)防靜電衣的洗滌應(yīng)盡量采用手工方法進(jìn)行，添加中性洗滌劑輕揉洗滌；應(yīng)避免使用洗衣

機(jī)洗滌或用力揉、搓、擰等方式。靜電衣的洗滌頻率應(yīng)不多于1次/周。

6.6.3其它防靜電工具設(shè)備的靜電電壓的檢測(cè)：

6.6.3.1設(shè)備部收到防靜電手套、防靜電小車(chē)、防靜電墊，防靜電箱，防靜電踏板等防靜電工具

后，通知內(nèi)部計(jì)量員用靜電場(chǎng)表對(duì)防靜電工具設(shè)備的靜電電壓進(jìn)行檢測(cè)，數(shù)值為小于

0.1kv/inch。記錄數(shù)值并保存記錄。此外，測(cè)試部還應(yīng)每半年對(duì)防靜電小車(chē)、防靜電箱及防

靜電踏板進(jìn)行抽樣測(cè)試，每種工具每次抽樣的樣品數(shù)不少于5個(gè)，其靜電電壓應(yīng)小于

0.1kv/inch。測(cè)試結(jié)果由測(cè)試部保存。

7.0防靜電培要求求：

7.1所有新員工在接受入廠培訓(xùn)時(shí)，必須接受ESD知識(shí)的培訓(xùn)。課程包括至少2小時(shí)的理論知識(shí)

培訓(xùn)和相關(guān)的靜電概念、產(chǎn)生、危害等的演示，并詳細(xì)講解本程序。培訓(xùn)結(jié)束后，由人力資

源部組織ESD的考試，合格者才能上崗。

7.2所有在職工人和ESD委員、PE部、測(cè)試部、生產(chǎn)部的職員和相關(guān)人員必須每年接受不少于2

小時(shí)的ESD再培訓(xùn)。培訓(xùn)內(nèi)容包括ESD的最新技術(shù)介紹，解答相關(guān)問(wèn)題。

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8防靜電體系的維護(hù)：

8.1各部門(mén)的ESD委員應(yīng)每月對(duì)本部門(mén)的ESD體系按”防靜電檢查記錄”中所列的項(xiàng)目逐項(xiàng)進(jìn)行檢

查；并于每25日復(fù)印一份交到IS