地址314499浙江省嘉興市海寧市海昌街道谷水路306號1幢(東)有限公司11463HO3H9/145(2HO3H9/02(2006.01)本申請公開了一種聲表面波諧振器及濾波叉指電極和第二叉指在第一方向上投影重疊的A7121.一種聲表面波諧振器，其特征在于，包括叉指電極，所述叉指電極包括相對設置第一匯流條和第二匯流條，所述第一匯流條朝向所述第二匯流條伸出多個第一叉指電極，所述第二匯流條朝向所述第一匯流條伸出多個第二叉指電極，所述第一叉指電極和所述第二叉指電極在第一方向上間隔交替設置，所述第一叉指電極和所述第二叉指在第一方向上投影重疊的區(qū)域為有效區(qū)域，在有效區(qū)域外，多個所述第一叉指電極通過第一短路柵條連接，多個所述第二叉指電極通過第二短路柵條連接。2.根據權利要求1所述的聲表面波諧振器，其特征在于，沿第一方向，所述第一叉指電極的長度先增大后減小，所述第二叉指電極的長度先增大后減?。换蛘?，所述第一叉指電極的長度先增大后減小，所述第二叉指電極的長度先減小后增大。3.根據權利要求2所述的聲表面波諧振器，其特征在于，所述第一短路柵條呈折線狀，所述第二短路柵條呈折線狀。4.根據權利要求2所述的聲表面波諧振器，其特征在于，所述第一短路柵條呈圓弧狀，所述第二短路柵條呈圓弧狀。5.根據權利要求4所述的聲表面波諧振器，其特征在于，第一短路柵條的圓心角在30-6.根據權利要求3或4所述的聲表面波諧振器，其特征在于，所述第一短路柵條包括多個，多個所述第一短路柵條沿第二方向平行設置；所述第二短路柵條包括多個，多個所述第二短路柵條沿第二方向平行設置，所述第一方向與所述第二方向垂直。7.根據權利要求3或4所述的聲表面波諧振器，其特征在于，沿所述第一方向，所述第一短路柵條和所述第二短路柵條均包括多個折線單元或者圓弧單元，其中，每個折線單元包括具有鈍角的兩個柵條，每個圓弧單元具有連續(xù)性。8.根據權利要求1所述的聲表面波諧振器，其特征在于，在所述第一匯流條和所述第一短路柵條之間設置多個與所述第一匯流條連接的第一假指，多個所述第一假指與所述第二叉指電極一一對應且在第二方向上的投影重疊；在所述第二匯流條和所述第二短路柵條之間設置多個與第二匯流條連接的第二假指，多個所述第二假指與所述第一叉指電極一一對應且在所述第二方向上的投影重疊。9.根據權利要求1或8所述的聲表面波諧振器，其特征在于，在所述第一短路柵條與第二叉指電極之間設置多個與所述第一短路柵條連接的第三假指，多個所述第三假指與所述第二叉指電極一一對應且在第二方向上的投影重疊；在所述第二短路柵條與第一叉指電極之間設置多個與所述第二短路柵條連接的第四假指，多個所述第四假指與所述第一叉指電極一一對應且在所述第二方向上的投影重疊。10.一種濾波器，其特征在于，包括多個級聯的如權利要求1-9任一項所述的聲表面波諧振器。3一種聲表面波諧振器及濾波器技術領域[0001]本申請涉及通信技術領域，具體而言，涉及一種聲表面波諧振器及濾波器。背景技術[0002]聲表面波(SurfaceAcousticWave,SAW諧振器利用壓電材料表面的聲表面波傳播特性，通過激勵電極產生聲表面波，實現信號的諧振和處理。聲表面波諧振器通常由壓電材料、激勵電極和負載電極等部分組成，通過在壓電材料表面產生聲表面波來實現信號的諧振。聲表面波濾波器通常由多個聲表面波諧振器組成，通過合理設計諧振器的頻率和帶用于信號處理、頻率選擇和濾波等用途。[0003]基于壓電單晶薄膜襯底的聲表面波諧振器由于波傳播的有限孔徑，可能通過衍射效應產生橫向模態(tài)，在諧振點和反諧振點之間出現大量雜波，嚴重影響聲表面波濾波器通帶的平坦度，使得濾波器的插入損耗惡化。