404040替400、.本規(guī)程經國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局于2005年3月3日批準，并自2005年9月3日起施行。歸口單位:全國幾何量工程參量計量技術委員會起草單位:北京市計量科學研究所本規(guī)程委40桂茹(北京市計量科學研究所)吳迅(北京市計量科學研究所)劉振福(北京市計量科學研究所)40，(1)2引用文獻.(1)3概述4(1)4計量性能要求(1)(1).(2)5通用技術要求，(2)(2)(2)6計量器具控制(2)(2)(2)(2)(4)(4)附錄.(5)附錄n=3一6)分段法計算式(1)的簡化公式，(8)附錄. (9)附錄(13)附錄.一，(21)40續(xù)檢定和使用中檢驗。2引用文獻本規(guī)程引用下列文獻:8610010590941999測量設備校準和產品檢驗中用本規(guī)程時，應注意使用上述引用文獻的現行有效版本。3概述研磨面平尺是一種精密的平面標準器具，其結構形狀如圖1中(a), (b)所示。研磨面平尺主要用于檢定刀口形直尺工作棱邊的直線度?？?a)符合表1的規(guī)定。表1研磨面平尺工作面的表面粗糙度研磨面平尺長度/!30,符合表2的規(guī)定。表2研磨面平尺工作面的平面度研磨面平尺長度L/< L<300300 _< L < 500500 _ (1,m/00橫向/磨面平尺有效工作長度從，磨面平尺兩端點減去的長度，一般取a = 廠標)、產品編號、尺寸規(guī)格及退互二標志。紋、劃痕、碰傷及影響測量準確度的其他缺陷。研磨面平尺應無磁。后續(xù)檢定和使用中檢驗允許有不影響測量的上述缺陷。計，器具控制計量器具控制包括首次檢定、后續(xù)檢定和使用中檢驗。0士5) 1C;'C /平晶與研磨面平尺放置在儀器內的時間，對小于等于33040爭議時用表面粗糙度測量儀測量。平面等傾干涉儀(裝置)中對研磨面平尺平面度進行測量。當被測研磨面平尺的有效長度小于或等于長平晶的長度時，采用等傾千涉法(見附錄A)整段測量。當被測研磨面平尺的有效長度超過長平晶長度(如300，采用等傾干涉法分段測量。表3檢定項目和主要檢定設備J        p 1    3h1主要檢定設備首次檢定后續(xù)檢定  T)f l ! 11' "1l.          一                                  注:表中“十”表示應檢項目;“一”表示可不檢項目。分段測量的步驟:等傾干涉法分段測量時，每段測量長度為180180算各測點對0與180后儀器工作臺退回一半即90接長管，光斑中心對準90動長平晶(此時被測研磨面平尺不許做任何移動)，并使長平晶的零十字刻線處于光斑中心上;且移動工作臺時長平晶上所有十字線都能通過光斑中心，取下接長管，讓十字線與干涉環(huán)中心重合，移動工作臺保證所有十字線都能通過千涉環(huán)中心。經過適當等溫后，進行測量(90一270) 于研磨面平尺長度不足90以將長平晶只移位30如，測量330后再將長平晶移動30據90180,  180，a;_,，按式(1)求出90180270各點對。與300f =2三(。一，)a,+(a,+ .+一廠“a, +(a,+二。,I (1)式中:n段數;用段(，:二3一6)的分段法計算式(1)的簡化公式見附錄，0，一之值將其余各點補插進去。對12015040的(重復偏差之差應不大于1/6平面度要求，否則應重測)，取其平均值為測量值。并根據長平晶各點平面度偏差和自重變形量(見8研磨面平尺各對應點進行修正后，按符合最小條件準則處理后得到測量結果。分段測量研磨面平尺工作面平面度的數據處理示例見附錄可用帶有筍310有爭議時以等傾干涉法測量結果為準。