1、第4章 壓電式傳感器4.1 壓電傳感器工作原理4.2 壓電傳感器測(cè)量電路4.3 壓電傳感器的應(yīng)用下一頁(yè)返 回 壓電式傳感器是一種典型的有源傳感器; 壓電效應(yīng)具有可逆性，也是一種典型的”雙向傳感器”。 它以某些電介質(zhì)的壓電效應(yīng)為基礎(chǔ)，在外力作用下，電介質(zhì)表面產(chǎn)生電荷，從而實(shí)現(xiàn)外力與電荷量間的轉(zhuǎn)換，達(dá)到非電量的電如目的。特點(diǎn): 工作頻帶寬，靈敏度高，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，體積小，重量輕，工作可靠。應(yīng)用范圍： 各種動(dòng)態(tài)力、機(jī)械沖擊、振動(dòng)測(cè)量、生物醫(yī)學(xué)、超聲、通信、宇航等領(lǐng)域。上一頁(yè)下一頁(yè)返 回4.1 壓電式傳感器的工作原理某些電介質(zhì)在沿一定方向上受到外力的作用而變形時(shí)，其內(nèi)部會(huì)產(chǎn)生極化現(xiàn)象，同時(shí)在它的兩個(gè)相對(duì)表

2、面上出現(xiàn)正負(fù)相反的電荷。當(dāng)外力去掉后，它又會(huì)恢復(fù)到不帶電的狀態(tài)，這種現(xiàn)象稱為正壓電效應(yīng)。當(dāng)作用力的方向改變時(shí)，電荷的極性也隨之改變。相反，當(dāng)在電介質(zhì)的極化方向上施加電場(chǎng)，這些電介質(zhì)也會(huì)發(fā)生變形，電場(chǎng)去掉后，電介質(zhì)的變形隨之消失，這種現(xiàn)象稱為逆壓電效應(yīng)，或稱為電致伸縮現(xiàn)象。上一頁(yè)下一頁(yè)返 回什么是壓電效應(yīng) 常見的壓電材料有石英、鈦酸鋇、鋯鈦酸鉛等。4.1.1 石英晶體的壓電效應(yīng)X軸：電軸或1軸；Y軸：機(jī)械軸或2軸；Z軸：光軸或3軸。 “縱向壓電效應(yīng)”：沿電軸（X軸）方向的力作用下產(chǎn)生電荷“橫向壓電效應(yīng)”：沿機(jī)械軸（Y軸）方向的力作用下產(chǎn)生電荷在光軸（Z軸）方向時(shí)則不產(chǎn)生壓電效應(yīng)。上一頁(yè)下一頁(yè)返

3、回晶體切片 當(dāng)沿電軸方向加作用力Fx時(shí)，則在與電軸垂直的平面上產(chǎn)生電荷 dxx壓電系數(shù)（C/N） 作用力是沿著機(jī)械軸方向電荷仍在與X軸垂直的平面上一頁(yè)下一頁(yè)返 回此時(shí)，石英晶體晶格的對(duì)稱性 晶體受到x方向的壓力Fx作用，晶片將產(chǎn)生厚度變形，并發(fā)生極化現(xiàn)象。 在晶體的線性彈性范圍內(nèi)，在x方向所產(chǎn)生的電荷qx與作用力Fx成正比，即qx=dxx Fx dxx-壓電系數(shù)，腳標(biāo)中第一個(gè)x表示電荷平面的法線方向，第二個(gè)x表示作用力的方向。當(dāng)受力方向和變形不同時(shí)，壓電系數(shù)也不同，石英晶體的dxx=2.3110-12C/N qx-垂直于X軸平面上的電荷 Fx-沿X軸方向施加的作用力。 電荷qx的符號(hào)表示受壓力

4、還是受拉力； 切片上產(chǎn)生的電荷多少與切片的尺寸無(wú)關(guān)，即qx與Fx成正比上一頁(yè)下一頁(yè)返 回 若在同一切片上,沿機(jī)械軸y方向施加作用力Fy,則仍在與x軸垂直的平面上產(chǎn)生電荷qy,其大小為qy=dxy(L/h)Fy qy-垂直于x軸平面上的電荷 Fy-沿y軸方向施加的作用力 L、h-晶體切片的長(zhǎng)度、厚度 dxy橫向壓電系數(shù)，腳標(biāo)中第1個(gè)x表示電荷平面的法線方向，第2 個(gè)腳標(biāo)y表示作用力的方向，其大小為dxy一dxx，它體現(xiàn)了石 英晶體晶格的對(duì)稱性。 沿機(jī)械軸方向作用力在晶體產(chǎn)生的電荷與晶體切片的尺寸有關(guān) 沿y軸作用力所產(chǎn)生的電荷極性與沿x軸作用力所產(chǎn)生的電荷極性是相反的上一頁(yè)下一頁(yè)返 回 當(dāng)石英晶體

