1、大小孔偏調(diào)整作業(yè)流程一、 機臺水平確認(rèn)：1.1靜態(tài)水平：之要求 0.02mm/m1.2動態(tài)水平：一般裝機用之空跑程序設(shè)定 UP，30mm DN，24mm Up及Dn的設(shè)定相差6mm即可。F(進(jìn)刀速)：9m/minU(退刀速)：25.4m/min1.3依下列順序?qū)⑺铰萁z鎖緊12345678910鎖緊后以千分表量測每點的震動數(shù)據(jù)，建議調(diào)整震動于20um以下。日立標(biāo)準(zhǔn)(10um)二、 Z軸相關(guān)精度點檢2.1 壓力腳之大小軸襯請使用原廠銅軸襯(強烈要求)。2.2 Z軸原點之確認(rèn)針尖到軸襯底端1mm0.1mm(0.91.1mm 相當(dāng)重要)。2.3 SPINDLE高度確認(rèn)。2.4 200之精度要求50u

2、m (最佳狀況態(tài)調(diào)整于30um以內(nèi))2.5 確認(rèn)壓力腳Cylinder確認(rèn)是否耗損。將壓力腳拆下后按PF確認(rèn)左右Cylinder上下動作是否一致，如沒有可調(diào)整Cylinder進(jìn)出air量，如調(diào)整后仍不行則需更換左右Cylinder。2.6 確認(rèn)壓力腳之萬向接頭間隙。一般新品間隙在30um以內(nèi)，一般的要求在200um以內(nèi)(最佳狀況100um以內(nèi))如超出請立即更換。2.7 壓力腳平衡，左右公差50um以內(nèi)。2.7 PV CHECK之確認(rèn)大徑及小徑之相關(guān)要求如下N TYPE 下降量J,Z-45 Mb、Q TYPE 下降量J,Z-5 (確認(rèn)) J,Z-15(測量)軸襯 范圍最小值最大值標(biāo)準(zhǔn)軸襯110(

3、N)150(N)小徑軸襯60(N)90(N)鉆針0.10.15mm 80(N)鉆針0.2mm以上 90(N)標(biāo)準(zhǔn)軸襯請調(diào)整在130(N)左右，大廠(皆加工BGA板)小徑軸襯請調(diào)整在75(N)左右ex景碩、PPT，代加工廠可調(diào)整在85(N)左右。適用式樣參考值容許值單軸機90Hpa 15六軸機100Hpa 15集塵流量就以上參考值調(diào)整就可以Ps.1.請注意在測量時需將未測量軸數(shù)的軸襯用膠帶貼起來(模擬加工時狀態(tài))。 2.QIC大小徑一定要用自動換針的模式切換(不可用手動模式切換)，因為會有壓差的問題。(機臺后方電磁閥不會自動切換，壓力就會無法正確調(diào)整甚至無法調(diào)整)2.8 確認(rèn)軸襯壓痕，請以覆寫紙

4、方式量測。將壓力腳放下，Z軸下降J,Z-60.5mm，看壓出的圖形是否平均受力，大小徑都要作，如壓出圖形有受力不平均時請以砂紙將軸襯修正平整，最佳修正方式將Z軸下降適當(dāng)?shù)膲涸谏凹埳?，在可移動砂紙但仍有阻力的狀況下進(jìn)行修正，之后再測量一遍直到受力平均為止。2.9 Z軸螺桿間隙10um內(nèi)請以千分表架量鞍部，如超出甚多建議更換Z軸螺桿。Ps.請下降Z軸到加工位置測量。三、 OIL UNIT設(shè)定(油冷卻機設(shè)定)1. 配備20萬轉(zhuǎn)SPINDLE(H920A、B)的冷卻機標(biāo)準(zhǔn)需設(shè)為15。之后依加工圖形作溫度修正：例)如整體圖形偏上可將油溫設(shè)定調(diào)升1可將全軸的圖形往下移如圖形偏下可將油溫往上調(diào)降1可將全軸圖

5、形往上移 (偏上圖形) (偏下圖形) (理想修正后圖形)以上溫度之調(diào)整仍需要配合N582、583參數(shù)修正后作配合2.確認(rèn)機臺內(nèi)部設(shè)定值(TIMER)：H516D、H916C、H920A0H920B、UH30AL4000確認(rèn)步驟：H.MARK-30D Utility Sequencer Indicate Timer 四、 軟件版本之需求及提升(N582、583 KEY IN時需在公制mm單位，且不可在加工中進(jìn)行補正)軟件需用于配備H920A、B SPINDLE(20萬轉(zhuǎn))的機臺。 101.MCU SYSTEM需在02.23以上小徑補正N582 S0 (機械側(cè)X軸)、N583 S0 (機械側(cè)Y軸)

6、 N952 加工鉆徑范圍(需在19萬轉(zhuǎn)以上)104.Machine Marco版本在85.03以上大徑暖機功能N882 S67 (大徑加工范圍下限) S68 (大徑加工范圍上限) S69 (轉(zhuǎn)速) H920A轉(zhuǎn)速設(shè)14000(14萬轉(zhuǎn))、H920B轉(zhuǎn)速設(shè)18000(18萬轉(zhuǎn)) S70一般設(shè)定6000(暖機時間) 60秒 N567 S10(大徑加工范圍上限) S11(轉(zhuǎn)速) 軟件版本提升手順：1.押EMG2.依序選擇START MENUPROGRAMSH.MARK-30DSYSTEM GENERATOR3.依原設(shè)定選擇OK后進(jìn)行版本提升4.重開機后確認(rèn)版本PS.若在版本提升過程中有出現(xiàn)ALARM

