第頁(yè)《集成電路版圖實(shí)習(xí)》教學(xué)大綱課程編號(hào)：10140078英文名稱：PracticeofIntegratedCircuitLayout學(xué)分：3學(xué)時(shí)：3周先修課程：數(shù)字集成電路設(shè)計(jì)原理、模擬集成電路設(shè)計(jì)原理、集成電路版圖設(shè)計(jì)課程類別：專業(yè)課程（必修）授課對(duì)象：微電子科學(xué)與工程專業(yè)學(xué)生教學(xué)單位：數(shù)理信息學(xué)院修讀學(xué)期：第6學(xué)期一、課程描述和目標(biāo)本課程為微電子科學(xué)與工程專業(yè)課程，是培養(yǎng)學(xué)生大規(guī)模集成電路版圖設(shè)計(jì)的重要實(shí)踐教學(xué)環(huán)節(jié)。使學(xué)生在掌握集成電路工藝和集成電路電路設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)上，把具體的電路轉(zhuǎn)化為實(shí)際的芯片之間的重要途徑，只有把集成電路版圖畫的準(zhǔn)確無(wú)誤后，集成電路制造工廠才可以正常的流片，因此，集成電路版圖實(shí)習(xí)是一門實(shí)踐性非常強(qiáng)的課程，特別強(qiáng)調(diào)學(xué)生的細(xì)心、耐心和專心。本課程擬達(dá)到的課程目標(biāo):課程目標(biāo)1：使學(xué)生增強(qiáng)對(duì)集成電路版圖設(shè)計(jì)的認(rèn)識(shí)，增強(qiáng)實(shí)踐動(dòng)手能力和團(tuán)隊(duì)合作的重要性，培養(yǎng)學(xué)生全神貫注、細(xì)致嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓ぷ髯黠L(fēng)和工匠精神。課程目標(biāo)2：使學(xué)生熟悉集成電路版圖設(shè)計(jì)軟件的使用，并進(jìn)一步加深對(duì)電路知識(shí)的實(shí)際應(yīng)用能力和領(lǐng)悟能力。課程目標(biāo)3：通過靈活運(yùn)用已學(xué)知識(shí)，不斷接受新知識(shí)，能夠嚴(yán)格遵守版圖設(shè)計(jì)中的流程規(guī)范和操作規(guī)范，體現(xiàn)版圖設(shè)計(jì)工程師的嚴(yán)謹(jǐn)性和紀(jì)律性。二、課程目標(biāo)對(duì)畢業(yè)要求的支撐關(guān)系畢業(yè)要求指標(biāo)點(diǎn)課程目標(biāo)權(quán)重指標(biāo)點(diǎn)3-3.能夠在社會(huì)、安全、環(huán)境等現(xiàn)實(shí)因素的約束下對(duì)半導(dǎo)體器件的研發(fā)方案開展可行性評(píng)價(jià)課程目標(biāo)11指標(biāo)點(diǎn)3-4.能夠針對(duì)半導(dǎo)體器件研發(fā)方案提出優(yōu)化的措施課程目標(biāo)21指標(biāo)點(diǎn)4-2.能基于專業(yè)理論設(shè)計(jì)針對(duì)新型半導(dǎo)體器件和集成電路特定需求進(jìn)行研發(fā)的可行實(shí)驗(yàn)方案課程目標(biāo)31三、教學(xué)內(nèi)容、基本要求與學(xué)時(shí)分配序號(hào)教學(xué)內(nèi)容基本要求學(xué)時(shí)教學(xué)方式對(duì)應(yīng)課程目標(biāo)1集成電路制造工藝和掩模版技術(shù)熟悉離子注入和擴(kuò)散的區(qū)別，理解有源區(qū)和注入?yún)^(qū)，且掌握CMOS集成電路工藝過程。