5、沿z軸方向作用力時(shí)，由于晶體沿x軸方向和y軸方向產(chǎn)生同樣的變形，因此沿z軸方向施加作用力時(shí)，石英晶體不會(huì)產(chǎn)生壓電效應(yīng)，即dxz=0上一頁(yè)下一頁(yè)返 回石英晶體的壓電效應(yīng) 石英晶體的特性與其內(nèi)部分子結(jié)構(gòu)有關(guān)。一個(gè)單元組體中構(gòu)成石英晶體的硅離子和氧離子，在垂直于z軸的xy平面上的投影，等效為一個(gè)正六邊形排列。上一頁(yè)下一頁(yè)返 回未受外力作用時(shí)：正、負(fù)離子正好分布在正六邊形的頂角上，形成三個(gè)互成120夾角的電偶極矩P1、P2、P3，如圖（a）。 由于P=ql，q為電荷量，l為正負(fù)電荷之間的距離。此時(shí)：P1+P2+P3=0：所以晶體表面不產(chǎn)生電荷，即呈中性。當(dāng)石英晶體受x軸向壓力Fx作用：如圖 (b) ，

6、P1減小，P2、P3增大 (P1十P2十P3)x0：垂直于x軸正向的晶體表面上出現(xiàn)正電荷，其相對(duì)面上出現(xiàn)等量負(fù)電荷。(P1十P2十P3)y0、(Pl十P2十P3）z0：垂直于y軸和 z軸的晶體表面上不出現(xiàn)電荷。 當(dāng)石英晶體受y軸向壓力F y作用：如圖(c) ，P1增大，P2、P3減小 (P1十P2十P3)x0：垂直于x軸正向 的晶體表面上出現(xiàn)負(fù)電荷，其相對(duì)面上出現(xiàn)等量正電荷。(P1十P2十P3)y0、(Pl十P2十P3）z0：垂直于y軸和 z軸的晶體表面上不出現(xiàn)電荷。當(dāng)石英晶體受z軸向力作用：因z軸向力與片內(nèi)離子平面xy垂直，故不會(huì)引起離子在xy平面上位移， P1+P2+P3=0 ，晶體表面不

7、會(huì)出現(xiàn)電荷。 上一頁(yè)下一頁(yè)返 回4.1.2 壓電陶瓷的壓電效應(yīng)人工制造的多晶體，壓電機(jī)理與壓電晶體不同。 上一頁(yè)下一頁(yè)返 回 具有類似于鐵磁材料磁疇結(jié)構(gòu)的電疇結(jié)構(gòu)，在末極化之前各電疇的極化方向在晶體內(nèi)雜亂分布，如圖 (a)所示，極化強(qiáng)度相互抵消為0，對(duì)外呈中性，不具備壓電效應(yīng)。 為了使壓電陶瓷具有壓電效應(yīng)，必須對(duì)壓電陶瓷進(jìn)行極化處理，即對(duì)其施加一定電壓的直流電場(chǎng)，使晶體內(nèi)各電疇的極化方向發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)，經(jīng)23小時(shí)后，各電疇極化方向趨于外電場(chǎng)方向，從而實(shí)現(xiàn)極化處理。極化處理后，當(dāng)外電場(chǎng)去掉時(shí)，晶體內(nèi)還存在著很強(qiáng)的剩余極化強(qiáng)度，晶體表面不出現(xiàn)電荷，仍保持電中性 狀態(tài)，但此時(shí)已具有足夠強(qiáng)的壓電效應(yīng)特性。

