修改記錄版本修改內(nèi)容摘要編制人審核人批準(zhǔn)人日期A新發(fā)布BB/1B/2發(fā)布部門份數(shù)發(fā)布部門份數(shù)□總經(jīng)理部[]□財(cái)務(wù)部[]□人事行政部[]□設(shè)備部[]□市場營銷部[]□品控部[]□技術(shù)工藝部[]□生產(chǎn)部[]文件宣貫簽字：1.目的1.1制定作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)程序及作業(yè)依據(jù)，規(guī)范作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化。1.2敘述線切工序之作業(yè)流程。2.適用范圍2.1生產(chǎn)部之切片工序作業(yè)適用。3.職責(zé)3.1IE部門負(fù)責(zé)程序書的編制。3.2生產(chǎn)部負(fù)責(zé)執(zhí)行程序書的作業(yè)規(guī)定與要求。3.3質(zhì)量部負(fù)責(zé)過程檢驗(yàn)與監(jiān)督。4.0作業(yè)內(nèi)容4.1使用設(shè)備、工具及物料4.1.1設(shè)備&工具：50N專用法碼，內(nèi)六角板手一套，單面刀片，繞線專用皮帶，繞線專用膠帶，封箱膠布(修跳線用),活動(dòng)板手,一字、十字螺絲刀,裝卸線匝專用扳手,裝卸硅棒和線匝專用升降車,剪刀，（電烙鐵，焊線，焊錫膏），插板，無塵紙，鏟刀，工件小推車，裝過濾網(wǎng)小推車，銅絲刷，過濾網(wǎng)，塑料杯（２．５升），充電電筒,噴壺，丙酮，300～600㎜鋼尺，125*200㎜直角尺。4.1.2PV800S4.1.3勞保用品（手套，工作服,勞保鞋，耳塞、袖套、護(hù)目鏡等）4.1.4.2輔料4.2.1.切割液，碳化硅，切割線.4.3作業(yè)流程與要求4.未切透未切透檢查機(jī)器準(zhǔn)備工作并起動(dòng)布織線網(wǎng)并起動(dòng)裝棒對刀并起動(dòng)設(shè)置切割零點(diǎn)并起動(dòng)熱機(jī)檢查線網(wǎng)并起動(dòng)檢查工藝參數(shù)自動(dòng)切割并起動(dòng)表單填寫切割結(jié)束檢查繼續(xù)切割并起動(dòng)卸片檢查砂簾4.3.2作業(yè)流程4.3.2.1開機(jī)檢查1)開通水.電.氣(冷凍水.純水.壓縮空氣),空調(diào).排風(fēng)電機(jī).等公用系統(tǒng),一般此系統(tǒng)為設(shè)備管理部負(fù)責(zé)。2)檢查主輥，導(dǎo)輪是否清潔，有無大的顆粒，溝槽是否磨損異常。所有導(dǎo)輪（滑輪）磨損程度轉(zhuǎn)動(dòng)是否靈活，需確認(rèn)導(dǎo)輪的漕溝，如屬不良品則改用未使用的漕溝，或者請予以更換新的導(dǎo)輪,導(dǎo)輪(滑輪)中心正常情況是否呈V形,底部嚴(yán)重向兩側(cè)偏移或同時(shí)向兩側(cè)偏移為不合格品,需更換.3)將主電源開關(guān)設(shè)置為ON4)電源鍵開關(guān)打開5)準(zhǔn)備運(yùn)行按鍵6)緊急停止按鍵7)檢查壓縮空氣的壓力范圍是否是0.4Map。0.4Map0.4Map8)排氣油壓3.5兆帕3.5Map3.5Map9)冷熱交換器冷卻水的溫度是否在9-12度。10)主軸冷卻水流量是否達(dá)到要求。4.3.3準(zhǔn)備工作4.3.3.1清潔：清理廢片盒破碎硅片及其它雜物。（第一次開機(jī)不用清洗）;將繞線室清理干凈,將導(dǎo)輪(滑輪)按要求安裝在相應(yīng)位置上;導(dǎo)輪槽溝中是否有硬顆粒(干砂漿),如果有必需清理干凈.