為了抑制橫向模態(tài)，現有技術通常在叉指電極的指條的末端增加特殊結構將聲表面波的能量匯聚在有效諧振區(qū)域內，但是特殊結構延伸至指條外部，使得相鄰兩個指條上的特殊結構之間的間隙極小，而叉指電極采用光刻形成，極小的間隙增加了光刻的難度，且特殊結構破壞了指條連續(xù)性，容易引入其他的寄生模態(tài)，影響聲表面波諧振器的性能。發(fā)明內容[0004]本申請的目的在于提供一種聲表面波諧振器及濾波器，能夠降低叉指電極的制備難度，提高聲表面波諧振器的性能。[0005]本申請的實施例一方面提供了一種聲表面波諧振器，包括叉指電極，叉指電極包括相對設置第一匯流條和第二匯流條，第一匯流條朝向第二匯流條伸出多個第一叉指電極，第二匯流條朝向第一匯流條伸出多個第二叉指電極，第一叉指電極和第二叉指電極在第一方向上間隔交替設置，第一叉指電極和第二叉指在第一方向上投影重疊的區(qū)域為有效區(qū)域，在有效區(qū)域外，多個第一叉指電極通過第一短路柵條連接，多個第二叉指電極通過第二短路柵條連接。[0006]作為一種可實施的方式，沿第一方向，第一叉指電極的長度先增大后減小，第二叉指電極的長度先增大后減??；或者，第一叉指電極的長度先增大后減小，第二叉指電極的長度先減小后增大。[0007]作為一種可實施的方式，第一短路柵條呈折線狀，第二短路柵條呈折線狀。[0008]作為一種可實施的方式，第一短路柵條呈圓弧狀，第二短路柵條呈圓弧狀。[0009]作為一種可實施的方式，第一短路柵條的圓心角在30-60°之間，第二短路柵條的[0010]作為一種可實施的方式，第一短路柵條包括多個，多個第一短路柵條沿第二方向平行設置；第二短路柵條包括多個，多個第二短路柵條沿第二方向平行設置，第一方向與第4二方向垂直。[0011]作為一種可實施的方式，沿第二方向，第一短路柵條和第二短路柵條均包括多個折線單元或者圓弧單元，其中，每個折線單元包括具有鈍角的兩個柵條，每個圓弧單元具有連續(xù)性。[0012]作為一種可實施的方式，在第一匯流條和第一短路柵條之間設置多個與第一匯流條連接的第一假指，多個第一假指與第二叉指電極一一對應且在第二方向上的投影重疊；在第二匯流條和第二短路柵條之間設置多個與第二匯流條連接的第二假指，多個第二假指與第一叉指電極一一對應且在第二方向上的投影重疊。[0013]作為一種可實施的方式，在第一短路柵條與第二叉指電極之間設置多個與第一短路柵條連接的第三假指，多個第三假指與第二叉指電極一一對應且在第二方向上的投影重疊；在第二短路柵條與第一叉指電極之間設置多個與第二短路柵條連接的第四假指，多個第四假指與第一叉指電極一一對應且在第二方向上的投影重疊。[0014]本申請的實施例另一方面提供了一種濾波器，包括多個級聯的上述聲表面波諧振[0015]本申請實施例的有益效果包括：本申請?zhí)峁┑穆暠砻娌ㄖC振器，包括叉指電極，叉指電極包括相對設置第一匯流條和第二匯流條，第一匯流條朝向第二匯流條伸出多個第一叉指電極，第二匯流條朝向第一匯流條伸出多個第二叉指電極，第一叉指電極和第二叉指電極在第一方向上間隔交替設置，第一叉指電極和第二叉指在第一方向上投影重疊的區(qū)域為有效區(qū)域，在有效區(qū)域外，多個第一叉指電極通過第一短路柵條連接，其中，多個第一叉指電極分別與第一匯流條連接，使得第一短路柵條與第一匯流條通過多個第一叉指電極連接，即第一短路柵條和第一匯流條上電位相等，這樣，在第一短路柵條和第一匯流之間構成短路區(qū)域，使得第一短路柵條和第一匯流條之間沒有電場的分布，從而抑制橫向模態(tài)的激發(fā)；同樣的，多個第二叉指電極通過第二短路柵條連接，在第二短路柵條和第二匯流條之間沒有電場的分布，從而抑制橫向模態(tài)的激發(fā)，提高聲表面波諧振器的性能。