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文檔簡介
福建無塵室施工方案一、工程概況本無塵室項目位于福建省福州市高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū),總建筑面積1200㎡,潔凈度等級劃分為ISO7級(萬級)核心區(qū)與ISO8級(十萬級)輔助區(qū),主要服務于微電子芯片封裝測試生產線。項目包含潔凈生產區(qū)、更衣緩沖區(qū)、物料傳遞區(qū)、設備機房四大功能模塊,采用“頂送側回”的亂流氣流組織形式,設計溫度22±2℃,相對濕度50±5%,潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)間壓差≥10Pa,相鄰區(qū)域壓差梯度5Pa。二、施工執(zhí)行標準(一)核心規(guī)范依據《潔凈廠房設計規(guī)范》(GB50073-2013)明確潔凈室空氣潔凈度等級、壓差控制、氣流組織等基礎參數規(guī)定建筑材料防霉、防腐、防靜電等性能指標《醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》(GB50457-2019)適用于生物制藥區(qū)域的微生物控制要求規(guī)定HVAC系統(tǒng)的驗證與確認流程《潔凈室施工及驗收規(guī)范》(GB20251-2025)強制要求高效過濾器安裝前需進行PAO掃描檢漏(泄漏率≤0.01%)明確回排風口生物氣溶膠處理的消毒程序(二)地方特殊要求福建省《無塵室管理辦法》(2025修訂版)新增臺風季風壓防護要求,風管抗風壓等級≥1500Pa規(guī)定濕熱環(huán)境下空調系統(tǒng)除濕能力不低于1.2kg/(h·kW)沿海氣候專項措施墻面材料需通過1000小時鹽霧試驗(GB/T10125)電氣設備防護等級不低于IP54三、材料選擇標準(一)圍護結構材料墻面系統(tǒng)主體:50mm厚手工玻鎂巖棉夾芯板(鋼板厚度0.472mm),芯材密度120kg/m3,防火等級A1級特殊區(qū)域:生物安全柜周邊采用304不銹鋼板(厚度1.2mm),焊接后電解拋光處理轉角處理:R50mm鋁合金圓弧收邊,圓弧半徑誤差≤2mm地面系統(tǒng)普通潔凈區(qū):3mm環(huán)氧自流平(抗壓強度≥80MPa,耐磨性≤0.02g/cm2)設備區(qū):2mm厚304不銹鋼板(表面啞光處理,摩擦系數0.6-0.8)防靜電區(qū):PVC導靜電地板(表面電阻10?-10?Ω,接縫熱熔焊接)吊頂系統(tǒng)主龍骨:C型鋼(厚度1.5mm,間距≤1200mm)吊頂板:600×600mm鋁扣板(厚度0.8mm,平整度誤差≤1mm/m)燈具開孔:采用專用密封環(huán),與FFU單元間隙≤0.5mm(二)凈化系統(tǒng)材料空氣處理設備初效過濾器:G4級無紡布濾料(額定風量下阻力≤50Pa)中效過濾器:F8級袋式過濾器(容塵量≥800g/m2)高效過濾器:H14級HEPA(對0.3μm粒子過濾效率≥99.995%)風管材料送風主管:鍍鋅鋼板(厚度1.2mm,咬口連接,內壁粗糙度Ra≤1.6μm)支管:鋁合金圓形風管(直徑≥200mm時采用法蘭連接)密封材料:食品級硅酮密封膠(拉伸強度≥2.5MPa,固化時間24h/25℃)(三)功能配件材料人員凈化設備風淋室:不銹鋼雙人雙吹型(吹淋時間10-99s可調,噴嘴風速≥25m/s)傳遞窗:機械互鎖型(內部尺寸800×800×800mm,紫外線消毒功率30W)門窗系統(tǒng)潔凈門:鋼制密閉門(門框與墻面平齊,密封條壓縮量3-5mm)觀察窗:雙層中空鋼化玻璃(厚度5+9A+5mm,透光率≥85%)四、施