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激光多普勒干涉儀介紹,美國光動公司(OPTODYNE,INC ),2,美國光動公司 OPTODYNE，INC.,3,美國光動公司總裁王正平教授,4,激光干涉儀測量原理比較,5,邁克遜干涉儀,1860年MICHELSON干涉儀,白光,參考鏡,反射鏡,分光鏡,探測器,產(chǎn)生干涉,測量光束,參考光束,6,單頻激光干涉儀,1960年單頻激光干涉儀,激光,角錐反射鏡,角錐反射鏡,分光鏡,探測器,測量光束,參考光束,產(chǎn)生干涉,7,線偏振光,線偏振光,雙頻激光干涉儀,1970年雙頻激光干涉儀,激光,角錐反射鏡,角錐反射鏡,偏振分光鏡,探測器,測量光束,參考光束,產(chǎn)生干涉,8,激光多普勒干涉儀,1985年LDDM電光調(diào)制、外差式,激光,角錐反射鏡,探測器,光電調(diào)制,9,位移測量安裝比較,10,對光方便,11,MCV-500主要技術(shù)指標(biāo),12,MCV-500選購附件的測量功能,13,直線位移測量,靶標(biāo)反射鏡,MCV-500,反射鏡移動方向,14,非接觸主軸精度測量,MCV-500,主軸,聚光鏡,MCV-500+DI-500,15,陀羅徑向跳動曲線,采樣：2000點/秒,16,低頻振動測量,適用于最高為100Hz的低頻振動測量,17,中頻振動測量,適用于最高為100KHz的中頻振動測量,18,高頻振動測量,適用于極高頻率的振動測量,19,MCV-5000系列激光干涉

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