以防鋼絲在運(yùn)動(dòng)時(shí)帶入切割室引起跳線。4.3.3.2確認(rèn)導(dǎo)輪槽距后,在主畫面中點(diǎn)擊自動(dòng)運(yùn)行準(zhǔn)備畫面中，進(jìn)入自動(dòng)運(yùn)行準(zhǔn)備畫后點(diǎn)擊設(shè)定主軸直徑，確認(rèn)主軸直徑無誤。4.3.4線匝安裝4.3.4.1繞線前,使用手動(dòng)升降器安裝左線軸（放線）在組裝線軸時(shí)，將安裝的臺(tái)面使用清潔的碎布(無塵紙)將表面擦拭干凈。事先需確認(rèn)線軸筒卷繞的鋼絲方向是否正確(上圖箭頭標(biāo)記)，確認(rèn)線軸筒的正反兩側(cè)是否正確之后，將線筒裝上。線匝安裝在主軸上必需將卡口對正,然后插入定位銷,固定螺絲在完全擰緊后，彈簧線軸筒的固定螺栓彈簧線軸筒的固定螺栓4.3.4.2線匝安裝注意事項(xiàng):線匝安裝過程中,線匝必需輕拿輕放,嚴(yán)禁受到外力碰撞(易使線匝變形)，工字線筒的內(nèi)壁是否有毛刺或其它粘附在內(nèi)壁上的異物；如果有不平的毛刺或異物則用油石或1500#砂紙磨平。4.3.4.3依次從R1至R6的順序繞過導(dǎo)輪進(jìn)入切割室內(nèi)。R4R5R6R4R5R6R3R3R2R2R1R14.3.5布織線網(wǎng)4.3.5.1將放線盤外包裝打開,將鋼絲從右線軸通過導(dǎo)向輥（滑輪），主軸2后用強(qiáng)力吸鐵石予以臨時(shí)固定4.3.5.2使用膠帶布由主輥邊上離開約五厘米將一與二的主輥繞上兩圈捆住（在卷繞膠帶布時(shí)，請將粘接的一面朝外卷繞）。4.3.5.3屏蔽接地報(bào)警，主軸接地，左側(cè)接地，右側(cè)接地后；用10cm的膠條卷成圓筒狀（粘膠表朝外），，再與上面第（4）依次從L1至L9的順序繞過導(dǎo)輪進(jìn)入切割室內(nèi)的線頭，卷繞在主輥的膠帶布相粘接，接著另外使用其他膠帶粘貼固定。4.3.5.4屏蔽接地報(bào)警，主軸接地；左側(cè)接地；右側(cè)接地后進(jìn)出線中的導(dǎo)輪（滑輪）漕溝位置與主輥右端漕溝位置需對準(zhǔn)，并調(diào)整導(dǎo)輪（滑輪）的位置。4.3.5.5屏蔽接地報(bào)警，主軸接地；左側(cè)接地；右側(cè)接地后放線盤安裝后,用同樣方法將收線盤安裝好,在主畫面中點(diǎn)擊自動(dòng)運(yùn)行準(zhǔn)備畫面中，進(jìn)入“自動(dòng)運(yùn)行準(zhǔn)備”畫后點(diǎn)擊設(shè)定安裝鋼絲,通過測量左右卷筒直徑，并輸入相關(guān)直徑及儲(chǔ)線量數(shù)據(jù)，設(shè)定左右橫動(dòng)桿的原點(diǎn)及前進(jìn)端和后退端的反轉(zhuǎn)位置。4.3.5.6屏蔽接地報(bào)警，主軸接地；左側(cè)接地；右側(cè)接地后在安裝鋼線畫面中，設(shè)定手動(dòng)左側(cè)卷曲張力為15N,按下左側(cè)連動(dòng)接通鍵，確認(rèn)導(dǎo)向輥（張力）手臂有否保持在垂直的位置左側(cè)張力顯示范區(qū)15N，摁住「>」鍵鈕，鋼線速度設(shè)定到10M/MIN,進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，鋼絲則向著正方向緩慢進(jìn)行繞線，此時(shí)使用刀片等，將鋼絲以主輥2右端的漕溝起依次換序卡入進(jìn)去。（注意使用鋼尺測量兩主導(dǎo)輪（主輥）的第一根鋼線離導(dǎo)輪的邊沿的距離一致）。