8、陶瓷片壓電效應(yīng) 經(jīng)極化處理后的壓電陶瓷，當(dāng)受到外來(lái)與極化方向相同的均勻分布力作用 時(shí)，在晶體兩個(gè)鍍銀的極化面(與極化方向垂直的面)上出現(xiàn)大小相等、極性相反 的電荷，即產(chǎn)生壓電效應(yīng)?？v向壓電效應(yīng)：在z軸方向(極化方向)作用力Fz下所產(chǎn)生的壓電效應(yīng)。 當(dāng)作用力Fz方向改變時(shí)，壓電效應(yīng)所產(chǎn)生的電荷極性也跟著改變，電荷量大小qzzdzzFz dzz縱向壓電系數(shù)，腳標(biāo)中第1個(gè)z表示電荷平面的法線方向(極化 方向)，第2個(gè)腳標(biāo)z表示作用力的方向。 橫向壓電效應(yīng)：在垂直于z軸方向作用力Fx或Fy下所產(chǎn)生的壓電效應(yīng)。 由于z軸(極化方向）是壓電陶瓷晶體的對(duì)稱軸， 垂直于z軸的x軸和y袖是互易的，即沿x軸和y軸

9、方向作用力所引起的橫向壓電效應(yīng)是相同的。 電荷極性決定于作用力的方向，其 電荷量大小由下式確定：dzxdzy橫向壓電系數(shù)，腳標(biāo)中第1個(gè)z表示電荷平面(極化面)的法 線方向(極化方向)，第2個(gè)腳標(biāo)x或y表示作用力的方向。S1被極化的面積，S2受均勻分布力的面積。 上一頁(yè)下一頁(yè)返 回4.2 壓電傳感器測(cè)量電路4.2.1 壓電元件及其等效電路4.2.2 電壓輸出型測(cè)量電路4.2.3 電荷輸出型測(cè)量電路上一頁(yè)下一頁(yè)返 回4.2.1 壓電元件及其等效電路上一頁(yè)下一頁(yè)返 回 以壓電效應(yīng)為基礎(chǔ)的壓電傳感器是一種具有高內(nèi)阻而輸出信號(hào)又很弱的有源傳感器。在進(jìn)行非電量測(cè)量時(shí)，為了提高靈敏度和測(cè)量精度，一般采取多片

10、壓電材料組成一個(gè)壓電敏感元件，并接入高輸入阻抗的前置放大器。1 串聯(lián)輸出型壓電元件結(jié)論：串聯(lián)輸出型壓電元件的輸出電壓等于各片電壓之和，可等效為電壓輸出型的電壓源。適宜用于以電壓作輸出信號(hào)，且測(cè)量電路輸入阻抗很高的地方。上一頁(yè)下一頁(yè)返 回2 并聯(lián)輸出型壓電元件結(jié)論：并聯(lián)輸出型壓電元件的輸出電荷等于各片電荷之和，可等效為電荷輸出型的電荷源。適宜用在測(cè)量慢變信號(hào)并且以電荷作為輸出量的地方。上一頁(yè)下一頁(yè)返 回壓電式傳感器的信號(hào)調(diào)節(jié)電路壓電式傳感器要求負(fù)載電阻RL必須有很大的數(shù)值，才能使測(cè)量誤差小到一定數(shù)值以內(nèi)。因此常先接入一個(gè)高輸入阻抗的前置放大器，然后再接一般的放大電路及其它電路。測(cè)量電路關(guān)鍵在高阻

11、抗的前置放大器。 前置放大器兩個(gè)作用:把壓電式傳感器的微弱信號(hào)放大；把傳感器的高阻抗輸出變換為低阻抗輸出。上一頁(yè)下一頁(yè)返 回4.2.2 電壓輸出型測(cè)量電路上一頁(yè)下一頁(yè)返 回 串聯(lián)輸出型壓電元件可以等效為電壓源，但由于壓電效應(yīng)引起的電容量很小，因而其電壓源等效內(nèi)阻很大，在接成電壓輸出型測(cè)量電路時(shí)，要求前置放大器不僅有足夠的放大倍數(shù)，而且應(yīng)具有很高的輸入阻抗。電壓輸出型測(cè)量電路原理圖（1）電壓放大器Ca：傳感器的電容 Ra：傳感器的漏電阻 Cc：連接電纜的等效電容Ri：放大器的輸入電阻Ci：放大器的輸入電容上一頁(yè)下一頁(yè)返 回等效電阻: 壓電元件的力 F=Fmsint壓電元件的壓電系數(shù)為d，產(chǎn)生的電

