潔凈室設(shè)備概述主講人：徐仁春11

空氣浴塵機(jī)

2緩衝室

3

傳遞箱

4衣架及鞋櫃

5洗手臺及烘乾機(jī)

6沖身洗眼機(jī)無塵室設(shè)備2潔淨(jìng)廠房空間組成分析圖人員物料人員淨(jìng)化用室1.緩衝室2.衣櫃及鞋櫃3.洗手烘乾機(jī)4.三叉管制機(jī)...空氣浴塵室A/S氣閘室A/L傳遞箱P/B物料淨(jìng)化化用室空調(diào)機(jī)房輔助室1.鍋爐機(jī)房2.超純水站3.空氣壓縮機(jī)房4.真空幫浦室5.變電/配電站...化學(xué)區(qū)-沖身洗眼機(jī)潔淨(jìng)室一般區(qū)垂直管線間/水平夾層3空氣浴塵室(AIRSHOWER)為作業(yè)者或物品進(jìn)入CLEANROOM時，用以吹除人體衣服上及設(shè)備、物料、工具的塵埃之功能。空氣浴塵室(AIRSHOWER)同時具有AIRLOCK氣鎖功能可以有效控制人員進(jìn)出作用，並作為不同等級清淨(jìng)室的緩衝室，達(dá)到防止交叉污染產(chǎn)生。2.1空氣浴塵機(jī)42.法規(guī)需求—無3.用途與分類用途使用於跨越不同潔淨(jìng)等級區(qū)域使用分類1.單座式A/S2.隧道式A/S3.階梯隧道式A/S門扇又可分為手拉門式A/S自動門式A/S2.1空氣浴塵機(jī)54.結(jié)構(gòu)說明噴氣口紅外線感知器前過濾網(wǎng)送風(fēng)機(jī)HEPA主過濾網(wǎng)壓差計2.1空氣浴塵機(jī)61.前置過濾網(wǎng)(PRE-FILTER)將尼龍不織布網(wǎng)材裝入鋁框內(nèi),其以除去較粗大之塵埃為目的?？捎盟椿蛘婵瘴鼔m器吸塵方式再生使用。2.主濾網(wǎng)(MAINFILTER)--HEPAFILTER採用高性能過濾網(wǎng),於0.3um以上的粒子,有99.99%以上的過濾效率。阻塞時，需重新更換。3.噴氣口(AIRNOZZLE)將加壓之潔淨(jìng)空氣經(jīng)特別設(shè)計之噴氣口噴出23M／S以上的風(fēng)速，達(dá)到粒子剝離之效果，並可依需求調(diào)整吹氣方向，可有效的去除人體衣服上之較大微粒子塵埃。4.送風(fēng)機(jī)使用高靜壓送風(fēng)機(jī),並採2極與4極之變極方式,以供給噴氣及循環(huán)時之使用。2極運(yùn)轉(zhuǎn)時為強(qiáng)力噴氣模式，4極運(yùn)轉(zhuǎn)時僅做空氣潔淨(jìng)循環(huán)模式。2.1空氣浴塵機(jī)71.控制不同潔淨(jìng)等級區(qū)域人員之進(jìn)出2.排除一定粒徑以上之灰塵粒子3.防止不同潔淨(jìng)等級區(qū)域之交叉污染4.人員更衣室入口的朝向，避開主要經(jīng)常風(fēng)向入口。5.進(jìn)入無塵室間，空氣浴塵室之位置宜適中，以方便人流進(jìn)出動線。6.空氣浴塵室旁，應(yīng)設(shè)置側(cè)門，供緊急使用。7.單體式空氣浴塵室，自進(jìn)入A/S且門關(guān)閉後，至另一側(cè)門扇可開啟之標(biāo)準(zhǔn)程序，共歷時30秒。因此，設(shè)置臺數(shù)，須根據(jù)通過頻率最高時段之人數(shù)，作為選取空氣浴塵室尺寸規(guī)格之依據(jù)。8.若通過頻率最高時段之人數(shù)，超過單體式空氣浴塵室之負(fù)荷時，則建議使用隧道式空氣浴塵室，但通道兩側(cè)門扇，不建議使用互鎖型式，以利人員動線之暢通。9.隧道式空氣浴塵室之兩側(cè)門扇外，建議使用燈號及反射鏡，教育通道兩側(cè)人員之進(jìn)出行為，以避免兩側(cè)門扇同時打開，產(chǎn)生交叉污染情形。