單晶爐保養(yǎng)考試題及答案

一、單項(xiàng)選擇題（每題2分，共10題）1.單晶爐內(nèi)的石墨部件需要定期（）。A.清洗B.更換C.潤(rùn)滑D.加熱答案：A2.單晶爐的真空系統(tǒng)密封墊一般采用（）材質(zhì)。A.橡膠B.金屬C.塑料D.陶瓷答案：B3.單晶爐的加熱功率調(diào)整主要是為了控制（）。A.晶體生長(zhǎng)速度B.爐內(nèi)壓力C.原料熔化速度D.以上都是答案：A4.單晶爐爐體的清潔，重點(diǎn)是清理（）。A.內(nèi)部灰塵B.外部污漬C.頂部雜物D.底部殘?jiān)鸢福篈5.單晶爐的傳感器在保養(yǎng)時(shí)要檢查（）。A.靈敏度B.外觀C.連接線路D.以上都是答案：D6.單晶爐在保養(yǎng)時(shí)，籽晶軸（）。A.必須拆卸B.無需處理C.要進(jìn)行清潔和潤(rùn)滑D.只需檢查外觀答案：C7.單晶爐的氬氣供應(yīng)系統(tǒng)保養(yǎng)主要是檢查（）。A.氣體流量B.管道密封性C.氣體純度D.以上都是答案：D8.單晶爐的坩堝在使用一定次數(shù)后需要（）。A.修補(bǔ)B.翻面C.更換D.清洗答案：C9.單晶爐的熱場(chǎng)部件如果出現(xiàn)輕微變形，應(yīng)該（）。A.繼續(xù)使用B.修復(fù)或更換C.增加支撐D.降低功率使用答案：B10.單晶爐的電氣控制柜保養(yǎng)時(shí)，主要清潔（）。A.電路板B.開關(guān)C.散熱風(fēng)扇D.以上都是答案：D二、多項(xiàng)選擇題（每題2分，共10題）1.單晶爐保養(yǎng)時(shí)需要用到的工具包括（）。A.清潔刷B.扳手C.萬用表D.砂紙答案：ABCD2.單晶爐的熱場(chǎng)部件有（）。A.石墨加熱器B.保溫罩C.坩堝D.籽晶夾頭答案：ABC3.單晶爐真空系統(tǒng)的保養(yǎng)內(nèi)容包括（）。A.真空泵油更換B.真空管道檢漏C.閥門檢查D.真空規(guī)校準(zhǔn)答案：ABCD4.單晶爐的籽晶在保養(yǎng)時(shí)要注意（）。A.表面清潔B.完整性檢查C.存放環(huán)境D.與夾頭的連接答案：ABCD5.單晶爐的電源系統(tǒng)保養(yǎng)要檢查（）。A.電源線B.熔斷器C.變壓器D.接地情況答案：ABCD6.單晶爐的坩堝升降系統(tǒng)保養(yǎng)時(shí)要關(guān)注（）。A.絲桿潤(rùn)滑B.電機(jī)性能C.限位開關(guān)D.鏈條松緊答案：ABC7.單晶爐內(nèi)的隔熱材料需要（）。A.定期檢查是否破損B.保持干燥C.避免沾染雜質(zhì)D.定期更換答案：ABC8.單晶爐的監(jiān)控系統(tǒng)保養(yǎng)包括（）。A.攝像頭清潔B.數(shù)據(jù)采集線路檢查C.軟件更新D.顯示屏擦拭答案：ABD9.單晶爐保養(yǎng)中，對(duì)爐體外觀的要求有（）。A.無劃痕B.無銹跡C.油漆完整D.標(biāo)識(shí)清晰答案：ABCD10.單晶爐的氬氣流量控制系統(tǒng)保養(yǎng)要（）。A.檢查流量計(jì)B.清潔過濾器C.調(diào)節(jié)閥門靈活性D.校準(zhǔn)流量設(shè)定答案：ABCD三、判斷題（每題2分，共10題）1.單晶爐的石墨部件不需要保養(yǎng)，用到損壞再更換就行。（）答案：錯(cuò)誤2.單晶爐的真空度只要能生長(zhǎng)晶體就無需檢查。（）答案：錯(cuò)誤3.單晶爐的籽晶軸在保養(yǎng)時(shí)不能用潤(rùn)滑油。（）答案：錯(cuò)誤4.單晶爐熱場(chǎng)部件的保養(yǎng)就是簡(jiǎn)單的擦拭。（）答案：錯(cuò)誤5.單晶爐的電氣控制柜只要不斷電就不用保養(yǎng)。（）答案：錯(cuò)誤6.單晶爐的坩堝在保養(yǎng)時(shí)可以用強(qiáng)酸清洗。（）答案：錯(cuò)誤7.單晶爐的氬氣供應(yīng)系統(tǒng)只要通氣就沒問題。（）答案：錯(cuò)誤8.單晶爐的傳感器保養(yǎng)只需要看外觀。（）答案：錯(cuò)誤9.單晶爐爐體內(nèi)部的灰塵不影響晶體生長(zhǎng)，可以不清理。（）答案：錯(cuò)誤10.單晶爐的加熱系統(tǒng)不需要檢查功率的穩(wěn)定性。（）答案：錯(cuò)誤四、簡(jiǎn)答題（每題5分，共4題）1.簡(jiǎn)述單晶爐熱場(chǎng)部件保養(yǎng)的要點(diǎn)。答案：要檢查熱場(chǎng)部件是否有變形、破損；清潔石墨部件上的雜質(zhì)；對(duì)部件的連接進(jìn)行緊固檢查；若有輕微損壞及時(shí)修復(fù)或更換，保證熱場(chǎng)的均勻性和穩(wěn)定性。2.說明單晶爐真空系統(tǒng)保養(yǎng)時(shí)的注意事項(xiàng)。答案：要定期更換真空泵油，檢查真空管道是否漏氣，校準(zhǔn)真空規(guī)，檢查閥門開閉是否正常，保證整個(gè)真空系統(tǒng)的密封性和真空度符合要求。3.請(qǐng)列出單晶爐籽晶保養(yǎng)的幾個(gè)關(guān)鍵步驟。答案：首先進(jìn)行表面清潔，檢查籽晶是否有裂縫等缺陷，保證籽晶與夾頭連接牢固，存放于干燥、潔凈的環(huán)境中。4.簡(jiǎn)述單晶爐坩堝升降系統(tǒng)保養(yǎng)的主要內(nèi)容。答案：對(duì)絲桿進(jìn)行潤(rùn)滑，檢查電機(jī)運(yùn)行是否正常，測(cè)試限位開關(guān)功能，確保升降過程平穩(wěn)、安全。五、討論題（每題5分，共4題）1.討論單晶爐保養(yǎng)對(duì)晶體生長(zhǎng)質(zhì)量的影響。答案：保養(yǎng)良好的單晶爐，熱場(chǎng)穩(wěn)定、真空度合適、部件正常運(yùn)行，可減少晶體生長(zhǎng)中的缺陷，提高晶體純度和結(jié)構(gòu)完整性，反之則易導(dǎo)致晶體生長(zhǎng)失敗或質(zhì)量低下。2.如何確保單晶爐氬氣供應(yīng)系統(tǒng)在保養(yǎng)后能正常工作？答案：保養(yǎng)后進(jìn)行氬氣流量、純度測(cè)試，檢查管道密封性，查看各閥門開閉情況，通過監(jiān)控系統(tǒng)查看氬氣相關(guān)參數(shù)是否正常。3.分析單晶爐電氣控制柜保養(yǎng)不當(dāng)可能產(chǎn)生的后果。答案：可能