1、合肥京東方半導(dǎo)體有限公司作業(yè)指導(dǎo)書ITO拆裝靶材作業(yè)指導(dǎo)書文件編號(hào)：BOES 3-166版 本：A0編 制審 核批 準(zhǔn)文件修改頁(yè)序號(hào)修改章節(jié)/內(nèi)容新版本實(shí)施日期/新文件A01增加“3.3清理室內(nèi)水塔，4.注意事項(xiàng)”A1本工序在操作設(shè)備時(shí)具有一定的危險(xiǎn)性，操作ITO鍍膜設(shè)備之前，必須熟記本作業(yè)指導(dǎo)書中規(guī)定內(nèi)容并嚴(yán)格執(zhí)行本文件。否則，會(huì)對(duì)人身和設(shè)備造成傷害或損壞！1.安全操作說(shuō)明1.1本崗位操作中存在的重大危險(xiǎn)因素見(jiàn)表1：表1 崗位重大危險(xiǎn)因素序號(hào)重大危險(xiǎn)因素1傳動(dòng)過(guò)程中，身體接觸機(jī)架導(dǎo)致機(jī)械傷害。2靶高壓電極，設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中接觸電極導(dǎo)致觸電危害。3靶有強(qiáng)磁，凡帶有心臟起伏器的人員不能靠近以免造成

2、其它傷害。4靶材及屏蔽罩等搬運(yùn)過(guò)程中脫落砸傷。1.2 本崗位操作中需佩戴的勞動(dòng)防護(hù)用品，見(jiàn)表2：表2 崗位應(yīng)佩戴的勞動(dòng)防護(hù)用品序號(hào)操作環(huán)節(jié)應(yīng)佩戴勞動(dòng)防護(hù)用品1更換靶材，清潔靶材防靜電服、防靜電鞋或電工絕緣鞋、丁腈手套，防護(hù)口罩2設(shè)備運(yùn)行中防靜電服、防靜電鞋或電工絕緣鞋、丁腈手套/絕緣手套、防護(hù)耳塞1.3安全操作注意事項(xiàng)：1.3.1設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中，作業(yè)員不得打開(kāi)回轉(zhuǎn)區(qū)推拉門，身體任何部位不得伸入回轉(zhuǎn)區(qū)內(nèi)，否則可能會(huì)與機(jī)架相撞，造成嚴(yán)重人身傷害和設(shè)備故障。1.3.2設(shè)備正常工作時(shí)，任何人不得接觸工藝區(qū)靶材電極，否則可能造成觸電事故。1.3.3靶陰極具有強(qiáng)磁，凡帶有心臟起伏器的人員不得進(jìn)入ITO設(shè)備

3、間，以免造成傷害。1.3.4設(shè)備運(yùn)行時(shí)會(huì)產(chǎn)生噪音，長(zhǎng)時(shí)間（半小時(shí)以上）在該設(shè)備間的作業(yè)員，必須按要求佩戴防護(hù)耳塞，否則會(huì)使聽(tīng)力受損。1.3.5拆除靶材前，要關(guān)閉鍍膜設(shè)備電源，放掉冷卻水管中多余循環(huán)水后方可拆靶。1.3.6更換新靶材后，必須先要拔除DC電源線的接頭，才能用兆歐表對(duì)靶材進(jìn)行測(cè)量，否則可能會(huì)損壞DC電源。1.3.7清潔靶材時(shí)，必須在除塵風(fēng)機(jī)區(qū)域內(nèi)操作，并佩戴防護(hù)口罩和丁腈手套，防止職業(yè)病危害產(chǎn)生。2. 拆裝靶、腔體清潔作業(yè)步驟 2.1關(guān)機(jī)開(kāi)腔拆靶作業(yè)步驟 2.1.1 按ITO作業(yè)指導(dǎo)書中“關(guān)機(jī)操作步驟”將設(shè)備運(yùn)行至“保壓模式”，待分子泵、羅茨泵、機(jī)械泵完全停止運(yùn)轉(zhuǎn)后將鍍膜機(jī)各腔室門螺

