1、2020年中國晶圓的靜電卡盤產業(yè)趨于進一步集中圖 一、市場規(guī)模快速增長，未來進口替代空間大 靜電卡盤是半導體設備的核心組件之一，對于控制晶圓的溫度（加熱及冷卻）至關重要。靜電卡盤（簡稱 ESC 或者 E-CHUCK）具有高穩(wěn)定性、晶圓平坦度高、顆粒污染小、邊緣效應小等優(yōu)勢，目前已廣泛應用在等離子和真空工藝的半導體工藝過程中。 下游集成電路產業(yè)的蓬勃發(fā)展及巨大的需求配合積極的國家產業(yè)政策與活躍的社會資本，正在全方位、多角度地推動ESC行業(yè)進步，為我國ESC廠商創(chuàng)造了機遇。行業(yè)需求不斷增加，市場規(guī)模不斷擴大，據統計2014年我國晶圓的靜電卡盤市場規(guī)模為1197萬元，2019年我國晶圓的靜電卡盤市場

2、規(guī)模增長至5349萬元。 HYPERLINK /research/202101/924476.html 智研咨詢發(fā)布的2021-2027年中國晶圓的靜電卡盤行業(yè)市場全景分析及發(fā)展趨勢研究報告數據顯示：靜電卡盤行業(yè)具有較高的技術、資金要求，呈現高度的壟斷性，基本被國外品牌產品占據。我國晶圓的靜電卡盤市場以進口產品為主。2018年，北京華卓精科公司完成PVD靜電卡盤的研制，打破了國外對靜電卡盤產品的工藝技術壟斷，有望打破現有產業(yè)格局。相關數據表明，2019年我國進口產品規(guī)模為96.9%，未來國產產品進口替代空間大。 二、國產靜電卡盤技術突破 靜電卡盤行業(yè)主要由美國AMAT、美國LAM、日本新光電氣

3、、日本TOTO等日、美國企業(yè)主導。我國靜電卡盤參與企業(yè)相對較少，華卓精科靜電卡盤產品在國產制造商中處于領先地位。但國內很多高校、分析機構以及高新技術企業(yè)開始紛紛將目光投向靜電卡盤的分析。其中較具代表性的分析高校包括清華大學、北京大學、大連理工大學、北京工業(yè)大學等，分析機構包括中國科學院微電子分析所、中國電子科技集團公司第四十八分析所等，參與靜電卡盤研制開發(fā)的高新技術企業(yè)包括北方微電子公司、中微半導體設備有限公司、中芯國際集成電路制造有限公司、北京華卓精科科技股份有限公司等。 各方努力共同推動了我國靜電吸盤（ESC）等半導體配套設備國產化穩(wěn)步進行。靜電卡盤從2014年的4臺增長到了2018年的2

4、1臺。除了北京華卓精密科技一家可以生產成熟的晶圓的靜電卡盤產品外，其他企業(yè)如廣東海拓創(chuàng)新精密設備、北京軟體機器人、浙江新納陶瓷新材等公司的靜電卡盤產品尚處于研發(fā)階段，目前僅能進行靜電吸盤的維修以及更換，生產方面尚不成熟。 晶圓的靜電卡盤行業(yè)客戶主要是集成電路設備生產企業(yè)，需求也主要分布在下游較為集中的華東、華北地區(qū)。2014年我國晶圓的靜電卡盤行業(yè)需求量約46臺，到2019年增長到了131臺。近幾年我國晶圓的靜電卡盤行業(yè)需求量情況如下圖所示： 未來產業(yè)趨于進一步集中 我國晶圓的靜電卡盤行業(yè)發(fā)展時間不長，國內的技術水平與國際上的技術水平存在較大的差距。當前我國晶圓的靜電卡盤技術突破有限，國內市場基本被國外龍頭企業(yè)壟斷。但隨著中國靜電卡盤技術研發(fā)的不斷深入，預計未來中國有望實現技術突破，打破國外企業(yè)壟斷的局面，實現進口替代。 未來，隨著市場競爭進一步加劇，具有技術、品牌、人才和資金優(yōu)勢的廠商將通過資本運作的方式將成為潛在的行業(yè)整合者，行業(yè)內的