4.3.5.7屏蔽接地報(bào)警，主軸接地；左側(cè)接地；右側(cè)接地后通過讓線網(wǎng)在導(dǎo)輪帶動(dòng)下運(yùn)動(dòng),分別將第一根線固定在兩個(gè)導(dǎo)輪同一槽內(nèi),通過正反方向變化,不停的將第二.三…根線固定在兩個(gè)導(dǎo)輪同一槽內(nèi),當(dāng)線網(wǎng)寬度達(dá)到15-20㎜時(shí),用專用膠帶粘住線網(wǎng),并將線頭剪斷,并清理好多余線網(wǎng),松開皮帶,在手動(dòng)狀態(tài)下,讓線網(wǎng)按要求一直繞到所需尺寸（要求布線過程中無跳線，無重線）。4.3.5.8確定線網(wǎng)寬度后，用丙酮潤濕膠帶并撕掉,將粘在線網(wǎng)上殘留膠水清理干凈,防止膠水帶入線網(wǎng),并將線頭經(jīng)過導(dǎo)輪。4.3.5.9確認(rèn)鋼線經(jīng)過主輥的最后一個(gè)線槽，再以R8至R1的順序到收線輪。并把線頭固定在收線盤上，在收線盤繞幾圈把線頭壓住。L4L4L5L3L5L3L1L1L6L6L2L24.3.5.10線網(wǎng)繞好后,開啟接地報(bào)警，開啟右側(cè)張力。按下右側(cè)連動(dòng)接通鍵，確認(rèn)導(dǎo)向輥（張力）手臂有否保持在垂直的位置右側(cè)張力。4.3.5.11在手動(dòng)狀態(tài)下收線,觀察左右線匝的前后移動(dòng)位置是否正確,如有偏差,可根據(jù)偏差數(shù)據(jù)在橫動(dòng)桿位置畫面安裝鋼絲畫面下，設(shè)置左右橫動(dòng)桿前后限位，來達(dá)到微調(diào)目的。4.3.5.12屏蔽起動(dòng)條件的異常項(xiàng)目，（但主軸接地，左右側(cè)接地，氣壓過低，冷卻單元，不能屏蔽）選擇正確的程序號和圖表號4.3.5.13起動(dòng)自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)：自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)的起動(dòng)中，按鈕燈點(diǎn)亮。4.3.5.14自運(yùn)收線6KM4.3.6準(zhǔn)備砂漿4.3.6.1將配好的砂漿打入砂漿缸,打入量在400升4.3.6.2進(jìn)入手動(dòng)運(yùn)行畫面，進(jìn)入泵單獨(dú)操作畫面，設(shè)置溫度調(diào)節(jié)目標(biāo)溫度和目標(biāo)流量，確認(rèn)冷卻器的電源為開狀態(tài)，檢查漿料密度，粘度是否達(dá)到工藝要求，將預(yù)濾網(wǎng)放在砂漿噴管歧管下面，為過濾砂漿作準(zhǔn)備，按溫度調(diào)節(jié)鍵，噴出漿料，并讓漿料循環(huán)30分鐘后，再點(diǎn)擊溫度調(diào)節(jié)鍵，停止循環(huán)，取出預(yù)濾網(wǎng)，清理預(yù)濾網(wǎng)上的污垢，檢查砂簾分布是否均習(xí)，并調(diào)節(jié)砂漿噴嘴，若有異常即時(shí)清理砂漿噴嘴。4.3.7裝棒對刀4.3.7.1粘棒房選取硅棒時(shí)，需檢查工件夾具螺絲的鎖緊狀態(tài)，托板上的硅塊與玻璃平行，并處于中間位置；確定硅塊粘膠面附看近無不干凈的膠跡（若有問題，需立即用酒精使用無塵紙清理干靜）；4.3.7.2清潔工件夾緊部位，通過工件小車將裝有硅棒的晶托插入到工件導(dǎo)軌里，并按進(jìn)線口一頭硅棒橫切面對齊，按中央，內(nèi)側(cè)，外側(cè)順序用扭矩扳手，將所有螺絲擰緊，并確認(rèn)，確認(rèn)工件長度，硅棒安裝好后,確認(rèn)硅棒長度是否在線網(wǎng)的寬度之內(nèi)。