另外，由于第一短路柵條和第二短路柵條在加工時，只需調整刻蝕時的掩膜版即可，不需要特別細的柵條，從而降低叉指電極的制備難度，因此，本申請的聲表面波諧振器，能夠降低叉指電極的制備難度，提高聲表面波諧振器的性附圖說明[0016]為了更清楚地說明本申請實施例的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，應當理解，以下附圖僅示出了本申請的某些實施例，因此不應被看作是對范圍的限定，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他相關的附圖。[0017]圖1為本申請實施例提供的一種聲表面波諧振器的結構示意圖之一；圖2為本申請實施例提供的一種聲表面波諧振器的結構示意圖之二；圖3為本申請實施例提供的一種聲表面波諧振器的結構示意圖之三；圖4為本申請實施例提供的一種聲表面波諧振器的結構示意圖之四；圖5為本申請實施例提供的一種聲表面波諧振器的結構示意圖之五；5圖6為本申請實施例提供的一種聲表面波諧振器的結構示意圖之六；圖7為本申請實施例提供的一種聲表面波諧振器的結構示意圖之七；圖8為本申請實施例提供的一種聲表面波諧振器的結構示意圖之八；圖9為本申請實施例提供的一種聲表面波諧振器的結構示意圖之九；圖10為本申請實施例提供的一種聲表面波諧振器的結構示意圖之十；圖11為本申請實施例提供的一種聲表面波諧振器的結構示意圖之十一；圖12為本申請實施例提供的一種聲表面波諧振器的結構示意圖之十二；圖13為本申請實施例提供的一種聲表面波諧振器的結構示意圖之十三；圖14為本申請實施例提供的一種聲表面波諧振器的結構示意圖之十四；圖15為本申請實施例提供的一種聲表面波諧振器的結構示意圖之十五；圖16為本申請實施例提供的一種濾波器的電路連接圖；圖17為本申請實施例與比較例的導納特性曲線對比圖；圖18為圖17中圓圈處的放大圖；圖19為本申請實施例與比較例的導納實部曲線對比圖；圖20為本申請實施例與比較例的通帶特性曲線對比圖。122-第一短路柵條；123-第一假指；124-第三假指；130-第二匯流條；131-第二叉指電極；210-并聯諧振器；220-串聯諧振器。具體實施方式[0019]為使本申請實施例的目的、技術方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結合本申請實施例中的附圖，對本申請實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本申請一部分實施例，而不是全部的實施例。通常在此處附圖中描述和示出的本申請實施例的組件可以以各種不同的配置來布置和設計。[0020]因此，以下對在附圖中提供的本申請的實施例的詳細描述并非旨在限制要求保護的本申請的范圍，而是僅僅表示本申請的選定實施例。基于本申請中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本申請保護的范[0021]應注意到：相似的標號和字母個附圖中被定義，則在隨后的附圖中不需要對其進行進一步定義和解釋。