2機(jī)械軸承分子泵性能分級(jí)規(guī)范本文件規(guī)定了機(jī)械軸承分子泵性能的評(píng)級(jí)指標(biāo)定義、評(píng)級(jí)指標(biāo)測(cè)試方法和性能分級(jí)判定依據(jù)等。本文件適用于工業(yè)用機(jī)械軸承分子泵，特殊定制機(jī)械軸承分子泵除外。2規(guī)范性引用文件下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T7774-2007真空技術(shù)渦輪分子泵性能參數(shù)的測(cè)量GB/T21271-2007真空技術(shù)真空泵噪聲測(cè)量JB/T9125-2007真空技術(shù)渦輪分子泵JB/T10771-2007真空技術(shù)復(fù)合分子泵JB/T9125-2007和GB/T7774-2007規(guī)定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件。3.1振動(dòng)值vibrationvalue在不引入外部氣體條件下，機(jī)械軸承分子泵額定轉(zhuǎn)速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的徑向振動(dòng)測(cè)量值，單位：μm。在不引入外部氣體條件下，機(jī)械軸承分子泵額定轉(zhuǎn)速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)對(duì)周圍環(huán)境發(fā)射的噪聲測(cè)量值，以發(fā)射聲壓級(jí)Lp表示，單位：dB(A)。3.3空載電機(jī)功耗值no-loadmotorpowerconsumptionvalue在不引入外部氣體條件下，機(jī)械軸承分子泵額定轉(zhuǎn)速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)分子泵電機(jī)所消耗的功率P3.4體積抽速比volumepumpingspeedratio機(jī)械軸承分子泵的泵體最大空間占用體積（能夠包含泵體的最小規(guī)則圓柱體體積）與理想條件下單位時(shí)間從測(cè)試罩流過泵入口的氣體體積之比定義為體積抽速比，單位：無。4符號(hào)和縮略語Lp發(fā)射聲壓級(jí)dB(A)PM空載電機(jī)功耗值WPMi第i次測(cè)量的空載電機(jī)功耗值W3UM空載運(yùn)行時(shí)機(jī)械軸承分子泵電機(jī)母線電壓VIM空載運(yùn)行時(shí)機(jī)械軸承分子泵電機(jī)母線電流A機(jī)械軸承分子泵的振動(dòng)值測(cè)試應(yīng)符合GB/T7774-2007中6.11的規(guī)定。5.2.1機(jī)械軸承分子泵的安裝應(yīng)符合GB/T7774-2007中的6.11.2及GB/T21271-2007中6.2的規(guī)定。5.2.2噪聲測(cè)試時(shí)，機(jī)械軸承分子泵的負(fù)載和運(yùn)行條件應(yīng)符合GB/T21271-2007中6.35.2.3在不引入外部氣體情況下，機(jī)械軸承分子泵正常運(yùn)行1小時(shí)后，關(guān)閉機(jī)械軸承分子泵前級(jí)閥，前級(jí)泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)，立即按照GB/T21271-2007中8的規(guī)定測(cè)試機(jī)械軸承分子泵空載運(yùn)行時(shí)的發(fā)射聲壓級(jí)。5.3空載電機(jī)功耗值測(cè)試在不引入外部氣體情況下，機(jī)械軸承分子泵額定轉(zhuǎn)速運(yùn)行1小時(shí)后，用數(shù)字萬用表及鉗流表檢測(cè)機(jī)械軸承分子泵電機(jī)的母線電壓UM及母線電流IM，根據(jù)公式PM=UM×IM計(jì)算出機(jī)械軸承分子泵空載電機(jī)功率PM。按上述方法進(jìn)行3次機(jī)械軸承分子泵空載電機(jī)功率測(cè)量，分別記為PM1、PM2、PM3，將3使用經(jīng)過計(jì)量單位認(rèn)證的測(cè)量工具（直尺、游標(biāo)卡尺等）測(cè)量機(jī)械軸承分子泵泵體各維度的最大尺寸值，并以最大尺寸值為基準(zhǔn)，計(jì)算出能夠包含泵體的最小規(guī)則圓柱體體積作為機(jī)械軸承分子泵泵體最大空間占用體積。機(jī)械軸承分子泵的體積流率（抽速）測(cè)試應(yīng)符合GB/T7774-2007中6.4的規(guī)定。體積抽速比等于泵體最大空間占用體積與分子泵的體積流率（抽速）之比。6性能分級(jí)判定依據(jù)本文件選用振動(dòng)值、噪聲值、空載電機(jī)功耗值和體積抽速比作為機(jī)械軸承分子泵性能等級(jí)的評(píng)級(jí)指標(biāo)，如表1所示各評(píng)級(jí)指標(biāo)按不同指標(biāo)范圍劃分為一級(jí)和二級(jí)兩檔。機(jī)械軸承分子泵性能等級(jí)劃分按照表2要求執(zhí)行。4表1評(píng)級(jí)指標(biāo)評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)評(píng)價(jià)項(xiàng)振動(dòng)值小于0.05μm0.05μm~0.1μm小于50dB(A)50dB(A)~60dB(A)空載電機(jī)能耗值抽速小于1000L/s小于60W60W~150W抽速大于1000L/s小于80W80W~200W體積抽速比0.1~0.2表2機(jī)械軸承分子泵性能等級(jí)劃分標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械軸承分子泵性能等級(jí)三項(xiàng)及以上評(píng)級(jí)指標(biāo)均為一級(jí)各項(xiàng)評(píng)級(jí)指標(biāo)均滿足二級(jí)，但滿足一級(jí)的評(píng)級(jí)指標(biāo)少于三項(xiàng)5附表1機(jī)械軸承分子泵性能測(cè)試報(bào)告機(jī)械軸承分子泵型號(hào)：產(chǎn)品編號(hào)：測(cè)試日期：溫度、濕度：測(cè)試人員：測(cè)試項(xiàng)判定標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試設(shè)備測(cè)試結(jié)果評(píng)級(jí)結(jié)果振動(dòng)值機(jī)功耗值抽速小于小于60W為一級(jí)；抽速大于小于80W為一級(jí)；機(jī)械軸承0.1~0.2為二級(jí)；性能評(píng)級(jí)結(jié)論附表2測(cè)試工具要求1測(cè)振儀2聲壓準(zhǔn)確度優(yōu)于±0.7dB(A)3數(shù)字萬用表電壓測(cè)量精度優(yōu)于0.01%4數(shù)字鉗流表0~6A電流范圍內(nèi)，測(cè)量精度±1.5%rdg±5dgt（rdg鉗流表最小顯