1天集中講授+演示課程目標(biāo)12集成電路設(shè)計(jì)工藝規(guī)則理解最小工藝規(guī)則以及相同層和不同層之間的最小間距和最小距離等不同規(guī)則，并結(jié)合具體的版圖加以理解。1天集中講授+演示課程目標(biāo)2、33畫反相器版圖根據(jù)最小規(guī)則畫反相器版圖。繼續(xù)修改反相器版圖，達(dá)到最小設(shè)計(jì)規(guī)則，并進(jìn)一步掌握集成電路電路設(shè)計(jì)軟件的操作，特別是快捷鍵的使用方法。1天集中講授+演示課程目標(biāo)1、2、34畫與非門和或非門的版圖根據(jù)最小規(guī)則畫與非門和或非門的版圖。繼續(xù)修改兩者的版圖，達(dá)到最小設(shè)計(jì)規(guī)則，并進(jìn)一步掌握集成電路電路設(shè)計(jì)軟件的操作1天集中講授+演示課程目標(biāo)15畫電容和電阻版圖熟悉電容和電阻的不同工藝層次，掌握根據(jù)不同的數(shù)值選擇不同的工藝，畫出電容和電阻的版圖。1天集中講授+演示課程目標(biāo)1、2、3、46畫大尺寸的晶體管版圖掌握采用快捷鍵的操作畫出大尺寸的晶體管的版圖，并且采用叉指結(jié)構(gòu)的版圖滿足對(duì)稱要求，盡量減少寄生效應(yīng)。2天集中講授+演示課程目標(biāo)1、2、37提出D觸發(fā)器的電路圖根據(jù)已有的版圖，提出相對(duì)應(yīng)的電路圖，必須根據(jù)晶體管的三端連接，整理電路，并化簡(jiǎn)成電路模塊。2天集中講授+演示課程目標(biāo)1、2、3、48畫PAD版圖熟悉PAD的工作原理，會(huì)根據(jù)版圖設(shè)計(jì)規(guī)則畫出兩層金屬和三層金屬連接的PAD版圖，并進(jìn)行相應(yīng)的版圖設(shè)計(jì)規(guī)則驗(yàn)證等。2天集中講授+演示課程目標(biāo)1、2、3、49提出運(yùn)輸放大器的電路圖并重新畫出來根據(jù)版圖提取帶有源電流鏡做負(fù)載的兩級(jí)運(yùn)放的電路圖。畫出差分電路的版圖。其中有5個(gè)晶體管，都采用大尺寸的管子。2天集中講授+演示課程目標(biāo)1、2、3、410畫NPN和PNP的版圖畫NPN和PNP的版圖，掌握它的剖面圖，熟悉它的設(shè)計(jì)規(guī)則和工藝規(guī)則，并能根據(jù)版圖識(shí)別出電路圖為NPN還是PNP型，并做DRC和LVS等電路驗(yàn)證2天集中講授+演示課程目標(biāo)1、2、3、4合計(jì)15天四、課程教學(xué)方法預(yù)習(xí)、講解、實(shí)驗(yàn)操作五、學(xué)業(yè)評(píng)價(jià)和課程考核考核依據(jù)建議分值考核/評(píng)價(jià)細(xì)則對(duì)應(yīng)課程目標(biāo)平時(shí)成績(jī)40%出勤0%根據(jù)出勤情況進(jìn)行評(píng)價(jià)、缺課一次扣2分課程目標(biāo)1操作20%根據(jù)分配任務(wù)的完成情況及操作表現(xiàn)評(píng)價(jià)課程目標(biāo)3課堂表現(xiàn)20%根據(jù)課堂聽課狀態(tài)和課堂活動(dòng)參與情況計(jì)分課程目標(biāo)2期末成績(jī)60%根據(jù)實(shí)習(xí)報(bào)告與課程作品完成情況考核課程目標(biāo)1、2、3六、教材與參考書（一）推薦教材《集成電路版圖基礎(chǔ)》，（美）塞因特，清華大學(xué)出版社，2006年10月版