[0022]本申請實施例提供了一種聲表面波諧振器100,如圖1和圖2所示，包括叉指電極110,叉指電極110包括相對設置第一匯流條120和第二匯流條130,第一匯流條120朝向第二匯流條130伸出多個第一叉指電極121,第二匯流條130朝向第一匯流條120伸出多個第二叉指電極131,第一叉指電極121和第二叉指電極131在第一方向上間隔交替設置，第一叉指電極121和第二叉指在第一方向上投影重疊的區(qū)域為有效區(qū)域140,在有效區(qū)域140外，多個第一叉指電極121通過第一短路柵條122連接，多個第二叉指電極131通過第二短路柵條132連6[0023]本申請實施例提供的聲表面波諧振器100,用于產生聲波的諧振。其中，叉指電極110設置于壓電層164上，叉指電極110的第一匯流條120和第二匯流條130分別連接外界信號，以在第一匯流條120和第二匯流條130之間形成電壓差，由于第一匯流條120連接設置多個第一叉指電極121,第二匯流條130連接設置多個第二叉指電極131,使得第一叉指電極121和第二叉指電極131之間具有電壓差，壓電層164在電壓差的作用下震動產生聲波，當聲波滿足一定條件時形成諧振。[0024]為了避免第一叉指電極121與第二匯流條130之間，以及第二叉指電極131與第一匯流條120之間短路，通常第一叉指電極121的末端與第二匯流條130之間具有一定間隙，同樣的，第二叉指電極131的末端與第一匯流條120之間具有一定間隙，其中，第一叉指電極121和第二叉指電極131在第一方向重疊的區(qū)域為有效區(qū)域140,在有效區(qū)域140內形成沿第一方向傳播的聲波，位于有效區(qū)域140兩側的間隙則為有效區(qū)域140外。[0025]在有效區(qū)域140外，多個第一叉指電極121通過第一短路柵條122連接，多個第一叉指電極121通過第一短路柵條122連接，這樣，第一叉指電極121分別與第一匯流條120連接，這樣，使得第一短路柵條122和第一匯流條120具有相同的電位，即在第一短路柵條122和第一匯流條120之間構成短路區(qū)域，使得第一短路柵條122和第一匯流條120之間沒有電場的分布，從而抑制橫向模態(tài)的激發(fā)。同樣的，多個第二叉指電極131通過第二短路柵條132連接，使得第二短路柵條132和第二匯流條130具有相同的電位，即在第二短路柵條132和第二匯流條130之間構成短路區(qū)域，使得第二短路柵條132和第二匯流條130之間沒有電場的分[0026]另外，本申請實施例的體聲波諧振器的叉指電極110,在制備時，在刻蝕第一匯流條120、第一叉指電極121、第二匯流條130、第二叉指電極131等結構時，采用帶有第一短路柵條122和第二短路柵條132的掩膜版即可制備出本申請實施例的叉指電極110,其中，沒有為了抑制橫向模態(tài)的激發(fā)而減小指條的尺寸，從而降低叉指電極110的制備難度，因此，本申請的聲表面波諧振器100,能夠降低叉指電極110的制備難度，提高聲表面波諧振器100的[0027]其中，第一方向為第一叉指電極121和第二叉指電極131間隔交替設置的方向，即為如圖1中所示的水平方向。有效區(qū)域140為第一叉指電極121和第二叉指電極131在第一方向上重疊的區(qū)域，如圖1中虛線框圍合的區(qū)域。[0028]在實際應用中，叉指電極110形成于聲表面波諧振器100的上表面，具體的，如圖3所示，沿層級方向，聲表面波諧振器100包括支撐層161以及依次設置于支撐層161上的高聲速層162、低聲速層163、壓電層164,叉指電極110形成于壓電層164上，叉指的電極的兩個指之間形成電壓差，以在壓電層164內形成沿壓電層164所在表面內傳播的聲波。其中，聲波在有效區(qū)域140內傳播，為了避免在有效區(qū)域140的邊緣存在聲波的泄露，在叉指電極110沿聲波傳播方向的兩側分別設置反射柵171,如圖1和圖2所示。