工工藝詳解(一)前期準備階段現場凈化處理土建地面打磨:采用無塵研磨機(配備HEPA過濾器),表面平整度誤差≤3mm/2m環(huán)境監(jiān)測:施工前連續(xù)3天監(jiān)測溫濕度(每日記錄4次),確保符合材料施工條件臨時設施:設置專用材料倉庫(溫濕度控制20±5℃,40-60%RH)放線定位基準線:采用激光投線儀,定位誤差≤3mm分區(qū)標識:使用可移除膠帶劃分施工區(qū)域,每日施工前清潔標識線(二)結構施工工藝墻面安裝固定方式:M10膨脹螺栓(間距600mm,埋深≥50mm)板縫處理:填充PU發(fā)泡劑后打膠,膠縫寬度8-10mm,表面平滑過渡垂直度控制:每安裝3塊板使用2m靠尺檢查,偏差≤2mm地面施工基層處理:噴砂除銹(表面粗糙度Sa2.5級),涂刷環(huán)氧底漆(干膜厚度80μm)自流平施工:采用無氣噴涂機(噴涂壓力2-3MPa),消泡輥間距≤600mm養(yǎng)護周期:25℃環(huán)境下養(yǎng)護7天,期間禁止人員走動吊頂安裝吊桿間距:≤1200mm(雙向間距誤差≤10mm)龍骨調平:使用水準儀,整體平整度誤差≤5mm/20m2燈具安裝:先安裝密封框架,再嵌入燈具,縫隙填充防火密封膠(三)凈化系統(tǒng)安裝風管制作下料:數控等離子切割(尺寸誤差≤1mm)咬口形式:聯(lián)合角咬口(咬口寬度12mm,重疊量誤差≤0.5mm)清潔度控制:制作完成后用異丙醇擦拭,兩端封口待安裝HVAC系統(tǒng)安裝風機盤管:吊裝采用彈簧減震器(減震效率≥85%)風閥安裝:與風管法蘭間加3mm厚氯丁橡膠墊,螺栓對角擰緊過濾器安裝:高效過濾器采用液槽密封(密封液高度≥10mm)自控系統(tǒng)安裝傳感器定位:溫濕度傳感器安裝在氣流平穩(wěn)處(遠離送風口3m以上)線纜敷設:穿鍍鋅鋼管(管徑≥線纜直徑1.5倍),橋架接地電阻≤4Ω控制柜安裝:與墻面間距≥600mm,防護等級IP54(四)密封與測試工藝整體密封處理縫隙密封:采用“三涂法”(底涂+中涂+面涂),總厚度≥1.5mm穿墻管處理:不銹鋼套管(與管道間隙填充防火巖棉,外用密封膠封堵)設備基座:環(huán)氧樹脂灌漿(流動度≥300mm,抗壓強度≥60MPa)系統(tǒng)調試風量平衡:采用風口法測量(每個風口風量誤差≤10%)壓差調節(jié):通過風閥微調,穩(wěn)定后鎖定(波動范圍≤±1Pa/24h)溫濕度控制:連續(xù)運行72h,溫度波動≤±0.5℃,濕度波動≤±2%五、質量控制體系(一)過程質量控制材料進場檢驗彩鋼板:每批次抽檢3張,檢查厚度(千分尺測量)、涂層附著力(劃格法)過濾器:每臺高效過濾器需提供出廠檢漏報告,現場隨機抽檢10%密封膠:每桶取樣做拉伸試驗,不合格整批退貨工序檢驗標準隱蔽工程:拍攝影像資料(每50㎡不少于3張),監(jiān)理簽字確認焊接質量:不銹鋼焊縫進行滲透檢測(PT),Ⅰ級合格風速檢測:FFU出口風速(0.3-0.5m/s),均勻性誤差≤15%(二)檢測儀器配置檢測項目儀器型號精度要求校準周期懸浮粒子激光粒子計數器0.1-5.0μm(誤差≤±10%)1年溫濕度精密溫濕度計±0.2℃,±2%RH6個月壓差數字微壓計±1Pa(0-100Pa量程)1年風速熱球式風速儀±0.05m/s6個月照度照度計±5%(0-10000lux)1年(三)質量問題處理常見缺陷處理墻面不平整:局部拆除重裝(單塊板垂直度超差≥3mm時)過濾器泄漏:標記漏點后密封,若泄漏面積>0.1%則整體更換地面起砂:徹底清除后重新施工,養(yǎng)護期延長3天質量追溯機制建立材料二維碼追溯系統(tǒng)(包含廠家、批次、檢驗記錄)施工日志每日記錄(包含天氣、人員、工序、檢驗數據)不合格項閉環(huán)管理(整改率100%,復檢合格方可轉序)六、安全