符合本規(guī)程要求的，發(fā)給檢定結果通知書，并注明不合格項目。般不超過1年。                                                  兩塊尺寸差小于0. 別研合在長平晶工作面上兩端。也可用專用的三球支承架(替量塊。使用球支承架時，支承架的3個支承點應盡量與工作臺支承點相重合。置)測量原理示意圖1一觀察孔;2一玻璃分化板;3一半反射鏡;4一光闌;6一光源:7一長平晶;8一支承量塊;91一可稱動工作臺被測研磨面平尺工作面向上，放在儀器工作臺的兩個可調距離支承點上，兩支承點普:處(1,此、將長、。研、其上的量塊(或球形支承架)放在被測研磨面平尺工作面上。被測研磨面平尺工作面與長平晶工作面，由量塊支承(或球形支承架支承)形成一個平行空氣層。它位于平面等傾干涉儀(裝置)光路中的聚焦點附近，并與光軸垂直，此時在平面等傾干涉儀(裝置)目鏡里可觀察到一組等傾干涉環(huán)。這時工作臺從一端移至另一端時，兩端干涉環(huán)級數的變化應不超過一環(huán)。再將測微目鏡取下，裝上接長管，重新套上測微目鏡，調整目鏡(即調整接長管的工作長度)，使目鏡視場內能同時見到照明光斑的像與長平晶上的十字線。調整長平晶上各點的十字刻線與工作臺運動方向平行，且光斑中心與十字刻線重合。將零十字刻線調到光斑中心上，并調整位移手輪上的刻度至零位或需要的位置上，然后取下接長管，裝上測微目鏡，再次檢查干涉環(huán)的變540至兩端的干涉環(huán)變化小于一環(huán)為止。將儀器保溫箱門關上，按要求平衡溫度。用等傾干涉法測量研磨面平尺平面度，實質上是測量研磨面平尺工作面與長平晶工作面間空氣層厚度的變化。設各點空氣層厚度為 H,  ，某一點點和線的偏差F:。     L;a + 中:F:與o, H、H:的距離，的距離，。設。點的空氣層厚度H。二K。十 空氣層厚度中干涉儀級數，A 他各點的空氣層厚度H,=用干涉級數表示對兩端點連線偏差，則F=樸一L 1 L' K=(K，一會(、)(作臺移動時，當移向空氣層厚度變小處，在視場中可以看到干涉環(huán)會一環(huán)一環(huán)向中心收縮以致消失，每消失一個干涉環(huán)，表明長平晶與被測研磨面平尺表面空氣層厚度(亦即長平晶與被測研磨面平尺工作面距離刁、了合;當干涉環(huán)擴張時，每擴張一個干涉環(huán)，則表明其厚度增大了粵)o      2一卜、曰、2為了使得到的結果“+”表示凸，“一”表示凹，規(guī)定每收縮消失一個干涉環(huán)時，表示干涉級數“增大”一級(用“+1”表示);每擴大產生一個新干涉環(huán)時，表示干涉環(huán)級數“減少”一級(用“一1”表示)。通常，干涉環(huán)收縮或擴張不到一個環(huán)的小數部分用下式計算:“干涉環(huán)擴張時，“=一(   (o+6K, =卜1中:D,o儀器標準干涉環(huán)直徑，光波波長，根據空氣層厚度確定的儀器常數，提供，也可以通過實測由式(定: N ;,，與D;相鄰兩6由儀器出廠及周期檢定時(                                               40準確，應取多次測量的平均值。測量次數不得少于10次，每次測量時應改變干涉環(huán)直徑。當測量一組干涉環(huán)直徑時，標準干涉環(huán)直徑可由式(得:一)一1) (K+1)(中:K自中心起的干涉環(huán)環(huán)數;中心起第K=4時 ;一+(D;一             10(K=5時D2(。;一刀:)+(刀卜刀:)              10(量時，將被測研磨面平尺工作面分為7個測點逐點檢定，移動工作臺觀察并記取每段干涉環(huán)的變化量定每段不到一個環(huán)的小數部分并計算出按式(行計算，求得被測研磨面平尺工作面各測點對兩端點連線的偏差F:F=IK(、。