形成的合金，也可以采用上述金屬的層疊結構。壓電層164為石材料。低聲速層163為具有溫度補償特性的材料，如二氧化硅等；高聲速層162和高聲速支撐層161可以為同一材料，如藍寶石；也可以為不同材料，如高聲速層162采用多晶硅，高聲速支撐層161采用高阻硅。7[0030]可以理解的是，第一短路柵條122在有效區(qū)域140外連接多個第一叉指電極121,使得第一短路柵條122設置于靠近第一匯流條120的一側；同樣的，第二短路柵條132在有效區(qū)域140外連接多個第二叉指電極131,使得第二短路柵條132設置于靠近第二匯流條130的一[0031]綜上所示，本申請?zhí)峁┑穆暠砻娌ㄖC振器100的叉指電極110包括相對設置第一匯流條120和第二匯流條130,第一匯流條120朝向第二匯流條130伸出多個第一叉指電極121,第二匯流條130朝向第一匯流條120伸出多個第二叉指電極131,第一叉指電極121和第二叉指在第一方向上投影重疊的區(qū)域為有效區(qū)域140,在有效區(qū)域140外，多個第一叉指電極121通過第一短路柵條122連接，其中，多個第一叉指電極121分別與第一匯流條120連接，使得第一短路柵條122與第一匯流條120通過多個第一叉指電極121連接，即第一短路柵條122和第一匯流條120上電位相等，這樣，在第一短路柵條122和第一匯流之間構成短路區(qū)域，使得第一短路柵條122和第一匯流條120之間沒有電場的分布，從而抑制橫向模態(tài)的激發(fā)；同樣的，多個第二叉指電極131通過第二短路柵條132連接，在第二短路柵條132和第二匯流條130之間沒有電場的分布，從而抑制橫向模態(tài)的激發(fā)，提高聲表面波諧振器100的性能。另外，由于第一短路柵條122和第二短路柵條132在加工時，只需調整刻蝕時的掩膜版即可，不需要特別細的柵條，從而降低叉指電極110的制備難度，因此，本申請的聲表面波諧振器100,能夠降低叉指電極110的制備難度，提高聲表面波諧振器100的性能。[0032]可選的，如圖1、圖2和圖7所示，沿第一方向，第一叉指電極121的長度先增大后減小，第二叉指電極131的長度先增大后減小；或者，第一叉指電極121的長度先增大后減小，第二叉指電極131的長度先減小后增大。叉指電極131的長度先增大后減小，使得第一短路柵條122和第二短路柵條132具有與第一方向夾角的方向延伸，這樣，使得聲表面波諧振器100聲波傳播通道與第一方向具有夾角，同時，諧振器的每部分具有不同的孔徑減弱了橫向模的諧振，從而進一步抑制聲波的橫向模式，提高聲表面波諧振器100的性能。[0034]另外，如圖7所示，第一叉指電極121的長度先增大后減小，第二叉指電極131的長度先減小后增大，同樣的，使得聲表面波諧振器100聲波傳播通道與第一方向具有夾角，同時，諧振器的每部分具有不同的孔徑減弱了橫向模的諧振，從而進一步抑制聲波的橫向模式，提高聲表面波諧振器100的性能。[0035]本申請實施例的一種可實現的方式中，如圖1所示，第一短路柵條122呈折線狀，第二短路柵條132呈折線狀。[0036]折線狀使得聲波傳播通道具有拐角，這樣，對橫向模式的聲波抑制效果[0037]其中，折線狀的具體夾角本申請實施例不做限制，示例的，可以是兩個柵條與第一[0039]圓弧狀在制備時較為容易，能夠提高第一短路柵條122和第二短路柵條132的穩(wěn)定[0040]本申請實施例的一種可實現的方式中，第一短路柵條122的圓心角在30-60°之間，第二短路柵條132的圓心角在30-60°之間。