12、荷為Q = dF。其幅值: 上一頁(yè)下一頁(yè)返 回等效電容: 放大器的輸入電壓: 當(dāng)R(C+Ca)1時(shí),上式簡(jiǎn)化為: 上一頁(yè)下一頁(yè)返 回結(jié)論:1. 放大器的輸入U(xiǎn)im與作用力F的頻率無(wú)關(guān)，因此具有較好的高頻響應(yīng)特性；2. 當(dāng)作用力是靜態(tài)力（=0） 時(shí)，前置放大器的輸入電壓為零。原理上決定了壓電式傳感器不能測(cè)量靜態(tài)物理量。3. 改變壓電傳感器的引線電纜長(zhǎng)度時(shí)，其電纜電容Cc的變化將引起放大器輸入信號(hào)Uim的變化。因此在測(cè)量中通常電纜長(zhǎng)度需固定（Cc為常數(shù)），否則會(huì)產(chǎn)生測(cè)量誤差。4. 電壓靈敏度Ku 即靈敏度與電路電容大小成反比關(guān)系，所以一般要求放大器的內(nèi)阻Ri增大（電容C降低），則滿足R(C+Ca)

13、1的條件，并且傳感器有較好的低頻響應(yīng)，從而提高了靈敏度傳感器的低頻響應(yīng)范圍 如果被測(cè)物理量是緩慢變化的動(dòng)態(tài)量，而測(cè)量回路的時(shí)間常數(shù)又不大，則造成傳感器靈敏度下降。因此為了擴(kuò)大傳感器的低頻響應(yīng)范圍，就必須盡量提高回路的時(shí)間常數(shù)。但這不能靠增加測(cè)量回路的電容量來(lái)提高時(shí)間常數(shù)，因?yàn)閭鞲衅鞯碾妷红`敏度與電容成反比的，切實(shí)可行的辦法是提高測(cè)量回路的電阻。由于傳感器本身的絕緣電阻一般都很大，所以測(cè)量回路的電阻主要取決于前置放大器的輸入電阻。放大器的輸入電阻越大，測(cè)量回路的時(shí)間常數(shù)就越大，傳感器的低頻響應(yīng)也就越好。上一頁(yè)下一頁(yè)返 回電壓放大器應(yīng)用限制壓電式傳感器在與電壓放大器配合使用時(shí)，連接電纜不能太長(zhǎng)。電

14、纜長(zhǎng)，電纜電容Cc就大，電纜電容增大必然使傳感器的電壓靈敏度降低。電壓放大器與電荷放大器相比，電路簡(jiǎn)單，元件少，價(jià)格便宜，工作可靠，但是電纜長(zhǎng)度對(duì)傳感器測(cè)量精度的影響較大，在一定程度上限制了壓電式傳感器在某些場(chǎng)合的應(yīng)用。上一頁(yè)下一頁(yè)返 回解決電纜問(wèn)題的辦法將放大器裝入傳感器中，組成一體化傳感器。上一頁(yè)下一頁(yè)返 回壓電式加速度傳感器 壓電式加速度傳感器的壓電元件是二片并聯(lián)連接的石英晶片，放大器是一個(gè)超小型靜電放大器。這樣引線非常短，引線電容幾乎等于零就避免了長(zhǎng)電纜對(duì)傳感器靈敏度的影響。放大器的輸入端可以得到較大的電壓信號(hào)，這樣彌補(bǔ)了石英晶體靈敏度低的缺陷。 4.2.3 電荷輸出型測(cè)量電路上一頁(yè)下

15、一頁(yè)返 回 并聯(lián)輸出型壓電元件可以等效為電荷源。由于壓電效應(yīng)產(chǎn)生的電荷量很小，達(dá)到級(jí)電流。因此在接成電荷輸出型測(cè)量電路時(shí)，也要求前置放大器不僅有足夠的放大倍數(shù)，而且還需要有極高的輸入阻抗。電荷輸出型測(cè)量電路原理圖放大器Uo輸出分析 其中：Qi放大器輸入電荷 Q 傳感器的電荷（q） Qf放大器反饋電荷當(dāng)上一頁(yè)下一頁(yè)返 回忽略Ra、Ri、RF的分流作用，則輸入電荷： 由此可得: 時(shí)，即A1：上一頁(yè)下一頁(yè)返 回結(jié)論:1. 放大器的輸出Uo正比于信號(hào)Q，線性轉(zhuǎn)換；2. 靈敏度 其大小取決于反饋電容CF的大??；3. 與電壓放大器不同，電纜電容Cc與放大器輸入電容Ci不會(huì)對(duì)輸出Uo產(chǎn)生影響，故電纜引線長(zhǎng)度

