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文檔簡介

掃描電鏡工作原理一、電子束與樣品的相互作用X 射線等，這些信號能夠表征固體表面或內(nèi)部的某些物理或化學(xué)性質(zhì)。它們是各類電子束顯微分析的物理基礎(chǔ)（1。次輻射，這個區(qū)域稱為相互作用區(qū)。圖 1 電子束轟擊固體發(fā)生的各種信號及深度Monte Calro 計算法得到。通常，電子束能量越強，電子入射深度越深，相互作用區(qū)越大（圖2）。樣品的原子序數(shù)在樣品中的穿透深度越淺（3）。圖 2. 不同加速電壓下，蒙德卡羅(Monte Carlo)電子軌跡模擬圖圖 3. 同樣加速電壓下，不用材料，蒙德卡羅(Monte Carlo)電子軌跡模擬圖二、掃描電鏡工作原理4 20-30nm 的電子束，受到陰陽的相互作用，從樣品中激發(fā)出的信號被不同的檢測器收集，并成像。本臺掃描電鏡配備有檢測二次電子的 SE2 和 Inlens 檢測器，形成樣品形貌像；檢測背散射電子的ASB 檢測器，形成樣品成分襯度像；檢測特征X 射線能量的 X 射線能譜儀，用于元素定性、定量分析。詳細介紹見：各種檢測器成像效果；X 射線能譜儀工作原理及譜圖解析圖4掃描電子顯微鏡成像原理圖

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