7、，表示不適用，需將提升資料刪除，(M30D的PC文件夾內(nèi)將數(shù)據(jù)刪除即可)。五、 圖形之判斷及參數(shù)之修正 (小徑分布補正計算)舉例說明： S1 X ave. :6m Y ave. :-1m S2 X ave. :3m Y ave. :-6m S3 X ave. :-5m Y ave. :-6mS4 X ave. :-5m Y ave. :-10mS5 X ave. :-5m Y ave. :-7m S6 X ave. :5m Y ave. :-10m 注：X ave(X軸平均值)、Y ave(Y軸平均值)下圖為日立鉆孔機及MACHVISON量測儀之坐標(biāo)象限示意圖S1S2S3S4S5S6Machv

8、isionx-ave.63-5-5-55y-ave.-1-6-6-10-7-10以上為Machvision量測儀量測試各軸數(shù)據(jù)，如以日立的象限應(yīng)該如下表所示S1S2S3S4S5S6NDx-ave.16610710y-ave.-6-3555-5剛好與Machvisio量測儀XY軸相反將X-ave(平均值)S16數(shù)據(jù)總和 / 6 -1= N582 S0 KEYIN數(shù)據(jù)將Y-ave(平均值)S16數(shù)據(jù)總和 / 6 -1 = N583 S0 KEYIN數(shù)據(jù)就上六圖為例子：X軸 1 + 6 + 6 + 10 + 7 +10 / 6 -1 = 6.66 (四舍五入) N582 S0 補 -7 Y軸 -6

9、-3 +5 +5 +5 -5 / 6 -1 = 0.166 (四舍五入) N583 S0 補 0注：1.如測量板是以反面測量則Y軸參數(shù)N583正負(fù)相反 2. 如測量板是以反面測量則圖形偏下N582 S0補負(fù)(一)值、圖形偏右N583 S0補負(fù)(一)值 如測量板是以反面測量則圖形偏上N582 S0補正(十)值、圖形偏左N583 S0補正(十)值 六、注意事項6.1 XY軸CHECK MASTER需在要求公差內(nèi)4um內(nèi)。校正不良會出現(xiàn)六軸X或Y軸長條狀6.2 XY軸直角度 8um(高精度)10um(一般精度)內(nèi)。偏移太多會出現(xiàn)左側(cè)或右側(cè)軸數(shù)加工后圖形會呈現(xiàn)左上至右下或右上至左下長條狀圖形如下圖6.

10、3 在作版本提升時需將所有加裝的前蓋墊片全數(shù)拆除。6.4 圖形之補正如有單軸偏差明顯大于其它五軸需再次確認(rèn)第二項Z軸點檢，如再次加工測試仍一樣，建議更換SPINDLE進(jìn)行測試。6.5 所有動作完成后，要加工測試前，需讓機臺空跑一個小時以上，且加工時不可有停機過久的狀況因為這些都會影響到機臺溫度變化及測試后結(jié)果。6.6 室內(nèi)之溫度202及冷氣口不可對著機臺直吹。6.7加工測試最好每趟都以同樣板材及加工條件，以免條件材料不同造成誤判。6.8參數(shù)N952 300(0.3mm0.1mm)開啟補正(N582、N583)這個參數(shù)需配合轉(zhuǎn)速達(dá)19萬轉(zhuǎn)以上才會補 正。6.9參數(shù)N848需確認(rèn)是否有開啟，曾發(fā)現(xiàn)

11、客戶未開啟該功能，會有亂偏及加工精度不佳的狀態(tài)。6.10 F4畫面板邊抬高(第二抬高點2nd up)是否開啟如沒有，曾發(fā)現(xiàn)客戶未開啟該功能，會造成大徑殘膠 影響大徑加工精度，因量測是大徑定位所以大徑不準(zhǔn)時，小徑量測是也會跟著位移。6.11 F2畫面(DRILL DATA) DWELL(鉆孔停留時間)所有鉆徑建議設(shè)” 0 “。6.12 SPINDLE TIME使用時間是否過長，如已超過五六千小時建議更換再測試。6.13大鉆徑之研次也會影響TEST結(jié)果，測試時建議使用新針。6.14AOI量測儀之測量精度垂直測量如圖形左右長條狀可轉(zhuǎn)90方向 再測量一遍如圖形一樣為左右長條狀表示該測量儀不穩(wěn)定。6.15如Z1Z6軸有五軸圖形精度皆可達(dá)要求標(biāo)準(zhǔn)，但只有單一軸圖形及精度不佳，請重復(fù)測量，或再 觀察下一趟加工后結(jié)果(有可能測量誤差產(chǎn)生量測偏移)。6.16圖形之判定(100um)需以公制單位(um)才能算出XY六軸平均值才有辦法輸入進(jìn)行參數(shù)補正。6.17測量板之