16、變化不會(huì)帶來(lái)測(cè)量誤差。壓電式傳感器另一種專用的前置放大器。能將高內(nèi)阻的電荷源轉(zhuǎn)換為低內(nèi)阻的電壓源，而且輸出電壓正比于輸入電荷，因此，電荷放大器同樣也起著阻抗變換的作用，其輸入阻抗高達(dá)10101012，輸出阻抗小于100。使用電荷放大器突出的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)：在一定條件下，傳感器的靈敏度與電纜長(zhǎng)度無(wú)關(guān)。上一頁(yè)下一頁(yè)返 回4.3 壓電傳感器的應(yīng)用上一頁(yè)下一頁(yè)返 回4.3.1 壓電式力傳感器4.3.2 壓電式壓力傳感器4.3.3 壓電式加速度傳感器4.3.4 壓電傳感器的應(yīng)用實(shí)例測(cè)試原理上一頁(yè)下一頁(yè)返 回 壓電傳感器的物理基礎(chǔ)是壓電效應(yīng)，壓電敏感元件感受力的作用而產(chǎn)生電壓或電荷輸出，即根據(jù)輸出電壓或電荷的大

17、小和極性，就可確定作用力的大小和方向。由此可見，壓電傳感器可以直接用于測(cè)力，或測(cè)與力相關(guān)的壓力、位移、振動(dòng)加速度等。 上一頁(yè)下一頁(yè)返 回上一頁(yè)下一頁(yè)返 回上一頁(yè)下一頁(yè)返 回上一頁(yè)下一頁(yè)返 回上一頁(yè)下一頁(yè)返 回4.3.1 壓電式力傳感器 壓電式測(cè)力傳感器是利用壓電元件直接實(shí)現(xiàn)力 電轉(zhuǎn)換的傳感器。變形方式：利用縱向壓電效應(yīng)的TE方式（厚度變形）最 簡(jiǎn)便。材料選擇：決定于所測(cè)力的量值大小，對(duì)測(cè)量誤差提出的要求、工作環(huán)境溫度等各種因素。晶片數(shù)目：在拉、壓場(chǎng)合,通常采用雙片或多片石英晶體作壓電元件，可以使傳感器的電荷輸出靈敏度增大一倍。上一頁(yè)下一頁(yè)返 回單向壓電式測(cè)力傳感器 壓電式單向測(cè)力傳感器上一頁(yè)下

18、一頁(yè)返 回 壓電元件為兩片縱向壓電效應(yīng)的石英晶體切片， 實(shí)現(xiàn)力與電的轉(zhuǎn)換; 上蓋為傳力元件，受力后產(chǎn)生彈性變形，將作用力傳遞到壓電元件上 聚四氟乙烯絕緣套用來(lái)絕緣和定位，基座作為支承及外殼，其內(nèi)外表面與晶片、電極、上蓋內(nèi)表面的平行度和表面光潔度都有極嚴(yán)格的要求。優(yōu)點(diǎn)：體積小、質(zhì)量輕(約10g)，固有頻率高(約50一60kH z)，最大可測(cè)動(dòng)態(tài)力105N，最小分辨率可達(dá)1g以下。 4.3.2 壓電式壓力傳感器 膜片式壓電壓力傳感器 上一頁(yè)返 回 壓電元件為兩片縱向電效應(yīng)石英品片，具有良好的線件度和長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性； 作用到受壓膜片上的壓力，通過(guò)傳力塊作用到壓電元件上， 使晶片產(chǎn)生厚度變形； 傳力塊和

19、電極片一般采用不銹鋼制作，以確保壓力能均勻、快速、無(wú)損耗地傳遞到壓電元件上； 外殼和機(jī)座應(yīng)有足夠機(jī)械剛度，機(jī)座和傳力塊與晶片的接觸面要有良好的平行度和光潔度。優(yōu)點(diǎn)：有較高靈敏度和分辨率，測(cè)壓范圍寬。 4.3.3 壓電式加速度傳感器上一頁(yè)下一頁(yè)返 回 壓電式加速度傳感器是最常用的一種加速度計(jì)，在各種測(cè)振傳感器中，壓電式加速度傳感器約占80。主要優(yōu)點(diǎn)： 固有頻率高 高頻(幾十千赫)和低頻 (0.3Hz)性能都好 體積小、質(zhì)量輕、便于集成上一頁(yè)下一頁(yè)返 回1 工作原理按結(jié)構(gòu)分： 基于縱向壓電效應(yīng)的壓縮型 基于減切效應(yīng)的減切型 組合結(jié)構(gòu)的復(fù)合型上一頁(yè)下一頁(yè)返 回結(jié)構(gòu)說(shuō)明壓電元件：一般由兩片壓電晶體或壓