182.1空氣浴塵機(jī)8A/S數(shù)量計算A/S型式總?cè)藬?shù)單臺A/S使用人數(shù)單臺A/S經(jīng)過時間A/S臺數(shù)全部通過時間2人份120人÷2人X20秒÷4臺=5分鐘4人份120人÷4人X20秒÷2臺=5分鐘8人份120人÷6人X20秒÷1臺=5分鐘2.1空氣浴塵機(jī)9氣密緩衝室(AIRLOCKROOM)為作業(yè)者或物品離開CLEANROOM時，利用互鎖功能，以有效控制人員進(jìn)出時，防止交叉污染產(chǎn)生。2.2緩衝室10用途1.使用於跨越不同潔淨(jìng)等級區(qū)域使用，由潔淨(jìng)等級高至等級低處2.利用門扇互鎖之機(jī)制，防止氣流的干擾及交叉污染分類1.單座式A/L2.組合式A/L2.2緩衝室111.門扇(具有互鎖功能)2.氣密室基本設(shè)計原則1.控制不同潔淨(jìng)等級區(qū)域人員之進(jìn)出2.防止不同潔淨(jìng)等級區(qū)域之交叉污染3.氣密緩衝室通常與空氣浴塵室位置相鄰，以方便人流離開無塵室動線順暢。2.2緩衝室12傳遞箱(PASSBOX)為置於潔淨(jìng)室隔間牆上之裝置，其功能是做為潔淨(jìng)室內(nèi)外物品傳遞之緩衝區(qū)，其可防止於傳遞物品時由於門的開啟而破壞了潔淨(jìng)室氣流與室壓。更可減少作業(yè)人員走動時，防止外區(qū)塵埃的進(jìn)入。傳遞箱(PASSBOX)的進(jìn)出口應(yīng)具有不可同時開啟的聯(lián)鎖控制，以達(dá)到防止交叉污染之功能。2.3傳遞箱132.法規(guī)需求—無3.用途與分類用途1.物流使用於跨越不同潔淨(jìng)等級區(qū)域使用2.利用門扇互鎖之機(jī)制，防止氣流的干擾及交叉污染分類1.手動式P/B2.自動式P/B2.3傳遞箱144.結(jié)構(gòu)說明1.門扇(具有互鎖功能)2.氣密室5.基本設(shè)計原則1.控制不同潔淨(jìng)等級區(qū)域人員之進(jìn)出2.防止不同潔淨(jìng)等級區(qū)域之交叉污染3.氣密緩衝室通常與空氣浴塵室位置相鄰，以方便人流離開無塵室動線順暢。2.3傳遞箱15人在進(jìn)出無塵室間，人往往是最高的汙染源。因此，人出入無塵室時，穿上包覆全身的無塵衣，則是控制無塵室污染的重要指標(biāo)。為了控制無塵衣的潔淨(jìng)度，配備衣櫃(Garmentstocker)，存放無塵服及鞋子，藉以控制無塵室之污染源。2.4衣架及鞋櫃162.法規(guī)需求—無3.用途與分類用途1.防止無塵衣存放時遭到外界汙染2.控制無塵衣之潔淨(jìng)度與乾躁度分類1.無塵式衣櫃2.4衣架及鞋櫃174.結(jié)構(gòu)說明衣櫃由空調(diào)過濾設(shè)備SS-MAC及衣櫃本體，兩者組合而成。其空調(diào)過濾設(shè)備可除去0.3um以上粒子99.99%以上之效率，吹出口潔淨(jìng)度為CLASS100(US.Fed.Std.209d)，且具低噪音及低消耗電力之特性。1.主過濾器(MAINFILTER)2.前置過濾器(PREFILTER)3.電源3.保險絲5.基本設(shè)計原則1.設(shè)置於GownRoom2.依據(jù)使用人員數(shù)量，設(shè)置無塵衣櫃及鞋櫃3.以方便人流使用動線位置設(shè)置2.4衣架及鞋櫃18人在進(jìn)出無塵室間，手部的往往是最高的汙染源。因此，人出入無塵室時，手部的清潔，則是控制無塵室污染的重要指標(biāo)。為了防止手部汙染的情形產(chǎn)生，配備洗手烘乾機(jī)(Handwasheranddryer)，已是無塵室潔淨(jìng)度控制的基本設(shè)備需求。2.5洗手臺及烘乾機(jī)192.法規(guī)需求—無3.用途與分類用途1.防止無塵室與非無塵室間的手部的接觸汙染2.控制人員手部之清潔度與乾躁度