4、絲松開(kāi)，如螺絲較緊可使用專用絲桿旋轉(zhuǎn)螺絲；2.1.2 待各腔室門螺絲全部松開(kāi)、腔體內(nèi)溫度降至120以下時(shí)方可將設(shè)備由“保壓模式”切換至“放氣模式”，進(jìn)出片室破空閥自動(dòng)打開(kāi)向腔體內(nèi)充大氣，待充大氣完成、破空閥自動(dòng)關(guān)閉后觀察電腦“系統(tǒng)總貌圖”中各腔體內(nèi)PSG真空計(jì)顯示是否為“9.984+e004”，如有持續(xù)變化或?yàn)槠渌禃r(shí)通知設(shè)備人員進(jìn)行檢修，否則無(wú)法正常開(kāi)機(jī)；2.1.3 由專人將電氣柜中DC電源插頭拔出、關(guān)閉冷水機(jī)后方可打開(kāi)鍍膜機(jī)腔體門，同時(shí)排出冷卻水塔中的冷卻循環(huán)水，循環(huán)水排完后將各個(gè)閥門關(guān)閉；拔出DC電源插頭2.1.4 確認(rèn)腔體內(nèi)溫度降至100以下后打開(kāi)各腔體門，穿戴好勞保防護(hù)用品準(zhǔn)備腔體清

5、理及拆裝靶材；2.1.5 穿戴好勞保防護(hù)用品后打開(kāi)濺射室門，開(kāi)始拆靶，依次拆下屏蔽罩、壓板；2.1.6 拆下的壓板需使用酒精無(wú)塵布進(jìn)行擦拭清潔，擦拭完成放置于無(wú)塵布上，防止粘附顆粒異物，污染腔體甚至造成短路；2.1.7 拆下屏蔽罩和壓板后，檢查靶材背面循環(huán)冷卻水管內(nèi)有無(wú)水壓，防止壓力過(guò)高造成背板鼓起變形；2.1.8 待檢查確認(rèn)循環(huán)冷卻水無(wú)水壓后方可拆下固定壓條，先拆側(cè)方，然后上、下；此過(guò)程需兩人完成，一人拆壓條，一人扶助靶材防止靶材脫落； 2.1.9 拆下后的靶材放在水平桌面上，底部墊上干凈的泡沫，由專人進(jìn)行打磨，靶材打磨詳見(jiàn)靶材清理打磨作業(yè)指導(dǎo)書 ；2.2 腔體清理及靶材安裝作業(yè)步驟2.2.

6、1拆靶完成后需使用吸塵器對(duì)腔體及背板底部凹槽進(jìn)行清理，對(duì)銅背板使用無(wú)塵布蘸酒精反復(fù)擦拭保證無(wú)殘?jiān)愇铮駝t影響鍍膜真空度及鍍膜效果；檢查銅背板四周縫隙有無(wú)漏水異常現(xiàn)象，如有漏水及時(shí)通知設(shè)備人員進(jìn)行檢修，待異常解決后方可繼續(xù)安裝靶材；2.2.2 腔體及背板清理完成后即可安裝靶材；安裝前需使用吸塵器將待安裝的靶材表面、凹槽清理一遍，再使用無(wú)塵布酒精將靶材及銅背板擦拭干凈；2.2.3 安裝靶材需2人完成，一人托住靶材依靠在陰極背板上，一人扶助腔體門防止門搖晃，同時(shí)在陰極背板底部安放一根扎帶（避免靶材與陰極背板直接接觸），扎帶厚度2mm；2.2.4 將靶材順勢(shì)貼向陰極背板，確認(rèn)靶材銅背板全部嵌進(jìn)陰極背

7、板后裝上上部壓條及底部側(cè)方壓條固定后靶材，然后依次安裝其它固定壓條；在裝靶時(shí)如有靶材背板鼓起較多或靶材無(wú)法嵌進(jìn)陰極背板時(shí)將靶材上下顛倒裝，如若還是無(wú)法安裝檢查背板有無(wú)變形并通知技術(shù)人員確認(rèn)；2.2.5在安裝壓條時(shí)壓條不可與靶材接觸，防止短路，如有個(gè)別壓條變形且有無(wú)法更換時(shí)，可使用小的扎帶間隔，切不可使用螺絲刀及其它材質(zhì)較硬的工具撬動(dòng)，防止損壞靶材；2.2.6側(cè)方及上方壓條安裝并緊固后將底部的扎帶取出，將底部壓條安裝并緊固，安裝后檢查是否有壓條未緊固或螺絲未安裝；2.2.7 使用歐姆表，一端接地，另一端接靶材，手動(dòng)勻速轉(zhuǎn)動(dòng)搖柄，當(dāng)歐姆表指針指向200M時(shí)，則靶材安裝合格，可繼續(xù)下一步安裝，否則立