20、電陶瓷織成； 質(zhì)量塊：放置在壓電元件上，接觸面須平整 光沽；鎖定彈簧(或螺帽)：應(yīng)有足夠的剛度，用以對(duì)質(zhì)量塊施加預(yù)壓縮載荷；加厚基座和金屬外殼：用以避免壓電元件受其它應(yīng)力影響而產(chǎn)生假信號(hào)輸出。 壓電元件的極化表面鍍銀，引出線焊接在鍍銀層上，或通過(guò)電極金屬片引出；另一根引出線可直接與金屬基座相連。 壓縮型結(jié)構(gòu)原理圖上一頁(yè)下一頁(yè)返 回測(cè)量原理 振動(dòng)測(cè)量時(shí)，由于傳感器基座與被測(cè)振體剛性固定在一起，傳感器直接感受振體的振動(dòng)。由于傳感器內(nèi)鎖定彈簧剛度相當(dāng)大，而質(zhì)量塊的質(zhì)量相對(duì)較小，可以認(rèn)為質(zhì)量塊本身的慣性很??；因此，質(zhì)量塊感受與傳感器基座相同的振動(dòng)，并受到與加速度方向相反的慣性力的作用。 壓電元件隨振動(dòng)

21、上移時(shí)：質(zhì)量塊產(chǎn)生的慣性力使壓電元件上的壓力增加； 壓電元件隨振動(dòng)下移時(shí)：質(zhì)量塊產(chǎn)生的慣性力使壓電元件上的壓力減小。結(jié)論：質(zhì)量塊對(duì)壓電元件的慣性力， 相當(dāng)于一個(gè)正比于振動(dòng)加速度的交變力作用在壓電元件上，使壓電元件產(chǎn)生正比于此作用力的壓電效應(yīng)，亦即壓電效應(yīng)輸出的電荷(或電壓)正比于振動(dòng)的加速度。 上一頁(yè)下一頁(yè)返 回2 靈敏度定義：壓電效應(yīng)所產(chǎn)生的輸出量與輸入量的比值。電荷靈敏度Kq和電壓靈敏度Ku分別為：結(jié)論：靈敏度與壓電系數(shù)d成正比，與質(zhì)量m成正比。增加質(zhì)量：影響被測(cè)體振動(dòng)狀態(tài)靈敏廢的提高方法：選擇壓電系數(shù)大的材料作壓電元件，一般采用壓電陶瓷作壓電元件。 上一頁(yè)下一頁(yè)返 回3 集成壓電式加速度

22、傳感器集成壓電式加速度傳感器集成壓電式加速度傳感器集壓電元件和專用放大器于一體。 阻抗變換器：超小型靜電放大器，它與壓電元件之間的連線極短，引線電容幾乎為0，對(duì)傳感器靈敏度不產(chǎn)生影響。優(yōu)點(diǎn)：輸出電壓高(可達(dá)幾伏)、輸出阻抗低，可以用普通同軸電纜輸出信號(hào)，而不必接附加放大器，可自接與示波器、記錄儀或普通指示表相連。 4.3.4 壓電傳感器的應(yīng)用實(shí)例 一、高分子壓電材料的應(yīng)用 1. 玻璃打碎報(bào)警裝置 將高分子壓電測(cè)振薄膜粘貼在玻璃上，可以感受到玻璃破碎時(shí)會(huì)發(fā)出的振動(dòng)，并將電壓信號(hào)傳送給集中報(bào)警系統(tǒng)。 粘貼位置高分子壓電材料制作的玻璃打碎傳感器質(zhì)量塊 將厚約0.2mm左右的PVDF薄膜裁制成1020mm大小。在它的正反兩面各噴涂透明的二氧化錫導(dǎo)電電極，再用超聲波焊接上兩根柔軟的電