一、)卜合。、。(、。一、。)合(中:。點到.從。到K,K,從。點到&從。點到根據長平晶各點平面度偏差和自重變形量(見8晶檢定規(guī)程附錄F)對被測研磨面平尺各對應點的偏差進行修正。當對兩端點連線偏差符號相同時，取其最大偏差做為研磨面平尺工作面的平面度;若出現符號相反時，按符合最小條件準則處理得到被測研磨面平尺工作面的平面度。40段法計算式(1)的簡化公式  4a,+24    3幾二4A  6a,+48        4兒2a,+4        4_ 8a, + 6 4 212a,一54a,+824:五  10a,+8a,+6a,+4a,+2a,一6幾兒人8a,+16 a,+12 a,+8a,+41282a,一64a,+826a,2a,+4a4+                                              40用210量時分0至18090120次測量180 得21個讀數，并按下述方法進行數據處理，參見表C. 180考慮長平晶平面度偏差，計算該1800至270) 考慮長平晶平面度偏差，計算該18020至300) 考慮長平晶平面度偏差，計算該180至270) 90180180式(1)或附錄得90242、(2x(4x(根據幾及五，的值將其余各點補插進去，從而求得被測研磨面平尺0至270270于五20及無5。各有兩個測得值，分別計算相應測得值之差，當其不超過3001/6時(超過時應重測)，取其平均值作為測得值。即關20二f,5.=(=(=N m)300300120延長至300到300點偏差與在0至270到300可求得0至300符合最小條件準則處理得到測量結果(干涉環(huán)直徑一干涉帶級數天C，二凡一K。乙二，20一0，06+2458050一0，;二平晶平面度偏差21,二被測研磨面平尺兩點連線偏差F，+L h0000一一00+2954    ,09+98I  06+    66+069一0000+40660!0"!0“氣令一、寸.，叫O  x  尸.叫0十二1P $攫丫0履琴F$刁 N   E  rx     :   'IL  (V  ':4，甘)撰櫻六呂0+嗜T 0!0，酬舊心  司口0呈 七尸、口(尸叫】N，隆心J;，洲2口 叫+乏認本規(guī)程提出的測量原理、測量方法、測量程序和測量條件的合格性。22目標不確定度根據094量儀器特性評價定研磨面平尺工作面平面度的不確定度仇、與其最大允許誤差的絕對值小于或等于1:3,我們按保守估計取k=3，即U,、奮相應目標不確定度U,= U，見表D. 覽表研磨面平尺規(guī)格L/法、一已知平面(參考平面)比較法測量。等傾干涉儀中用210到的測量值修正長平晶工作面平面度后，按最小條件計算得到研磨面平尺工作面的平面度。平面等傾干涉儀(裝置)測量研磨面平尺平面度;等傾干涉儀做比較儀使用。兩個研磨面平尺放置在檢定室內的溫度平衡時間不少于10h;長平晶與研磨面平尺放置在儀器內的溫度平衡時間:對于200面等傾干涉儀(裝置)經檢定應符合61面等傾干涉儀國家計量檢定規(guī)程的要求;8晶國家計量檢定規(guī)程的要求;8晶國家計量檢定規(guī)程的要求，且具有修正自重變形影響后平面度數據的檢定證書;經檢定兩塊1檢定室溫度:(2015)0C,C/24h;C ;測溫儀的分辨力:長平晶的制造材料是K,光學玻璃，研磨面平尺是鋼制的;操作人員是經過培訓的，并且十分熟悉平面等傾干涉儀(裝置)的使用。向定位系統(tǒng)的誤差引起。