管理措施(一)施工安全防護個人防護裝備基礎防護:安全帽(沖擊吸收性能≤4900N)、防砸安全鞋(鋼頭抗沖擊200J)專業(yè)防護:焊接作業(yè)配備送風式面罩(過濾效率≥95%),有限空間作業(yè)使用四合一氣體檢測儀臨時用電管理配電箱:三級配電兩級保護(漏電動作電流≤30mA,動作時間≤0.1s)線纜:穿管保護(埋地深度≥0.7m),接頭處設防水盒照明:潮濕區(qū)域使用安全電壓(≤36V),燈具間距≤3m(二)消防安全管理消防設施配置滅火器:每50㎡配置2具4kg干粉滅火器(壓力值1.2-1.5MPa)應急照明:連續(xù)照明時間≥90min,照度≥50lux疏散通道:寬度≥1.2m,轉彎處設應急指示標志(間距≤20m)動火作業(yè)管理審批流程:辦理動火許可證(注明作業(yè)時間、地點、監(jiān)護人)現場措施:配備滅火毯(1.5×1.5m)、消防水桶(容量≥20L)氣體管理:氧氣瓶與乙炔瓶間距≥5m,距動火點≥10m(三)特殊作業(yè)控制高空作業(yè)(≥2m)腳手架:搭設后驗收(立桿間距≤1.5m,腳手板滿鋪)安全帶:雙鉤式安全帶(靜負荷測試≥15kN),高掛低用臨邊防護:設置1.2m高防護欄桿,張掛安全網(網目密度≥2000目/100cm2)密閉空間作業(yè)通風要求:強制通風(風量≥3次/h),氧氣含量19.5-23.5%作業(yè)監(jiān)護:外部設專人監(jiān)護,每30min通訊聯(lián)絡一次應急撤離:設置應急出口標識,配備逃生呼吸器(有效使用時間≥30min)七、驗收標準與流程(一)分項驗收內容建筑裝飾驗收表面質量:無劃痕、鼓泡、色差(ΔE≤2)接縫質量:縫隙寬度≤0.5mm,高低差≤1mm門窗性能:氣密性≤0.5m3/(m2·h)(GB/T7106標準)凈化系統(tǒng)驗收潔凈度檢測:ISO7級區(qū)域(≥0.5μm粒子≤352000pc/m3)微生物檢測:浮游菌≤100cfu/m3,沉降菌≤3cfu/皿(φ90mm,0.5h)氣流流型:流線平行度偏差≤15°(煙霧測試法)(二)驗收流程施工單位自檢內容:分項工程檢驗(共12個分項,每個分項合格率≥95%)提交資料:竣工圖、材料合格證、檢測記錄(裝訂成冊)第三方檢測采樣點設置:每50㎡設1個采樣點,最少3個點檢測時間:系統(tǒng)連續(xù)運行48h后進行報告出具:檢測完成后7個工作日內提交正式報告最終驗收組織單位:建設單位、監(jiān)理單位、施工單位三方共同參與驗收結論:分為“合格”“整改后合格”“不合格”三類整改要求:不合格項需在15個工作日內完成整改并復驗八、運維管理方案(一)日常維護計劃過濾器更換周期初效過濾器:1-3個月(壓差達到初始阻力2倍時立即更換)中效過濾器:6-12個月(容塵量達到80%額定值時更換)高效過濾器:2-3年(PAO檢漏不合格時立即更換)設備維護內容空調機組:每月清洗表冷器,每季度檢查皮帶松緊度風淋室:每周清潔噴嘴,每月校準吹淋時間傳遞窗:每日檢查互鎖功能,每季度更換紫外線燈管(二)應急處理預案系統(tǒng)故障處理空調停機:啟動備用機組(切換時間≤15min),維持正壓過濾器泄漏:立即隔離區(qū)域,采用臨時密封措施壓差異常:檢查風閥狀態(tài),必要時開啟備用風機自然災害應對臺風防護:關閉新風閥,加固外窗(抗風壓等級≥1.5kPa)暴雨防護:檢查排水系統(tǒng)(坡度≥2‰),配備抽水泵(揚程≥10m)停電應急:UPS供電(維持關鍵設備運行≥30min)(三)培訓與記錄管理人員培訓上崗培訓:潔凈操作規(guī)范、設備使用、應急處理(考核合格方可上崗)定期復訓:每年組織1次,培訓時長不少于8學時
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