8[0041]優(yōu)選的，第一短路柵條122的圓心角在40-60°,第二短路柵條132的圓心角在40-條122沿第二方向平行設置；第二短路柵條132包括多個，多個第二短路柵條132沿第二方向平行設置，第一方向與第二方向垂直。[0043]多個第一短路柵條122和多個第二短路柵條132能夠加強短路效果，從而提高對橫向模式聲波的抑制效果。[0044]多個第一短路柵條122沿第二方向平行設置，使得多個第一短路柵條122的夾角或者圓心角的角度相同；同樣的，多個第二短路柵條132沿第二方向平行設置，使得多個第二短路柵條132的夾角或者圓心角的角度相同。第一短路柵條122和第二短路柵條132均包括多個折線單元151或者圓弧單元152,其中，每個折線單元151包括具有鈍角的兩個柵條，每個圓弧單元152具有連續(xù)性。[0046]多個折線單元151或者多個圓弧單元152能夠對橫向模式聲波進行多次抑制，從而進一步抑制聲波的橫向模式，提高聲表面波諧振器100的性能。[0047]其中，可以對單個的第一短路柵條122和第二短路柵條132進行重復，也可以對具有多個第一短路柵條122和第二短路柵條132的單元進行重復。[0048]可選的，如圖12、圖13和圖14所示，在第一匯流條120和第一短路柵條122之間設置多個與第一匯流條120連接的第一假指123,多個第一假指123與第二叉指電極一一對應且在第二方向上的投影重疊；在第二匯流條130和第二短路柵條132之間設置多個與第二匯流條130連接的第二假指133,多個第二假指133與第一叉指電極121一一對應且在第二方向上的投影重疊。[0049]第一假指123與第一匯流條120連接，使得第一假指123上具有與第一匯流條120相同的電位，進一步加強了在第一短路柵條122和第一匯流之間構成短路區(qū)域的短路效果，從而進一步抑制橫向模態(tài)的激發(fā)，提高聲表面波諧振器100的性能。[0050]同樣的，第二假指133與第二匯流條130連接，使得第二假指133上具有與第二匯流條130相同的電位，進一步加強了在第二短路柵條132和第二匯流之間構成短路區(qū)域的短路效果，從而進一步抑制橫向模態(tài)的激發(fā)，提高聲表面波諧振器100的性能。[0051]本申請實施例的一種可實現的方式中，如圖15所示，在第一短路柵條122與第二叉指電極131之間設置多個與第一短路柵條122連接的第三假指124,多個第三假指124與第二叉指電極一一對應且在第二方向上的投影重疊；在第二短路柵條132與第一叉指電極121之間設置多個與第二短路柵條132連接的第四假指134,多個第四假指134與第一叉指電極121一一對應且在第二方向上的投影重疊。[0052]第三假指124的設置，將短路區(qū)域向外擴展至第一短路柵條122遠離第一匯流條120的一側，通過擴大短路區(qū)域進一步抑制橫向模態(tài)的激發(fā)，提高聲表面波諧振器100的性[0053]同樣的，第四假指134的設置，將短路區(qū)域向外擴展至第二短路柵條132遠離第二匯流條130的一側，通過擴大短路區(qū)域進一步抑制橫向模態(tài)的激發(fā)，提高聲表面波諧振器100的性能。9[0054]為了進一步驗證本申請實施例的聲表面波諧振器100的性能，以現有技術中的叉指電極110形成的聲表面波諧振器100作為比較例，以具有一個折線的短路柵作為實施例，本申請實施例與比較例的導納特性曲線對比圖；圖18為圖17中圓圈處的放大圖；圖19為本申請實施例與比較例的導納實部曲線對比圖；從導納幅值曲線中可以看出比較例在諧振頻率fs和反諧振頻率fa之間存在m1~m4等多階橫向模態(tài)，在圖19所