8、即通知技術(shù)人員和設(shè)備人員進(jìn)行檢查檢修；2.2.8壓條安裝緊固且歐姆表測(cè)試合格后進(jìn)行壓板安裝，使用電動(dòng)工具將螺絲緊固；2.2.9壓板安裝完成后使用歐姆表測(cè)量電阻值，測(cè)量方法同壓條安裝后方法，測(cè)試合格即可進(jìn)行下一步安裝，否則通知技術(shù)和設(shè)備人員進(jìn)行檢查檢修；2.2.10 壓板安裝合格后使用吸塵器將靶材等再清理一遍，然后安裝屏蔽罩，安裝前屏蔽罩需使用吸塵器清理（屏蔽罩每使用3-4次更換進(jìn)行噴砂）；屏蔽罩安裝側(cè)邊使用螺絲緊固，安裝的位置側(cè)面看如圖所示2.2.11 靶材安裝完成后檢查腔體是否干凈并使用吸塵器清潔，用無(wú)塵布蘸酒精將靶材及腔體門四邊密封圈擦拭一遍，檢查有無(wú)遺漏后方可關(guān)上濺射室腔門；2.2.12

9、 腔體清潔 在拆裝靶材前使用拖把（潤(rùn)濕）將鍍膜機(jī)周邊區(qū)域地面濕潤(rùn)，防止在清理腔體后飄起灰塵落在清潔后的腔體內(nèi)；擦拭清理的部位如下：緩沖室加熱絲及背板腔體內(nèi)氣動(dòng)門密封圈腔體門、密封圈腔體底部、傳動(dòng)導(dǎo)輪進(jìn)出片室鏡面反射板背面、緩沖室加熱板背面進(jìn)出片室鏡面反射板 腔體底部、傳動(dòng)導(dǎo)輪、腔體門、密封圈、腔體內(nèi)氣動(dòng)門密封、緩沖室加熱絲及背板及背面、進(jìn)出片室鏡面反射板每次開(kāi)腔拆裝靶時(shí)清理一次；進(jìn)出片室鏡面反射板背面將鏡面反射板拆下后清理，每月清理一次；2.2.13 腔體清潔完成，靶材安裝完成后將各腔體門關(guān)緊；將低溫冷肼冷凝的水排出，打開(kāi)盲法蘭，將水倒出后用無(wú)塵布擦干凈密封圈后擰緊；2.3 靶材拆裝完成，準(zhǔn)備開(kāi)機(jī)2.3.1 靶材安裝完成后，將靶材電源電極按對(duì)應(yīng)標(biāo)識(shí)依次安裝，檢查水、電、氣管路、閥門是否正常，檢查確認(rèn)無(wú)誤后準(zhǔn)備開(kāi)機(jī)；2.3.2 準(zhǔn)備開(kāi)機(jī)步驟詳見(jiàn)ITO作業(yè)指導(dǎo)書中“開(kāi)機(jī)作業(yè)步驟”。3.深層清理3.1 每四個(gè)月將靶材陰極循環(huán)水背板拆開(kāi)清理水垢、沉積臟污，此項(xiàng)需設(shè)備、生產(chǎn)、技術(shù)人員共同參與，任何部門崗位不得單獨(dú)進(jìn)行。3.2 冷水機(jī)循環(huán)水塔（室外）每周清理底部水垢雜物，將水塔內(nèi)循環(huán)水排出將底部沉積灰塵進(jìn)行沖洗；檢查球形閥門等是否開(kāi)關(guān)正常，“常開(kāi)”、“常閉”閥門是否開(kāi)關(guān)正常。3.3冷水機(jī)循環(huán)水塔（室內(nèi)）每隔2個(gè)月清理內(nèi)壁水垢，檢查球形閥門