分類1.落地單體式洗手烘乾機(jī)(富泰)2.壁掛洗手臺式洗手烘乾機(jī)(TOTO)2.5洗手臺及烘乾機(jī)201.洗手-水過濾器2.烘乾功能-風(fēng)機(jī)5.基本設(shè)計原則1.設(shè)置於GownRoom2.依據(jù)使用人員數(shù)量，設(shè)置烘乾洗手機(jī)3.以方便人流使用動線位置設(shè)置4.需先行考量水電管路預(yù)留位置2.5洗手臺及烘乾機(jī)21沖身洗眼器一般分為沖身及洗眼設(shè)備二種，主要依化學(xué)品噴濺身體位置選擇適當(dāng)沖身或洗眼設(shè)備，現(xiàn)今緊急沖淋裝置常一起設(shè)置沖身及洗眼設(shè)備，可供現(xiàn)場作業(yè)人員第一時間沖淋化學(xué)品濺傷之位置。一般來說，緊急沖淋裝置主要是以清水提供人員清洗，清洗建議時間約需15分鐘至30分鐘。而針對化學(xué)品噴濺，另外有六氟靈（Hexafluorine）及敵腐靈（Diphoterine）急救用品進(jìn)行處理。2.6沖身洗眼機(jī)222.法規(guī)需求—a.勞工安全衛(wèi)生設(shè)施規(guī)則第三百十八條：雇主對於勞工從事其身體或衣著有被污染之虞之特殊作業(yè)時，應(yīng)置備該勞工洗眼、洗澡、漱口、更衣、洗濯等設(shè)備。前項(xiàng)設(shè)備，應(yīng)依左列規(guī)定設(shè)置：(1)刺激物、腐蝕性物質(zhì)或毒性物質(zhì)污染之工作場所，每十五人應(yīng)設(shè)置一個冷熱水沖淋設(shè)備。(2)刺激物、腐蝕性物質(zhì)或毒性物質(zhì)污染之工作場所，每五人應(yīng)設(shè)置一個冷熱水盥洗設(shè)備。b.鉛中毒預(yù)防規(guī)則第三十五條：雇主使勞工從事粉狀之鉛、鉛混存物或燒結(jié)礦混存物之處理作業(yè)者，應(yīng)設(shè)置淋浴設(shè)備。c.特定化學(xué)物質(zhì)危害預(yù)防標(biāo)準(zhǔn)第三十六條：雇主使勞工從事製造、處置或使用特定化學(xué)物質(zhì)時，應(yīng)設(shè)置洗眼、沐浴、漱口、更衣及洗衣等設(shè)備。但丙類第一種物質(zhì)或丁類物質(zhì)之作業(yè)場所並應(yīng)設(shè)置緊急沖淋設(shè)備。d.四烷基鉛中毒預(yù)防規(guī)則第五條第一款第六項(xiàng)：設(shè)置休息室、盥洗設(shè)備及淋浴設(shè)備供給勞工使用。2.6沖身洗眼機(jī)233.用途與分類用途可使工作人員於意外噴濺到危害