TCASAS0192021微納米金屬燒結(jié)體電阻率試驗方法四探針法_第1頁
TCASAS0192021微納米金屬燒結(jié)體電阻率試驗方法四探針法_第2頁
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ICS31.030L40/49 T/CASA019—Testmethodforresistivityofmicroandnanometalsinteredcompact:fourprobemethod 第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián) 發(fā)布T/CASA019— 前 引 范 報 T/CASA019— 本文件按照GB/T1.1—20201部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定CASAS所有，未經(jīng)CASAS許可不得隨意復(fù)制；其他機(jī)構(gòu)采用本文件的技術(shù)內(nèi)容制定標(biāo)準(zhǔn)需經(jīng)CASAS戰(zhàn)略聯(lián)盟、BOSCHMANTECHNOLOGY。 1.65×10-6Ω?cm1.75×10-6Ω?cm。對于微納米金屬燒結(jié)技術(shù)制備T/CASA020《微納米金屬燒結(jié)體熱導(dǎo)率試驗方法：閃光法》統(tǒng)一尺寸的樣品，并T/CASA019—微納米金屬燒結(jié)體電阻率測試方法104倍的微納米金屬燒結(jié)體圓形樣品體積燒結(jié)體as-sintered電阻率測試樣品testing樣品直徑sample樣品厚度sample探針探針間距probeT/CASA019—凱爾文電橋kelvin[來源：GB/T351—惠斯登電橋wheatstone[來源：GB/T351—10-2～10-4Ω；對于具有很小1R為待測電阻，Rl為測量線纜的電阻。首先通過一個激勵電流RI1R上的電壓，根據(jù)歐姆定律就可以計算出待測110Ω10Ω直線四探針測試是指將四根排成一條直線且等間距的探針以一定的壓力垂直地壓在被測樣品表面2I42T/CASA019—

圖2ρ=

×F(D/S)×F(W/S)×W× ??——探針（1、4）??——探針（2、3）??——??——??——樣品厚度，單位：mm；F(D/S)——樣品直徑修正因子；F(W/S)——Fsp——)ρ=4.532×

×W× mA0.1%0.05%；（2）2mV–T/CASA019—25~50μm1.750.25N~4.00.25N109Ω1mm0.01mm3所示。其中，模具挖孔件和底座可安310412.7mm1mm0.5％以內(nèi)，不允許有任何表面缺陷（砂眼、劃23±250～705T/CASA019—4倍；%0.06%，則認(rèn)為電流過

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