對測量結果影響較小，可忽略2u 面等傾干涉儀檢定規(guī)程規(guī)定，等傾干涉儀的標準干涉環(huán)直徑的測量不確定度U,視面等傾干涉儀檢定規(guī)程規(guī)定，在全量程范圍內，測微目鏡的示值最大允許誤差為t 涉環(huán)小數級數測量重復性檢定合格的等傾干涉儀的干涉環(huán)小數級數測量重復性撓度變形主要考慮研磨面平尺、標準長平晶因自重引起的撓度變形6“慫溫度變化主要考慮溫度變化對長平晶與研磨面平尺的影響7u 確定度分量的說明及計算                                                40)  u,.測量點定位誤差向定位系統(tǒng)的誤差引起，由測量點縱向定位誤差和橫向定位誤差組成。由于標準干涉環(huán)直徑和被測干涉環(huán)直徑是比較測量，測量目標是研磨面平尺工作面的平面度，且其數值很小。因此對檢定合格的等傾干涉儀而言，測量點定位誤差對測得值的影響很小，可以忽略不計。0(2)  標準干涉環(huán)直徑61面等傾干涉儀檢定規(guī)程規(guī)定，在10個不同千涉級數的情況下進行10次標準干涉環(huán)直徑D。的測量，其平均值D。的不確定度(3s)影響量的極限值a* =對被測量影響的極限值據干涉環(huán)小數級數的計算公式:長=(D; x a"，正、負號表示干涉環(huán)收縮方向與極限值大小無關，取其絕對值。2在次一/a=a 2,/石.) aA /2有則實際測量時，取K; .: 1, D。A = 1鈉光波長以下同不再說明)，a' =a=(2 x x () 守估計為矩形分布，取分布因子b = 準干涉環(huán)直徑的不確定度分量U x 3)“，測微目鏡的誤差m;，主要由測微目鏡示值誤差的不確定度分量“。微目鏡的回程誤差在考慮千涉環(huán)小數級數測量重復性時，已將其影響計算進去，為避免重復計算，故在此不予考慮， 評定61面等傾干涉儀檢定規(guī)程，限值a = 據干涉環(huán)小數級數的計算公式:(D;40D,2,鄺K,2.,厄K;a則。二d,K;A/2=(2,厄K;a“l(fā)/2取o=A=a“=a=(x x () 分布因子b =測微目鏡示值誤差的不確定度分量a m,um=x )  u,干涉環(huán)小數級數測量重復性61面等傾干涉儀國家計量檢定規(guī)程規(guī)定，10次重復測量得到干涉環(huán)小數級測量的重復性，其值(3s)a實際測量中，取3次讀數的平均值作為測得值，則其對被測量影響的極限值a幣)1/2=()x =計為正態(tài)分布，取分布因子b = u,=x 5)  u.,撓度變形測量結果產生影響。測量方法中規(guī)定研磨面平尺在測量時，兩支承點置于被測研磨面平尺(2/9)  為此時產生的撓度變形最小，未對其予以修正。根據有關資料常見結構的研磨面平尺其最大自重變形量及其不確定度分量u,=中研磨面平尺的最大自重變形量大自重變形量和不確定度分量“，研磨面平尺:規(guī)格/./    量塊置于長平晶的兩端點處，其自重引起的撓度變形對測量結果會產生影響，但長平晶自重對其平面度的影響在長平晶的檢定證書已予以修正，因此此項不確定度分量主要考1640晶國家計量檢定規(guī)程，長平晶自重變形量測量的擴展不確定度U (k=3)和不確定度分量“m (k=3)不確定度分量a,/I'。一了 a2 0030n6=,/038 (,/6)  u,溫度變化20的偏離和溫度變化。在滿足規(guī)程所規(guī)定的條件下，溫度偏離20對測量結果的影響很小可忽略不計。溫度變化對測量結果的影響較大。當環(huán)境溫度符合本規(guī)程所規(guī)定的溫度條件時，在平面等傾干涉儀保溫箱內，等溫1 ,溫度變化對測量影響的極限值為:對L = 200=11.5 x 10C，平尺寬度l, = 36度差T=，a,=OT a, l,=C b = u,=a, b=x m)對L