4.3.7.3零位設(shè)置1）進(jìn)入自動(dòng)運(yùn)行準(zhǔn)備菜單的進(jìn)刀主軸設(shè)定畫面。2)按住「▼」鍵鈕（低速），下降進(jìn)刀裝置。3)進(jìn)刀裝置在工件下端鋼絲排列位置停下。4)點(diǎn)擊「復(fù)位」鍵鈕，設(shè)置原點(diǎn)。5)按住「▲」鍵鈕（低速），將進(jìn)刀裝置開始加工位置上升到離開一毫米的位置。6)編寫切割日志。4.3.7.4檢查各項(xiàng)切割條件1）各項(xiàng)警報(bào)參數(shù)是否設(shè)置是否正確。2）選用的程序號和圖表號是否正確，本次所切割的程序參數(shù)是否正確。加工時(shí)間是否復(fù)位。3）砂漿管有無上緊，砂漿流量是否符合要求，有無斷簾現(xiàn)象，砂漿溫度是否在到25攝氏度。4）進(jìn)給工作臺(tái)的零點(diǎn)是否設(shè)置，并是否上升1-1.5毫米。5）左右工字輪的儲(chǔ)線數(shù)據(jù)是否正確。用線量是否足夠。6）電極桿是否安裝，并設(shè)置正確。7）砂漿密度和粘度是否正常。8）屏蔽項(xiàng)目是否符合要求：除防護(hù)罩，工件鎖緊為黃色外其它所有項(xiàng)目都為灰色。9）冷卻系統(tǒng)是否達(dá)到要求。10）鋼線的切割方向是否正確，是用的單向還是雙向，鋼線是否在應(yīng)該導(dǎo)輪槽內(nèi)及導(dǎo)輪，主輥使用的時(shí)間是否達(dá)到預(yù)設(shè)時(shí)間。11）所有參數(shù)檢查好后,將所有罩蓋,門關(guān)閉4.3.84.3.8.1進(jìn)入自動(dòng)起動(dòng)條件畫面，點(diǎn)擊“預(yù)熱運(yùn)行”4.3.8.2按“全自動(dòng)啟動(dòng)”4.3.9檢查線網(wǎng)：4.3.104.3.10.1再次檢查菜單功能,無異常后,關(guān)閉安全門罩,確認(rèn)切割的各種參數(shù)均OK后，按下啟動(dòng)按鈕（AUTOSTART）4.3.10.2自動(dòng)切割運(yùn)行過程中,主操手必需經(jīng)常對設(shè)備進(jìn)行跟蹤,觀察線弓情況，硅棒里有無其它雜質(zhì)注意自動(dòng)收放線筒繞線情況，需調(diào)節(jié)橫動(dòng)桿的反轉(zhuǎn)位置，4.3.11表單填寫：4.3.124.3.12.14.3.12.24.3.134.3.13.1.關(guān)閉“溫度調(diào)節(jié)”4.3.13.2按“低速”上升鍵慢速上升。同時(shí)用手電筒照向線網(wǎng)，看有無個(gè)別鋼線被破碎的硅片勾住。如果有則馬上停止上升工作臺(tái)，把鋼線撥下來后再繼續(xù)上升工作臺(tái)。升至20毫米處按“高速”上升鍵開始上升，升至120毫米處再以低速上升。把硅片升離線網(wǎng)后再以高速上升直至工作臺(tái)最高位置。4.3.13.3用扭矩扳手松掉螺絲4.3.13.4推硅片小車轉(zhuǎn)動(dòng)橫切片用手輪，將工件托架的臂移動(dòng)使之位置和工件板的位置兩邊相平行，上下相距1厘米的位置。拔掉工件托架臂部用制動(dòng)器銷。4.3.13.5在確認(rèn)工件托架臂部和工件等沒有互相干涉的同時(shí)，緩慢地前進(jìn)，前進(jìn)的同時(shí)不能推歪斜。4.3.13.6使工件升降機(jī)稍微上升，使工件板完全裝載到升降機(jī)上后才可以拉出硅片。4.3.13.7將工件板移動(dòng)到升降機(jī)旁(近前側(cè))工件板，放入固定臂部用的制動(dòng)器銷。4.3.13.8使工件升降機(jī)后退。4.3.13.